专利名称：光罩盒的制作方法
技术领域：
本实用新型是有关于一种光罩盒，特别是有关于一种具有枢纽装置的 光罩盒。
背景技术：
近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithogmphy)扮 演重要的角色，只要是关于图形(pattem)定义，皆需仰赖光学微影技术。 光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状 可透光的光罩(photomask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆 (silicon wafer)可曝光显示特定图案。由于任何在光罩上的微小损伤都会造 成投影成像的质量劣化，所以用于产生图形的光罩必须保持绝对完好及洁 净，因此光罩盒的平稳程度，和是否能确实的提供一个安全的环境以放置 光罩就显得十分重要。
公知光罩盒，在操作过程中需多次开关以取放光罩，而传统光罩盒在 盖体连结处的连接枢轴无特殊设计，若没有人力支持，仅能完全开启及或 是完全关闭盖体，使用时无法呈现使用者所需的特定角度，随时可能突然 关闭，不但使用不方便，且可能因盖体的晃动使放置于盒内的光罩无法处 于稳定平衡的状态，而对光罩造成伤害，若光罩在操作过程中没有质量良 好的光罩盒确实保护，则损伤机会必然会提高，降低光罩的使用寿命，导 致影响产品良率，甚至无法继续使用，而产生浪费并导致使用成本提高。
同时，为了进一步提升产品的良率及降低制造的成本，光罩盒除了达 到洁净度的标准要求外，还要克服因为外来气体对于光罩的污染。这样的 外来气体除了大气以外，还有两个来源，其一是源自于高分子材料所制成 的光罩传送盒本身所释出的气体(outgasing)，其二是源自于残留在光罩表 面的微量化学溶液所产生的挥发气体。这些非期望气体会对光罩的表面产 生雾化作用，使得光罩无法再使用而必须报废的窘境，使得制造成本增加。在光罩传送盒中充入气体是目前解决光罩雾化的手段之一，其中如何保持 充入气体的洁净度，是一个重要的议题。
有鉴于此，本实用新型所提供的具有过滤装置的光罩盒，乃针对公知 技术加以改良。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种针对公知技术中存在的缺陷而加以 改良的光罩盒。
为实现上述目的，本实用新型提供的光罩盒，其包含 一第一盖体；
一第二盖体，用以与第一盖体组合，形成一内部空间可容纳一光罩； 一枢纽，用以连结第一盖体及第二盖体，其包括 一第一连结座固定于第一盖体上， 一第二连结座固定于第二盖体上，以及；
一转轴，其两端卡设于些连结座，转轴包含第一部份及与第一部份彼 此枢设的第二部份，第一部份及第二部份彼此接触部份具有高摩擦力表 面。
所述的光罩盒，其中第一连结座及转轴为一体成型。 所述的光罩盒，其中转轴的第一部份具有复数个突起设于与第二部份 接触的表面。
所述的光罩盒，其中转轴另包含一弹性组件夹设于转轴的第一部份及 第二部份之间。
所述的光罩盒，其中弹性组件可为弹簧。
所述的光罩盒，其中连结座以金属材质或不锈钢材质制成。
所述的光罩盒，其中转轴以金属材质或不锈钢材质制成。
本实用新型还提供一种光罩盒，其包含
一第一盖体；
一第二盖体，用以与第一盖体组合，形成一内部空间可容纳一光罩； 一枢纽，用以连结第一盖体及第二盖体，其包括
一主体，其具有一中心板体固定于第一盖体上，主体另具有一个水平延伸的中空圆筒，
一转轴，其穿设于主体的中空圆筒內且其一端固设于第二盖体，以及； 一提高摩擦力组件，套设于转轴上，位于主体的中空圆筒与转轴之间。 所述的光罩盒，其中转轴与第二盖体为一体成型。 所述的光罩盒，其中提高摩擦力组件为一弹性组件。 所述的光罩盒，其中提高摩擦力组件具有复数个突起。 所述的光罩盒，其中提高摩擦力组件与转轴一体成型。 所述的光罩盒，其中提高摩擦力组件亦具有复数的凹槽。 所述的光罩盒，其中主体材质为金属。 所述的光罩盒，其中光罩盒为光罩保存盒或光罩运送盒。
本实用新型还提供一种光罩盒，其包含 一第一盖体；
一第二盖体，用以与第一盖体组合，形成一内部空间可容纳一光罩； 一枢纽，用以连结第一盖体及第二盖体，枢纽用以让些盖体在开启时 可任意停顿且固定。
本实用新型还提供一种光罩盒，其包含 一第一盖体；
一第二盖体，用以与第一盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩； 至少一通孔，设于第一盖体或第二盖体的侧边，用以连通内部空间以 及光罩盒的外部空间，以及；
至少一过滤装置覆盖通孔，过滤装置包含 一扣件，覆盖于通孔的上；
一夹持件，卡设于扣件中，其中夹持件具有至少一孔洞，孔洞设于对 应于扣件的开口的位置；以及
一过滤薄膜夹设于夹持件上具有孔洞的位置；
具有至少两个卡榫点设于通孔周围，扣件則具有至少两个锁扣部用以 卡设于卡榫点上。
简言之，本实用新型的光罩盒结构，特别是有关于一种具有特殊设计 的枢纽的光罩盒。此一种光罩盒包含 一第一盖体及一第二盖体组合，两 者形成一内部空间可容纳一光罩；以及一枢纽，用以连结第一盖体及第二盖体，枢纽包括一第一连结座固定于第一盖体上，和一第二连结座固定于 第二盖体上，此枢纽亦包含一转轴，其两端卡设于些连结座，转轴包含第 一部份及第二部份彼此枢设，而第一部份及第二部份彼此接触部份具有高 摩擦力。枢纽使两盖体结合时减少晃动的可能。
此外，光罩盒另包括一种光罩盒，其包含 一第一盖体及一第二盖体 组合，两者形成一内部空间可容纳光罩；光罩盒有至少一通孔，设于第一 盖体或第二盖体的侧边，用以连通内部空间以及光罩盒的外部空间，而设 于通孔周围至少两个卡榫点，和至少一过滤装置覆盖通孔，过滤装置包含 一扣件覆盖于通孔上，扣件有至少两个锁扣部用以卡设于卡榫点，过滤装 置亦具夹持件，卡设于扣件中，其中夹持件具有至少一孔洞，孔洞设于对 应于扣件的开口的位置，同时，过滤薄膜夹设于夹持件上具有孔洞的位置。
本实用新型的效果是
1) 本实用新型具有一枢纽，枢纽使光罩盒盖体开关时可停留至任意 点，可防止盖体滑动撞击的情形发生。
2) 本实用新型具有一枢纽，枢纽使光罩盒在开关操作的时降低光罩 损坏的风险，使得光罩寿命得以提高，并提高光罩安全性。
3) 本实用新型的过滤装置，可用来过滤空气中的微尘，以避免光罩 受到污染。
4) 本实用新型的过滤装置，可用来过滤空气中的微尘，以保持光罩
盒盒内的洁净度。
5) 本实用新型的过滤装置，利用扣件方式卡设于光罩盒外，以减少 过滤装置厚度。
6) 本实用新型的过滤装置，其扣件为不绣钢材质，静电遮蔽效果佳。
图1是本实用新型光罩盒的示意图2是本实用新型光罩盒枢纽的一较佳实施例示意图3是本实用新型光罩盒枢纽转轴的示意图4是本实用新型光罩盒枢纽的另一实施例示意图5是本实用新型的过滤装置示意图；图6是本实用新型的过滤装置组装示意图。
附图中主要组件符号说明
1光罩盒 IO第一盖体
20第二盖体
30枢纽
32第一连结座
34第二连结座
36转轴
38第一部份
40第二部分
44主体
46中心板体
48中空圆筒
50转轴
52提高摩擦力组件
54通孔
56卡榫点
58过滤装置
60扣件
62锁扣部
64夹持件
66过滤薄膜
68第一部份
70第二部份
72孔洞
具体实施方式
由于本实用新型公开一种具有枢纽的光罩盒，其中所利用到的一些光 罩或光罩盒的详细制造或处理过程，是利用现有技术来实现，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的图式，亦并未依据实际的相关 尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本实用新型特征有关的示意图。
请参考图1，为本实用新型光罩盒的示意图， 一种光罩盒1，其包含
一第一盖体10和一第二盖体20，些盖体组合，形成一内部空间可容纳一 光罩(未示于图中)；光罩盒1亦具有一枢纽30，用以连结第一盖体10及 第二盖体20。
请参考图2，是本实用新型光罩盒枢纽的一较佳实施例示意图，此枢 纽30包括一第一连结座32、 一第二连结座34、 一转轴36，第一连结座 32固定于第一盖体10上，而第二连结座34固定于第二盖体20上。其中 第一连结座32及转轴36可为一体成型，或转轴36与第一连结座32及第 一盖体10可为一体成型制成。
请参考图3，是本实用新型光罩盒枢纽转轴的示意图，转轴36的两端 卡设于些连结座，转轴36包含第一部份38及第二部份40彼此枢设，第 一部份38及第二部份40彼此接触部份具有高摩擦力表面，根据本实用新 型一较佳实施例，转轴36的第一部份38可具有复数个突起设于与第二部 份40接触的表面。根据本实用新型另一较佳实施例，转轴36可另包含一 弹性组件(未示于图中)夹设于转轴36的第一部份38及第二部份40之间， 而弹性组件可为弹簧制成。而些连结座可以以金属材质制成或不锈钢材质 制成，而转轴36则可以以金属制成或不锈钢制成。
请参考图4，是本实用新型光罩盒枢纽的另一实施例示意图， 一种光 罩盒l，其包含一第一盖体10和一第二盖体20，些盖体组合，形成一内 部空间可容纳一光罩；光罩盒1亦具有一枢纽30，用以连结第一盖体10 及第二盖体20。此枢纽30，用以连结第一盖体10及第二盖体20，此枢纽 30由一主体44、 一转轴50以及一提高摩擦力组件52组成；主体44具有 一中心板体46固定于第一盖体10上，主体44另具有一个水平延伸的中 空圆筒48，而转轴50则穿设于主体44的中空圆筒48內且其一端固设于 第二盖体20，至于提高摩擦力组件52则套设于转轴50上，位于主体44 的中空圆筒48与转轴50之间。
请继续参考图4，转轴50两端可各具有一固定部(未示于图中)，以此 固定于第二盖体上，或第二盖体20具有两个固定部，分别对应转轴的两端，以此用以固定转轴50于第二盖体20上。而转轴50与第二盖体20可 为一体成型，提高摩擦力组件52可以为一弹性组件。提高摩擦力组件52 可具有复数个突起或与转轴50 —体成型。中空圆筒48面对提高摩擦力组 件52的表面亦可具有复数的突起或凹槽，以增强摩擦力。其中主体材质 为金属，而此光罩盒1可为光罩保存盒或光罩运送盒。
同时，此枢纽30，用以连结第一盖体10及第二盖体20,并让些盖体
在无外力影响情形下，开启时可任意停顿且固定，而些盖体的开启角度介 于0至270度之间。
接着看图5，此图为本实用新型的过滤装置示意图，其为一种光罩盒 1，包含一第一盖体10用以与第二盖体20组合，形成一内部空间可容纳 光罩，而光罩盒1亦包含至少一通孔54,设于第一盖体10或第二盖体20 的侧边，用以连通内部空间以及光罩盒1的外部空间；光罩盒1具有至少 两个卡榫点56，设于通孔54周围，以及至少一过滤装置58覆盖通孔54。
而图6则是本实用新型的过滤装置组装示意图，过滤装置58包含一 扣件60覆盖于通孔54之上，扣件60有至少两个锁扣部62用以卡设于卡 榫点56，还有一夹持件64卡设于扣件60中，其中夹持件64具有至少一 孔洞72，孔洞72设于对应于扣件60的开口的位置，最后以及一过滤薄膜 66夹设于夹持件64上具有孔洞72的位置。
其中夹持件64是由一第一部份68以及一第二部份70组成，而过滤 薄膜66夹持(sandwiched)于第一部份68以及第二部份70之间。夹持件64 的第一部份68以及第二部份70至少其中之一具有一凹陷部面向第一部分 68与第二部份70之间，用以形成一空间容置过滤薄膜66，或可为夹持件 64的第一部份68以及第二部份70至少其中之一具有一凹陷部，另一则具 有一凸出部，凹陷部与凸出部面向第一部分68与第二部份70之间，且凹 陷部大于凸出部。
此图中，第一部份68以及第二部分70可为对称且一体成型，或其中 第一部份68以及第二部分70亦可为两个分离的组件。设计上，第一部份 68以及第二部分70可为两个相同的组件，同时第一部份68以及第二部分 70各具有孔洞72。扣件60可为金属材质或不锈钢材质，过滤薄膜66可 为混合纤维所制成。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而己，并非用以限定本实用新
型的申请专利权利；同时以上的描述，对于本领域技术人员应可明了及实 施，因此其它未脱离本实用新型所揭示的精神下所完成的等效改变或修 饰，均应包含在申请的权利要求范围中。
权利要求1、一种光罩盒，包含一第一盖体以及一第二盖体，该第一盖体与该第二盖体由一枢纽连结，以形成一容纳一光罩的内部空间，其中该光罩盒的特征在于，该枢纽包括一第一连结座固定于该第一盖体上，一第二连结座固定于该第二盖体上，以及；一转轴，其两端卡设于该些连结座，该转轴包含一第一部份及与该第一部份彼此枢设的一第二部份，该第一部份及该第二部份彼此接触部份具有高摩擦力表面。
2、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该第一连结座及该转 轴为一体成型。
3、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该转轴的第一部份具 有复数个突起设于与第二部份接触的表面。
4、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于，该转轴另包含一弹性 组件夹设于该转轴的第一部份及该第二部份之间。
5、 一种光罩盒，包含一第一盖体以及一第二盖体，该第一盖体与该 第二盖体由一枢纽连结，以形成一容纳一光罩的内部空间；其中该光罩盒 的特征在于，该枢纽包括一主体，具有一中心板体固定于该第一盖体上，该主体另具有一水平 延伸的中空圆筒；一转轴，穿设于该主体的中空圆筒内且其一端固设于该第二盖体，以及；一提高摩擦力组件，套设于该转轴上，位于该主体的中空圆筒与该转 轴之间。
6、 如权利要求5所述的光罩盒，其特征在于，该转轴与该第二盖体 为一体成型。
7、 如权利要求5所述的光罩盒，其特征在于，该提高摩擦力组件为 一弹性组件。
8、 如权利要求'5所述的光罩盒，其特征在于，该提高摩擦力组件具有复数个突起。
9、 如权利要求5所述的光罩盒，其特征在于，该提高摩擦力组件与 该转轴一体成型。
10、 如权利要求5所述的光罩盒，其特征在于，该提高摩擦力组件具有复数的凹槽。
11、 一种光罩盒，包含-一第一盖体；一第二盖体，与该第一盖体组合，形成一容纳一光罩的内部空间，以及；一枢纽，连结该第一盖体及该第二盖体，其特征在于，且该第一盖体 或第二盖体可以任意停顿且固定于该枢纽上的任意位置。
12、 一种光罩盒，包含 一第一盖体；一第二盖体，与该第一盖体组合，形成一容纳光罩的内部空间； 至少一通孔，设于该第一盖体或该第二盖体的侧边，连通该内部空间 以及光罩盒的外部空间，以及；至少一过滤装置，该过滤装置包含-一扣件，覆盖于该通孔上；一夹持件，卡设于该扣件中，其中该夹持件具有至少一孔洞，该孔洞 设于对应于该扣件的开口的位置；以及一过滤薄膜夹设于该夹持件上具有该孔洞的位置；其特征在于，具有至少两个卡榫点设于该通孔周围，该扣件具有至少 两个锁扣部用以卡设于该卡榫点。
专利摘要本实用新型是一种光罩盒结构，特别是有关于一种具有枢纽装置的光罩盒。此一种光罩盒包含一第一盖体及一第二盖体组合，两者形成一内部空间可容纳一光罩，一枢纽，用以连结第一盖体及第二盖体，其包括一第一连结座固定于第一盖体上，和一第二连结座固定于第二盖体上，此枢纽亦包含一转轴，其两端卡设于些连结座，转轴包含第一部分及与第一部分彼此枢设的第二部分，而第一部分及第二部分彼此接触部分具有高摩擦力表面。
文档编号G03F7/20GK201345032SQ20082020731
公开日2009年11月11日 申请日期2008年8月20日 优先权日2008年8月20日
发明者邱铭乾, 陈建达, 陈昶政 申请人:家登精密工业股份有限公司