专利名称：光罩盒的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体制程中使用的辅助产品，尤其涉及一种光罩盒。
背景技术：
请参阅图1，在制造光罩的制程中，放置光罩的光罩盒11外部经常贴有标
签13，标签13上注明产品类别及其他相关事项，当该光罩盒ll用完以后，如 果再回收使用光罩盒ll，需要将原标签13撕去，重新再装入光罩，然后再贴上 新的标签。
然而，由于标签13与光罩盒11的表面是通过不干胶粘合，所以很不容易 将标签13完全去除干净，会有不干胶的残留。这些残留的不干胶很容易吸附微 尘或成为污染源，污染光罩或机台。所以，目前制程，放置光罩的光罩盒ll通 常是使用一次后就被废弃。这样的方式很浪费，造成了生产成本的提高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种改进的光罩盒，其可以重复使用。 为实现上述目的，本发明提供一种光罩盒，其中，该光罩盒上设置至少一 个凸起结构和至少一个封袋，所述凸起结构用于将封袋安装在光罩盒上。 所述封袋可以从光罩盒的表面延伸至光罩盒的侧壁。 所述封袋可设置有内袋。 封袋的材质是透明材质。
所述光罩盒上可设置一个标签，该标签粘贴在封袋表面。 所述光罩盒上可设置一个标签，该标签可置于封袋内。 所述凸起结构可以与光罩盒一体成形。 所述凸起结构可拆卸地安装在光罩盒上。
所述凸起结构设置为一个挂钩，封袋可以悬桂在所述凸起结构上。所述凸起结构设置为纽扣状，封袋上对应设置一个按扣，该按扣可以与凸 起结构扣合。
与现有技术相比，本发明提供的光罩盒上安装有封袋，重新回收使用光罩 盒时，只需更换封袋或封袋内的标签即可，有效降低了生产生本。
通过以下对本发明的一实施例结合其附图的描述，可以进一步理解其实用
新型的目的、具体结构特征和优点。其中，附图为 图1为现有技术光罩盒的示意图。 图2为本发明光罩盒的平面示意图。 图3为本发明光罩盒的立体示意图。
具体实施例方式
请参阅图2，本发明提供一种光罩盒1，在该光罩盒1上设置至少一个凸起 结构3,该凸起结构3可以用于悬挂封袋5，该封袋5的表面可以贴标签7，该 光罩盒l用完以后，可以直接将封袋5去掉，更换一个新的封袋5。这样，光罩 盒1就可以重复使用，只要更换悬桂在凸起结构3上的封袋5即可。
请参阅图3,悬挂在凸起结构3表面的封袋5还会延伸至光罩盒1的侧壁， 用于在光罩盒l的侧壁粘贴标记9，该标记9可以是标签或者是条形码，在制程 中更为方便的识别光罩盒l。该标记9也可以装入封袋5中。在本发明的其他实 施例中，也可以单独在光罩盒l的侧壁上设置另一个凸起结构3，用于单独在侧 壁安装一个封袋5。
在本发明的实施例中，该凸起结构3可以与光罩盒1 一体成形，或者可以 单独设置。采用单独设置凸起结构3可以用于改造现有的光罩盒1。该凸起结构 3可以设置为一个挂钩或者其他类似结构，只要方便封袋5可以悬挂在该凸起结 构上即可。该凸起结构3也可以设置为纽扣状，封袋5上对应设置一个按扣， 该按扣可以与凸起结构3扣合。由此可见，凸起结构5将封袋可拆卸地安装在 光罩盒1上。
在本发明其他实施例中，封袋5可以打开或封闭，标签7也可以放置在封
4袋5内。当光罩盒1 ;^丈置其他^见格的光罩时，只需更换封袋5内部的标签7即 可。封袋5的材质是透明材质，例如塑料，但不局限于塑料，也可以是其他材 质。
本发明提供的光罩盒1上安装有封袋5，重新使用时，只需更换封袋5或封 袋5内的标签7即可，可以使光罩盒l重复使用，有效降低了生产生本。
本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本 领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改， 因此本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。
权利要求
1、一种光罩盒，其特征在于该光罩盒上设置至少一个凸起结构和至少一个封袋，所述凸起结构用于将封袋安装在光罩盒上。
1、 一种光罩盒，其特征在于该光罩盒上设置至少一个凸起结构和至少一个封 袋，所述凸起结构用于将封袋安装在光罩盒上。
2、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于所述封袋可以从光罩盒的表面延 伸至光罩盒的侧壁。
3、 如权利要求2所述的光罩盒，
4、 如权利要求3所述的光罩盒，
5、 如权利要求4所述的光罩盒， 该标签粘贴在封袋表面。
6、 如权利要求4所述的光罩盒，其特征在于所述光罩盒上可设置一个标签， 该标签可置于封袋内。
7、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于所述凸起结构可以与光罩盒一体 成形。
8、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于所述凸起结构可拆卸地安装在光 罩盒上。
9、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于所述凸起结构设置为一个挂钩， 封袋可以悬挂在所述凸起结构上。
10、 如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于所述凸起结构设置为纽扣状， 封袋上对应设置一个按扣，该按扣可以与凸起结构扣合。
全文摘要
本发明提供一种光罩盒，其中，该光罩盒上设置至少一个凸起结构和至少一个封袋，所述凸起结构用于将封袋安装在光罩盒上。所述封袋可以从光罩盒的表面延伸至光罩盒的侧壁。所述封袋可设置有内袋。封袋的材质是透明材质。所述光罩盒上可设置一个标签，该标签粘贴在封袋表面或置于封袋内。所述凸起结构可以与光罩盒一体成形。所述凸起结构可分离地安装在光罩盒上。所述凸起结构设置为一个挂钩，封袋可以悬挂在所述凸起结构上。与现有技术相比，本发明提供的光罩盒上安装有封袋，重新回收使用光罩盒时，只需更换封袋或封袋内的标签即可，有效降低了生产成本。
文档编号H01L21/67GK101494185SQ20081003304
公开日2009年7月29日 申请日期2008年1月24日 优先权日2008年1月24日
发明者吴其颖 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司