技术编号：2790108
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于可应用于曝光机中的一种光罩座，尤其是一种具有转换套件可自由组装于固定件的光罩座。背景技术 黄光制作工艺(Lithography)是一种用来将光罩上的电路图案转移至光阻层，以在基板上定义出特定光阻图案的图案转移技术，一般被广泛应用于半导体或LCD及PDP等平面显示器的制作工艺中，用以制备蚀刻屏蔽或者是离子布植屏蔽。而扫描式曝光机(scan exposure apparatus)即为目前黄光制作工艺常用的曝光机。在进行曝光制作工艺时，扫描式曝光机的光...
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