技术编号：2774607
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光波导的制作方法，特别是一种制作铌酸锂LiNbO3低插入损耗高光损伤阀值光波导的钛扩散方法及装置。目前钛扩散系统大都采用石英扩散管或铂金容器，采用通入湿氧抑制Li2O的外扩散，石英在高温下与铌酸锂、水会形成复杂的化学反应，在波导中形成光的散射点，光损伤阈值很低，插入损耗较高。采用铂金容器虽然克服了这一缺点，但价格昂贵。通入湿氧抑制了Li2O的外扩散，但由于氢氧根进入光波导区域，影响了光波导的光损伤阈值，其制作过程有待进一步改进。本发明的目的是...
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