专利名称：一种光罩座的制作方法
技术领域：
本发明关于可应用于曝光机中的一种光罩座，尤其是一种具有转换套件可自由组装于固定件的光罩座。
背景技术：
黄光制作工艺(Lithography)是一种用来将光罩上的电路图案转移至光阻层，以在基板上定义出特定光阻图案的图案转移技术，一般被广泛应用于半导体或LCD及PDP等平面显示器的制作工艺中，用以制备蚀刻屏蔽或者是离子布植屏蔽。
而扫描式曝光机(scan exposure apparatus)即为目前黄光制作工艺常用的曝光机。在进行曝光制作工艺时，扫描式曝光机的光源产生器会产生曝光光线，例如i-line、KrF激光或ArF激光等，并且当曝光光线依序通过光罩以及投射镜组(projection lens)而投射于诸如半导体芯片或玻璃等基板表面的光阻层时，光罩上的图案即被转移至基板上，接着扫描式曝光机的基板平台或光罩平台再分别朝不同方向移动，快速到达下一定位并进行上述相同的曝光步骤，以渐进地将光罩上的图案转移至基板表面的光阻层中。
一般而言，光罩是利用一平坦且透明的石英当作基板，并以一层厚度约1000埃()的铬膜覆盖于光罩的表面上，然后再利用一蚀刻制作工艺对该铬膜进行蚀刻，以使该光罩表面形成一包括可透光区及不透光区的图案，以应用于微影制作工艺进行图案转移。而曝光制作工艺中，光罩会被放置在扫描式曝光机的光罩座上，随后再利用光罩座作为覆载光罩的装置以进行曝光制作工艺。
然而近年来平面显示器不断随着世代变大，这也使得玻璃基板的尺寸也越来越来大。就目前扫瞄式曝光机而言，通常透镜是以1比1的比例，将光罩图案转移到玻璃基板上，所以光罩亦随着世代演变而越来越大。由于现行曝光机的光罩座仅能接受特定大小的光罩，故使得每个世代的光罩彼此之间不能共享于曝光机中，造成设备上的浪费及光罩成本的提高。因此如何借由光罩座的改良，进而能使得曝光机能通用于各世代的光罩，便是一项重要的课题。
发明内容
本发明提供可应用于曝光机中的一种光罩座，以解决上述传统技术中的问题。
本发明提供一种光罩座用于曝光机上，此光罩座包括一固定件，用以固定第一尺寸的光罩于该光罩座上，以及一转换套件，以可拆卸的方式装设在该固定件上，用以固定第二尺寸的光罩在转换套件上。
由于本发明的光罩座可利用转换套件自由组装于固定件，所以适用于各种不同大小的光罩，解决了过去必须因为光罩大小不同而更换不同曝光机的窘境，使得制作工艺设备成本下降。另外，当大光罩仅有某处有光罩图案其余为空白时，则可将光罩制作成仅具有光罩图案的小尺寸光罩，并利用本发明覆载此光罩，使得光罩成本亦可下降。
图1为本发明光罩座的俯视图。
图2为本发明图1沿I至I’切线方向的剖面示意图。
图3为本发明固定件组装转换套件的光罩座俯视图。
图4为本发明图3由II至II’切线方向的剖面示意图。
图5为本发明应用于曝光机的位置示意图。
主要组件符号说明100、400 光罩座101 载板102 固定件 103 第一部分104 延伸部 106 第一垫片112 第一光罩 114 第一抽气管线300 转换套件 303 第二部分308 支架 310 第二垫片312 第二光罩 314 第二抽气管线402 灯源 404、410 透镜组406 光罩 412 基板
414 基板座台 450 曝光机具体实施方式
请参考图1和图2，图1为本发明光罩座的俯视图，而图2为本发明图1沿I至I’切线方向的剖面示意图。如图1所示，本发明的光罩座100为一中空设计的载板101，包括用以放置一第一光罩112的第一部分103，而邻近第一部分103的载板101，则设置有多个采取对称配置的固定件102，用以固定第一光罩112。
如图2所示，每个固定件102还包括一延伸部104、一第一垫片106和一设于载板101内部并贯通延伸部104与第一垫片106的第一抽气管线114。其中，固定件102的延伸部104及位于延伸部104上方的第一垫片106用来承载第一光罩112，而且第一垫片106更结合设于载板101内部的第一抽气管线114，并利用其开口端来吸附并固定第一光罩112。因此当曝光机使用第一光罩112进行曝光制作工艺时，即可利用一抽气装置将第一抽气管线114中的空气抽走，形成压差，使得第一光罩112被紧密吸附在第一垫片106上，以在光罩座100上固定住第一光罩112，而第一光罩112位于该曝光机的第一垫片106的水平高度，以进行透镜对焦和曝光。
本发明的光罩座100除了可曝光大尺寸的光罩之外，当光罩大小不同时，另可借由组装一转换套件300在固定件102上，来达到对较小尺寸光罩进行曝光的目的，此外，本发明更可借由大小不同的转换套件300来对应不同大小的光罩需求。
请参考图3和图4，图3为本发明固定件组装转换套件的光罩座俯视图。图4为本发明图3由II至II’切线方向的剖面示意图。如图3所示，光罩座100的载板101与固定件102等的结构和功用均与图1相同，而转换套件300包括一中空设计的支架308、多个第二垫片310以及一设于支架308内部并贯通各第二垫片310的第二抽气管线314。其中，支架308的中空处包括一用以容纳一第二光罩312的第二部分303。当光罩座100因应产品设计或生产线的产品调度的灵活性的考虑而需要承载第二光罩312时，本发明便可将转换套件300的支架308直接组装第二光罩312于固定件102上。此外，支架308另可再借由螺丝锁附于固定件102上，或可利用转换套件300和固定件102上的卡槽相互卡合组装，以增加转换套件300和固定件102组装的稳固性。
如图4所示，当转换套件300组装于固定件102时，固定件102的第一抽气管线114会和转换套件300的第二抽气管线314相连通，并利用第二垫片310的开口端来吸附并固定第二光罩312，所以当抽气装置不停将第一抽气管线114的空气抽走时，第二抽气管线314中的空气亦被抽走，而于第二光罩312表面形成压差来吸附并固定第二光罩312。在此需特别强调，如图4所示，由于第二垫片310和第一垫片106均贴附于支架308的底面，因此第二垫片310顶面的水平高度和第一垫片106顶面的水平高度是相同的，所以第一光罩112曝光时的聚焦状况，和第二光罩312所需要的聚焦状况相同，亦即本发明的光罩座100应用于曝光制作工艺时，不同尺寸的光罩均会位于曝光机的相同高度处进行曝光，所以不会发生聚焦对准上的问题。再者，本发明可更进一步考虑到置于转换套件300上的小尺寸光罩可能无法借由曝光机的光罩对准系统来校正小尺寸光罩的位置，因此本发明另外可借由软件来设定支架308、第二垫片310及第二光罩312的长、宽度等参数以补正置于转换套件300上的光罩曝光图案的正确位置。
请参考图5，图5为本发明应用于曝光机的位置示意图。曝光机450为一扫瞄式曝光机，其具有灯源402、透镜组404、光罩座400、透镜组410和基板座台414。要进行曝光制作工艺时，基板412即被放入基板座台414上，而光罩406则被放在光罩座400上，而当灯源402打出光源后，曝光光源会透过透镜组404再导入光罩406，其中透镜组404可以帮助灯源402的光更均匀，让光罩406图案曝光更完全，而透镜组410则具又有倍率缩放的功用，以目前扫瞄式曝光机的应用情况而言，通常透镜组410是以1比1的比率投射光罩图案于基板412上。
综合上述说明，本发明的光罩座400适用于目前业界的各式曝光机450中，可用以覆载大小不同尺寸的光罩以进行曝光制作工艺，因为本发明的光罩座400可借由固定件覆载大尺寸的光罩，又可借由转换套件300组装于固定件上来覆载其它小尺寸的光罩。
相较于传统技术，由于本发明的光罩座可利用转换套件自由组装于固定件，所以可适用于各种不同大小的光罩，解决了过去必须因为光罩大小不同而更换不同曝光机的窘境，大幅降低制作工艺设备的建置成本。另外，因为光罩造价随着尺寸增大而增加，且越新的制作工艺世代则光罩越大，以目前第五代基板而言，其光罩成本已达上百万元，但当第五代光罩有时仅有某处有光罩图案其余为空白时，在过去还是必须制造成第五代光罩尺寸的大光罩，但使用本发明的话，则可将光罩制作成仅具有光罩图案的小尺寸光罩，并利用本发明覆载此光罩，降低光罩成本。所以本发明可解决传统技术中，单一曝光机仅适用于同尺寸大小光罩的问题，有效使制作工艺设备成本下降，而且本发明更可将大尺寸面板改制成小尺寸面板而下降光罩成本，提高生产线的产品调度的灵活性。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡依本发明所做的均等变化与修饰，均应属本发明的涵盖范围。
权利要求
1.一种光罩座，包括一中空载板，包括一第一部分，用以放置一第一光罩；至少一固定件，设置于该载板上，用以固定该第一光罩；以及一转换套件，以可拆卸的方式连接该固定件且设置于该第一部分内，该转换套件包括一第二部分，用以容纳一第二光罩。
2.根据权利要求1所述的光罩座，其特征在于，该光罩座应用于一曝光机中，且该第一光罩位于该固定件的位置与该第二光罩位于该转换套件的位置，是位于该曝光机相同的水平高度上。
3.根据权利要求2所述的光罩座，其特征在于，该固定件包括一延伸部，用以承载该第一光罩；一第一垫片，设置于该延伸部上；以及一第一抽气管线，设于该载板内部并贯通该延伸部与该第一垫片。
4.根据权利要求3所述的光罩座，其特征在于，该第一抽气管线连接于一抽气装置，借由该抽气装置的作用，使得该第一光罩被吸附在该第一垫片上。
5.根据权利要求4所述的光罩座，其特征在于，该转换套件包括一支架，包括该第二部分；多个第二垫片，设于该支架上，用以承载该第二光罩；以及一第二抽气管线，设于该支架内部并贯通各该第二垫片。
6.根据权利要求5所述的光罩座，其特征在于，该第二抽气管线与该第一抽气管线相连通。
7.根据权利要求6所述的光罩座，其特征在于，该第二抽气管线与该第一抽气管线借由该抽气装置的作用，使得该第二光罩被吸附在该第二垫片上。
8.根据权利要求5所述的光罩座，其特征在于，该支架利用螺丝锁附组装于该固定件。
9.根据权利要求5所述的光罩座，其特征在于，该支架利用卡槽卡合于该固定件。
10.根据权利要求2所述的光罩座，其特征在于，该曝光机为一扫瞄式曝光机。
全文摘要
本发明提供一种光罩座，用于曝光机上，此光罩座包括固定件，用以固定第一光罩在该光罩座上，而转换套件可拆卸得装设在固定件上，用以固定第二光罩在转换套件上。
文档编号G03F1/66GK101030039SQ20061005495
公开日2007年9月5日 申请日期2006年2月27日 优先权日2006年2月27日
发明者吴恒忠, 吴英明 申请人:中华映管股份有限公司