光罩搬运车的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制程的技术领域，尤其涉及一种光罩搬运车。
【背景技术】
[0002]光罩(Mask)是在制作液晶显示面板(Liquid Crystal Display Panel)、集成电路(Integrated Circuit)等半导体制程中需要使用的一种掩膜板，利用曝光与蚀刻技术，在衬底基板(例如玻璃基板)上制作形成各种薄膜图案。
[0003]在曝光制程中，所用到的光罩是放入在曝光机台中，通过曝光机台完成曝光制程。曝光机台中所能放入的光罩数量有限，一般能存放十张左右的光罩。随着在衬底基板上所需形成的各种薄膜图案的增多，用于形成这些薄膜图案所需的光罩数量也越来越多，但因曝光机台中存放光罩数量的限制，这些光罩并不能预先全部放置在曝光机台中，因此有时候需要将曝光机台中暂时闲置的光罩更换为新的光罩。另外，在制作不同的产品时，所用到的光罩种类也不同，也需要对曝光机台上的光罩进行更换操作。
[0004]即在曝光制程中，常常需要将新的光罩放入曝光机台，也需要将曝光机台中暂时闲置的光罩取出。现有技术中，每次进行光罩更换时，需将光罩搬运车上已搬运来的新的光罩先放入一个光罩柜中，再将曝光机台内暂时闲置的光罩取出也放入光罩柜中，最后再将刚刚放入光罩柜中的新的光罩取出再放入曝光机台，如此在光罩搬运车、光罩柜和曝光机台三者之间反复移入、移出光罩。也就是说，光罩更换具体包括如下步骤:(I)将光罩搬运车上已搬运来的新的光罩放入光罩柜中；(2)利用光罩搬运车将曝光机台内暂时闲置的光罩取出，也放入光罩柜中；(3)利用光罩搬运车将刚刚放入光罩柜中的新的光罩取出，再放入曝光机台中。
[0005]在现有技术中，将光罩从光罩搬运车移入光罩柜、或者从光罩柜移入光罩搬运车时，需要操作人员对光罩进行人工搬运操作，且至少需要2人才可完成，频繁的搬运光罩导致操作人员接触光罩的频率较高，且光罩柜中存放光罩的最高位置达1.5米，操作人员将光罩放入光罩柜内的较高存放位置相对困难。因此，光罩因人为损坏的风险较高，同时光罩在更换操作时需要通过光罩柜中转，搬运效率较低，使得产线运行不畅，增加产线负担。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型提供一种光罩搬运车，以实现对光罩安全的搬运，且在更换光罩时无需通过光罩柜中转，提高搬运效率，降低产线负担。
[0007]本实用新型提供一种光罩搬运车，包括第一搬运手臂、第二搬运手臂、支架、第一控制装置和第二控制装置，所述第一搬运手臂和所述第二搬运手臂各自均有一端可上下移动地安装在所述支架上，所述第一搬运手臂和所述第二搬运手臂上下相互间隔平行，所述第一控制装置和所述第二控制装置分别用于控制所述第一搬运手臂和所述第二搬运手臂沿着所述支架上下移动，所述第一搬运手臂和所述第二搬运手臂中的其中一个搬运手臂用于向曝光机台中放入新的光罩，所述第一搬运手臂和所述第二搬运手臂中的另一个搬运手臂用于从所述曝光机台中取出暂时闲置的光罩。
[0008]进一步地，所述第一搬运手臂和所述第二搬运手臂均为机械手，各自的一端与所述支架连接，另一端远离所述支架延伸。
[0009]进一步地，所述支架上于所述第一搬运手臂和所述第二搬运手臂之间设置有缓冲材料。
[0010]进一步地，所述光罩搬运车还包括底架，所述支架的底部安装在所述底架上。
[0011]进一步地，所述支架包括两根竖向杆体、第一横向杆体和第二横向杆体，所述两根竖向杆体的底部均安装在所述底架上，所述两根竖向杆体相互间隔，所述第一搬运手臂靠向所述支架的一端连接在所述第一横向杆体上，所述第二搬运手臂靠向所述支架的一端连接在所述第二横向杆体上，所述第一横向杆体的两端分别与所述两根竖向杆体连接，所述第二横向杆体的两端分别与所述两根竖向杆体连接，所述第一横向杆体和所述第二横向杆体可沿着所述两根竖向杆体上下移动。
[0012]进一步地，所述第一控制装置通过第一气缸与所述所述第一横向杆体相连，所述第二控制装置通过第二气缸与所述所述第二横向杆体相连。
[0013]进一步地，所述支架垂直于所述底架安装，所述第一搬运手臂和所述第二搬运手臂垂直于所述支架安装，所述第一搬运手臂、所述第二搬运手臂和所述底架相互平行。
[0014]进一步地，所述第一控制装置和所述第二控制装置安装在所述底架上。
[0015]进一步地，所述底架上设置有滚轮，所述支架上设置有握持手柄。
[0016]进一步地，所述第一控制装置和所述第二控制装置为两个独立的控制器或者集成在同一个控制器中，所述控制器为可编程控制器。
[0017]本实用新型实施例具有以下优点:通过上述的光罩搬运车，在对曝光机台进行光罩更换操作时，只需通过第一搬运手臂和第二搬运手臂的配合，便可在曝光机台附近完成更换光罩，而不需要在光罩搬运车与光罩柜之间、以及在曝光机台与光罩柜之间往返多次反复地移入、移出光罩，取消了在光罩搬运车与光罩柜之间对光罩的人工搬运操作，大大减少了损坏光罩的几率，提高了搬运、更换光罩的效率，降低了因操作时间长而造成的产线负担。
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型实施例中的光罩搬运车的侧视图。
[0019]图2为本实用新型实施例中的光罩搬运车的后视图。
【具体实施方式】
[0020]为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本实用新型进行详细说明如下。
[0021]请同时参考图1和图2，图1为本实用新型实施例中的光罩搬运车的侧视图，图2为本实用新型实施例中的光罩搬运车的后视图。本实用新型实施例提供一种光罩搬运车，用于安全、高效地搬运光罩。该光罩搬运车包括第一搬运手臂101、第二搬运手臂102、支架103、第一控制装置104、第二控制装置105、以及底架106。
[0022]第一搬运手臂101和第二搬运手臂102各自均有一端可上下移动地安装在支架103上，第一控制装置104和第二控制装置105分别用于控制第一搬运手臂101和第二搬运手臂102沿着支架103上下移动，即第一控制装置104用于控制第一搬运手臂101沿着支架103上下移动，第二控制装置105用于控制第二搬运手臂102沿着支架103上下移动。换言之，第一搬运手臂101和第二搬运手臂102是相互独立控制的。
[0023]第一搬运手臂101和第二搬运手臂102中的其中一个搬运手臂用于向曝光机台(图未示)中放入新的光罩，第一搬运手臂101和第二搬运手臂102中的另一个搬运手臂用于从曝光机台中取出暂时闲置的光罩，以利用新的光罩更换曝光机台中暂时闲置的光罩。例如，利用第一搬运手臂101向曝光机台中放入新的光罩，利用第二搬运手臂102从曝光机台中取出暂时闲置的光罩；但不限于此，也可以利用第二搬运手臂102向曝光机台中放入新的光罩，利用第一搬运手臂101从曝光机台中取出暂时闲置的光罩。
[0024]本实施例中，光罩搬运车具有第一搬运手臂101和第二搬运手臂102，可以利用第一搬运手臂101向曝光机台中移入新的光罩，利用第二搬运手臂102从曝光机台中移下暂时闲置的光罩，使得在进行光罩更换的操作中，无需通过光罩柜进行光罩中转，而是直接由第一搬运手臂101和第二搬运手臂102完成光罩更换操作。取消光罩中转也意味着取消了在光罩搬运车与光罩柜之间对光罩进行的人工搬运操作，大大降低了人为损坏光罩的风险，同时由于光罩无需通过光罩柜中转，提高了搬运效率，减少了产线负担。
[0025]更具体地，第一搬运手臂101和第二搬运手臂102上下相互间隔平行地安装在支架103上，第一搬运手臂101和第二搬运手臂102上还分别设置有衬垫1010、1020，以在搬运光罩时对光罩提供柔性支撑。支架103的底部安装在底架106上，支架103垂直于底架106安装，第一搬运手臂101和第二搬运手臂102垂直于支架103安装，第一搬运手臂101、第二搬运手臂102和底架106相互平行。
[0026]支架103包括两根竖向杆体1030、第一横向杆体1031和第二横向杆体1032，两根竖向杆体1030的底部均安装在底架106上，两根竖向杆体1030相互间隔，第一搬运手臂101靠向支架103的一端连接在第一横向杆体1031上，第二搬运手臂102靠向支架103的一端连接在第二横向杆体1032上。第一横向杆体1031的两端分别与两根竖向杆体1030连接，第二横向杆体1032的两端分别与两根竖向杆体1030连接，第一横向杆体1031可沿着竖向杆体1030上下移动并带动第一搬运手臂101也上下移动，第二横向杆体1032可沿着竖向杆