技术编号：2783492
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于避免液晶显示器等制造时的微尘，边长30cm以上的四边形或者直径30cm以上圆形的大型防护胶膜框体以及使用此框体的光刻用大型防护胶膜组件。背景技术 近年来液晶面板的制造持续长足的进步，曝光光罩大型化的同时，图形的集成度也持续提高。此时如果异物(微尘)附着于以光对曝光光罩照射进行图形制作时所用的曝光光罩，微尘会将光遮蔽、曲折，使微尘被转印，或造成图形变形、边界不平整，使白底变黑，尺寸、质量外观等受损，而产生液晶面板性能及制造产率降低的问题。于此，「...
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