专利名称：光掩模铬版激光微修补送粉装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，属于激光加工技术领域。
背景技术：
随着微电子技术的不断进展，尤其是大规模和超大规模集成电路制造业的飞速发展，光掩模铬板在微电子行业中应用日益广阔。
光掩模铬版是一种包含高精度集成电路或芯片的表面覆盖有铬层的高纯度石英或玻璃，一般是通过光刻制作而成。由于工艺过程较为复杂，目前光掩模铬版价格较为昂贵；其在生产和使用过程中由于光刻胶的质量、环境、人的影响以及其使用寿命等因素，极易引起光掩模铬版图形缺陷。因此对光掩模铬版的修补是一项非常重要的工作。
利用激光对光掩模铬版的缺陷进行修补是一种快速、可靠的方法。光掩模铬版激光微修补方法是利用激光高强度、聚焦光斑小等特点，在保护气环境中，将六羰基铬(Cr(CO)6)粉末在激光照射下沉积在光掩模铬版缺陷处，从而达到光掩模铬版缺陷修补的目的。
六羰基铬(Cr(CO)6)粉末，是一种白色有毒晶体，熔点150℃，在常温下结晶为大颗粒状态，熔点附近即产生升华。光掩模铬版激光微修补过程中，要求输送的粉末颗粒小且分散均匀，粉末输送浓度稳定。目前用于激光加工中粉末输送装置一般是用于激光涂覆中的金属粉末输送，都不适合六羰基铬粉末的输送，因此不能满足光掩模铬版激光微修补的工艺要求。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种用于光掩模铬版激光微修补的送粉装置，能够对激光微修补所用粉末均匀连续地进行输送，保持粉末输送的浓度稳定。
本实用新型的一种光掩模铬版激光微修补送粉装置按图1所述的技术设计方案实施。该装置的特征在于该装置由粉末腔14、平衡腔5、气压腔1与温度控制器9四部分组成；其中粉末腔14的两侧分别设置有连接着保护气输入管12的保护气输入阀13与连接着粉末输送管7的粉末输出阀6，粉末腔14的顶部设置有真空抽气孔15；气压腔1的外壁上设置有进气阀2和气压表3；将粉末腔14与气压腔1通过平衡腔5贯通连接，粉末腔14与温度控制器9通过电信号传输线连接构成该装置整体。该装置各部件之间均采用常规连接技术。
所述的一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，平衡腔5中设置有一个上下可自由移动的活塞4。
所述的一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，粉末腔14的一侧内壁上设置有一个温度传感器8。
所述的一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，粉末腔14的底部设置有一个封闭式的用于加热粉末的加热装置10。
本实用新型的一种光掩模铬版激光微修补送粉装置的工作过程如下所述用于修复的六羰基铬粉末放置在粉末腔14的底部，粉末腔内空气通过抽真空设备排除得到真空环境。关闭粉末输出阀6，打开保护气输入阀13，同时通过进气阀2向气压腔1注入气体，观察气压表3读数及活塞4位置的变化，调节粉末腔保护气压及气压腔气压至合适水平。然后关闭粉末腔的保护气输入阀及气压腔的进气阀，调节温度控制器9，加热装置10加热放置在粉末腔底部的六羰基铬粉末11，结晶颗粒逐渐受热升华均匀分布在保护气中；安装在粉末腔内壁上的温度传感器8，检测到粉末腔内温度场高低，并反馈显示在温度控制器上，通过调节温度控制器而控制加热装置电流大小，即可以调节六羰基铬粉末的升华量及其升华速度；同时打开粉末腔保护气输入阀及粉末输出阀，能够用于光掩模铬版激光微修补的六羰基铬粉末即以混合均匀的混合气形式输送出去。另外，粉末腔内微小的气压变化可以通过平衡腔内的活塞自行调节，使粉末腔内分散的粉末浓度维持在一个相对稳定的浓度。此过程可以将结晶大颗粒状的六羰基铬粉末升华，使之均匀分散在保护气中，粉末以混合气的形式从粉末输送管输送出去。
本实用新型的一种光掩模铬版激光微修补送粉装置具有结构简单，工作可靠等特点，完全适合光掩模铬版激光微修补的需要。
图1本实用新型光掩模铬版激光微修补送粉装置结构示意图。
其中1、气压腔；2、进气阀；3、气压表；4、活塞；5、平衡腔；6、输出阀；7、粉末输送管；8、传感器；9、温度控制器；10、加热装置；11、六羰基铬粉末；12、保护气输入管；13、保护气输入阀；14、粉末腔；15、抽气孔。
具体实方式如图1所示，将加工或市售的部件组装成粉末腔14、平衡腔5、气压腔1与温度控制器9四部分，然后整体组装成本实用新型的一种光掩模铬版激光微修补送粉装置。其中，保护气输入阀13和粉末输出阀6为同种型号，通过电子开关，可以进行同时开通和关闭。粉末输送管7为具有隔热保温效果的柔性保温软管，避免混合气体在输送过程中部分冷凝降低粉末输送浓度。平衡腔5两端设置有挡环，可以避免活塞4滑出平衡腔。温度传感器8设置在粉末腔内部，可以检测粉末腔内部温度大小，并将检测到的温度值反馈显示在温度控制器9的显示屏上。加热装置10设置在粉末腔的底部，采用公知的电阻丝加热方式加热粉末11。该装置各部件之间均采用常规连接技术。
权利要求1.一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，其特征在于该装置由粉末腔(14)、平衡腔(5)、气压腔(1)与温度控制器(9)四部分组成；其中粉末腔(14)的两侧分别设置有连接着保护气输入管(12)的保护气输入阀(13)与连接着粉末输送管(7)的粉末输出阀(6)，粉末腔(14)的顶部设置有真空抽气孔(15)；气压腔(1)的外壁上设置有进气阀(2)和气压表(3)；将粉末腔(14)与气压腔(1)通过平衡腔(5)贯通连接，粉末腔(14)与温度控制器(9)通过电信号传输线连接构成该装置整体；该装置各部件之间均采用常规连接技术。
2.根据权利要求1所述的一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，其特征在于平衡腔(5)中设置有一个上下可自由移动的活塞(4)。
3.根据权利要求1所述的一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，其特征在于粉末腔(14)的一侧内壁上设置有一个温度传感器(8)。
4.根据权利要求1所述的一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，其特征在于粉末腔(14)的底部设置有一个封闭式的用于加热粉末的加热装置(10)。
专利摘要一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，由粉末腔、平衡腔、气压腔与温度控制器四部分组成；粉末腔与气压腔通过平衡腔贯通连接，粉末腔与温度控制器通过传输线连接构成整体。工作过程为将粉末腔抽真空后，在粉末腔和气压腔内注入保护气，调节腔压；然后关闭保护气，调节温度控制器加热放置在粉末腔底部的六羰基铬粉末，使其受热升华均匀分布在保护气中。温度传感器检测粉末腔内温度场的高低，通过调节温度控制器控制加热装置电流大小，以调节六羰基铬粉末的升华量及其升华速度。同时粉末腔再注入保护气、打开粉末输出阀，六羰基铬粉末即以混合均匀的混合气形式输送出去。该装置具有结构简单，工作可靠等特点，完全适合光掩模铬版激光微修补的需要。
文档编号G03F7/20GK2760614SQ200420120299
公开日2006年2月22日 申请日期2004年12月23日 优先权日2004年12月23日
发明者陈继民, 阳建华, 左铁钏 申请人:北京工业大学