技术编号：2776628
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，属于激光加工。背景技术随着微电子技术的不断进展，尤其是大规模和超大规模集成电路制造业的飞速发展，光掩模铬板在微电子行业中应用日益广阔。光掩模铬版是一种包含高精度集成电路或芯片的表面覆盖有铬层的高纯度石英或玻璃，一般是通过光刻制作而成。由于工艺过程较为复杂，目前光掩模铬版价格较为昂贵；其在生产和使用过程中由于光刻胶的质量、环境、人的影响以及其使用寿命等因素，极易引起光掩模铬版图形缺陷。因此对光掩模铬版的修补是一...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。