专利名称：光罩承载架的承载杆的制作方法
技术领域：
本实用新型设计半导体制造领域的装置，具体地说，是有关于一种存放光罩的光
罩承载架的承载杆。
背景技术：
光罩装载系统包括光罩承载架、底部侦测器、光罩尺寸辨认侦测器。系统通过底部 侦测器获知系统是否装载上了光罩等待清洗，而光罩尺寸辨认器能够辨认当时在承载架上 到底是5英尺的光罩还是6英尺的光罩。而6009规格的光罩由于比较薄，并且承载架的摆 放空间比较大，很容易造成系统把6009规格的光罩认成5009规格的光罩。(6009规格的光 罩和6025规格的光罩为6英尺正方形石英板，5009规格的光罩为5英尺正方形石英板)。 光罩装载系统主要是通过光罩承载架后部的红外侦测器来区分光罩尺寸的，而底 部的光罩摆放确认侦测器对5英尺，6英尺的光罩是通用的。能够被后部的红外侦测器探测 到的光罩会被机台识别为6英尺光罩，侦测不到的，会被识别为5英尺光罩。而后部的侦测 器是通过红外侦测来探测，由于红外线比较细，只要6009规格的光罩摆放不好，就会被机 台识别为5英尺光罩。在识别错误的情况下，当机械手臂来抓取6009规格的光罩的时候， 设备就会报错，严重的时候会造成光罩的报废。光罩承载架由四根特氟珑长杆和一些不锈 钢支架组成 ，在特氟珑长杆五个特定位置上各有卡槽，卡槽用来摆放待清洗的光罩。由于 6025规格的光罩的尺寸比较大，也比较厚，所以能够很可靠的被后部的侦测器识别，所以不 需要非常准确的定位在支架上。而5009规格的光罩的尺寸小，本身不需要被后部的侦测器 识别，就能被机台识别为5英尺光罩。但是随着6009规格的光罩的出现，原先的卡槽太大， 不能很好的定位这种光罩。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种光罩承载架的承载杆，可以帮助光罩准确定位。 为达上述目的，本实用新型提出一种光罩承载架的承载杆，其圆周面具有至少一 个第一凹槽，该第一凹槽的底部形成一第二凹槽，且第一凹槽适于夹持第一光罩，第二凹槽 适于夹持第二光罩。 本实用新型中，第一凹槽的侧壁是向第一凹槽的外侧倾斜的，且第一凹槽最窄处 的宽度小于等于6025规格的光罩的厚度。 本实用新型中，其中第二凹槽的宽度等于6009规格的光罩或5009规格的光罩的 厚度。 综上所述，本实用新型的承载杆上设计有新的承载凹槽结构，可适应两种不同厚 度的光罩，并且把夹持这两种不同厚度的光罩的凹槽整合在一起，让同一个凹槽能够摆放 两种不同的光罩。
图1所示为本实用新型一实施例的光罩承载架的承载杆的示意图。 图2为图1中承载杆应用于光罩承载架的示意图。
具体实施方式为让本实用新型的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实
施例，并配合附图，作详细说明如下。 图1所示为本实用新型一实施例的承载杆的示意图。图2为图1中承载杆应用于 光罩承载架的示意图。对于本领域中具有通常知识的人来说，承载杆1如何安装于光罩承 载架10以及承载杆1如何承载光罩(图中未标出)属于公知技术，在此不再赘述。下面仅 对承载杆的结构进行介绍。 承载杆l其圆周面具有至少一个第一凹槽ll，该第一凹槽ll的底部形成一第二凹 槽12，且第一凹槽11适于夹持第一光罩，第二凹槽12适于夹持第二光罩。 本实用新型中，第一凹槽11的侧壁11a、llb是向第一凹槽的外侧倾斜的，且第一 凹槽最窄处的宽度d小于等于6025规格的光罩的厚度。 本实用新型中，其中第二凹槽的宽度等于6009光罩或5009光罩的厚度。举例来说，6009和5009两种规格的光罩的厚度同为90密耳(mil) ，mil是一个长 度的单位，代表千分之一英寸(inch) ， linch " 25. 4mm相当于2. 3毫米(mm)，而6025规格 的光罩的厚度为250mil，相当于6. 35mm。 专门为6009和5009两种规格的光罩设计的第二凹槽宽度为2. 5mm，可以准确固定 6009和5009两种规格的光罩。在第二凹槽12的外部有更大的一个倾斜的第一凹槽11，第 一凹槽ll是专门用来摆放6025规格的光罩的。由于凹槽12倾斜角底部最窄处d为5. 75mm， 小于6025规格的光罩的厚度6. 35mm，所以放上6025规格的光罩以后，6025规格的光罩会 被卡在这个倾斜角上，所以这个结构不会影响两种光罩的摆放。 综上所述，本实用新型的承载杆上设计有新的承载凹槽结构，可适应两种不同厚 度的光罩，并且把这夹持这两种不同厚度的光罩的凹槽整合在一起，让同一个凹槽能够摆 放两种不同的光罩。 本实用新型中所述具体实施案例仅为本实用新型的较佳实施案例而已，并非用来 限定本实用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化与修 饰，都应作为本实用新型的技术范畴。
权利要求一种光罩承载架的承载杆，其圆周面具有至少一个第一凹槽，其特征在于，该第一凹槽的底部形成一第二凹槽，且第一凹槽适于夹持第一光罩，第二凹槽适于夹持第二光罩。
2. 根据权利要求1所述的光罩承载架的承载杆，其特征在于，其中第一凹槽的侧壁是 向第一凹槽的外侧倾斜的。
3. 根据权利要求2所述的光罩承载架的承载杆，其特征在于，其中第一光罩是6025规 格的光罩。
4. 根据权利要求1所述的光罩承载架的承载杆，其特征在于，其中第二光罩是6009规 格的光罩或5009规格的光罩。
5. 根据权利要求1所述的光罩承载架的承载杆，其特征在于，其中第一凹槽的数量为 5，且这些第一凹槽为均匀分布在承载杆的圆周面上。
专利摘要本实用新型提出一种光罩承载架的承载杆，其圆周面具有至少一个第一凹槽，该第一凹槽的底部形成一第二凹槽，且第一凹槽适于夹持第一光罩，第二凹槽适于夹持第二光罩。本实用新型的承载杆上设计有新的承载凹槽结构，可适应两种不同厚度的光罩，并且把夹持这两种不同厚度的光罩的凹槽整合在一起，让同一个凹槽能够摆放两种不同的光罩。
文档编号G03F1/66GK201508458SQ20092020961
公开日2010年6月16日 申请日期2009年9月11日 优先权日2009年9月11日
发明者吴旭升 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司