技术编号：2780809
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将形成于玻璃基板等的端缘部上的多余的覆膜(涂敷液)除去的装置。背景技术 要在形成液晶显示元件(LCD)用的玻璃基板上形成电路，与在半导体晶片上形成集成电路时同样地，需要经过抗蚀液或SOG液的涂敷工序。作为将这些涂敷液涂敷到玻璃基板上的方法，使用狭缝喷嘴的涂敷方法得到了应用，但有涂膜在基板的端缘部变厚的倾向。如果形成这样的多余的涂膜，则在蚀刻等之后除去涂膜之际会在端缘上残留涂膜的一部分，其在后面的工序中会成为微细的颗粒而附着在基板表面上，从而导致合...
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