技术编号：2775215
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于平面显示器的基片加工系统中的基片传输设备，特别涉及一种可以通过在基片传输过程中防止用于传送基片的传送轴下垂，从而提高平面显示器成品率的基片传输设备。背景技术 一般来讲，作为平面显示器的一种，液晶显示器(LCD)就是通过基片加工系统制备的，该系统包括在具有预定工作空间的燃烧室、热处理池或扩散炉中进行的沉积工序、扩散工序、成型布线以及热处理工序等一系列工艺过程。为了提高生产效率，该基片加工系统中有很多基片传送装置，从而可以在加工基片的过程中传...
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