专利名称：防静电光罩的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及液晶显示器制造技术，尤其涉及一种防静电光罩。
背景技术：
在目前液晶显示面板行业加工过程中，光罩是一种图形转移的重要制具，将光罩 上的设计图案通过曝光过程定义在显示面板的IT0玻璃或芯片的光抗蚀层上后，通过化学 蚀刻制成与光罩图案一样的图形。因而，光罩上的图形图案十分重要，若光罩上的图形出现 问题或损伤，对后续使用光罩加工的产品图案也无法达到设计所要求的电路及路线图；所 以如何保证光罩的电路图形就显到十分重要。光罩的构成是在一块苏打特性的玻璃上镀一层金属铬层(Cr)，而其设计的图案就 形成在该金属铬层上。然而，众所周知地，在环境变化等情况下，特别是在空气干燥的季节， 物体间的摩擦很容易产生静电电荷，摩擦起电所产生的电压取决于相互摩擦的材料本身的 特性，而人体与玻璃之间是比较常见容易摩擦起电的主体，而光罩表面为金属层，故在该金 属层上非常容易累积静电电荷，当其累积的静电电荷达到一定程度时，就会找寻一个释放 的渠道。在这种情况之下，静电电荷通常会在相邻的图形图案间，尤其是相对较细的图形间 以角对角、尖对尖、大图形向小图形的方式释放静电，这种释放静电过程叫静电电荷放电。 而静电放电现象所产生的瞬间热能、电能足以破坏光罩上的图形图案，从而使产品合格率 和可靠性下降，甚至导致光罩图形损伤无法使用。因此，许多大型的制造厂引进专业技术以减小生产环境中的静电积累，用户根据 自己的经验也懂得了防治静电放电损害的重要性。目前，在光罩加工及应用领域中，常见的 一种防静电方法是在光罩表面增加隔膜层或保护层，以此来减少或防止静电累积，该方案 制造方法较为繁琐，而且会增加光罩制造困难度与成本；而另一种则是从环境上着手，如通 过增加空气的湿度来降低静电产生或在光罩放置位置以及移动的路线上喷洒离子以中和 产生的静电等。这些方案往往都需要大量的设备和成本。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种防静电光罩，该光罩可大大节省放 静电光罩的防静电设备和成本。为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案—种防静电光罩，包括覆盖有金属铬层的苏打玻璃，所述金属铬层蚀刻有光罩图 形，绕该光罩边缘的金属铬层表面设置有一放电环，该放电环通过设置在所述金属铬层的 静电导引线连接到光罩图形，而该放电环的首尾通过两组相对设置的放电端子对接，每组 放电端子由若干以预设的间隔并排设置的放电端子构成。本实用新型的有益效果是本实用新型的实施例通过围绕光罩的边缘设置带有尖端放电区的放电环，将累积 在光罩上的静电导引出有效图形外进行释放，从而有效地避免了光罩受静电击伤的可能
3性，并大大降低了光罩对运输、保存及使用环境的要求，增加了光罩使用寿命，降低了制造 成本，节省了大量因静电破坏报废的产品的费用。
以下结合附图对本实用新型作进一步的详细描述。
图1是本实用新型提供的防静电光罩一个实施例的结构示意图。图2是本实用新型提供的防静电光罩一个实施例中放电端子的放大图。图3是提供的防静电光罩一个实施例中放电组的放大图。
具体实施方式
下面参考图1-图3详细描述本实用新型提供的防静电光罩的一个实施例。如图1所示，本实施例主要包括覆盖有金属铬层1的苏打玻璃，所述金属铬层蚀刻 有光罩图形(图中未示出)，绕该光罩边缘的金属铬层1表面设置有一放电环10，该放电环 10通过设置在金属铬层1的静电导引线20连接到光罩图形，而该放电环10的首尾通过两 组相对设置的放电端子101、102对接，每组放电端子由若干以预设的间隔并排设置的放电 端子1012构成。具体实现时，放电环10可为黑色的矩形环，其环边宽可为8-10厘米。其中，放电端子101、102起到释放累积的静电的作用，其具体结构如图2所示。具 体实现时，同一组中放电端子101(102)中每个放电端子1012间的间隔及单个放电端子 1012的宽度均小于所述光罩图形的最小线宽，为其1/2最好，如光罩图形中最小线条的宽 度为lOum，则同一组放电端子101 (102)间的间隔及单个放电端子1012的宽度分别为5um ； 而两组放电端子101、102间的相对距离则不超过每个放电端子1012宽度的二分之一，如 其端子1012宽度与间隔均为5um，则两组放电端子101、102间的相对距离为2. 5um,即两组 放电端子101、102间的相对距离是单个放电端子1012宽度的1/2。其中，静电导引线20的作用是将光罩图形上累积的静电电荷导引到放电环10，使 静电电荷在整个金属铬层1最细小的线条中进行释放，从而避免光罩图形被静电击伤。具 体实现时，静电导引线20的线条宽度应小于制造光罩图案所采用的微影刻蚀工艺的最小 精度，如果该微影刻蚀工艺精细到5um，则其导引线20线条宽度可设置为l-3um，由于在蚀 刻工艺精细度为5um的条件下，lum的导引线20在刻蚀时无法被保存，从而不会体现到后续 的产品中，因而既达到了导引静电的作用，又不会影响光罩图形的图形性能。另外，由于有些光罩图形的复杂性，为了防止有无法通过静电导引线20连接到放 电环10的光罩图形考虑，在这些光罩图形之间的空白区域还可设置放电组30，放电组30包 括有四个排列成矩阵状的环矩形放电体301，每个放电体301上设置有两个相互垂直的放 电尖角3010，放电尖角3010分别从放电体301相邻的两边朝外延伸，且每个放电尖角3010 与其相邻放电体301的一个放电尖角3010相对设置。放电组30的作用是将光罩图案上累积的静电进行提前减小或释放，避免光罩图 形被累积的大量静电击伤。具体实现时，环矩形放电体301的外环宽度应小于制造光罩图 案所采用的微影刻蚀工艺的最小精度，并设置于在光罩图形之间的对后续产品无影响或无 要求的空白区域的中心处，其外正方形宽度可为5um，内正方形宽度可为2. 5um，放电尖角3010与其相邻放电体301的放电尖角3010之间距离可为2. 5um,以放电组30不对产品的其 他性能产生影响为准，如有影响，将其按比例相应缩小即可，并可根据实际需要在每个Cell 与Cell之前都摆放一组放电组30。由于放电组30是整个光罩最小线宽的图形，累积在光罩图形的静电会聚集在最 小处进行放电，所以该放电组能够将累积在光罩图形上的静电进行释放，以避免光罩被静 电击伤。本实用新型在光罩图形的各部分都能将累积在光罩上的静电导引出有效图形外 进行释放，保障了有效图形图案的完整性；同时不影响产品设计电路图形的性能。本实用新 型可广泛用于各行业中类似图案的光罩设计，大大节省后续为防静电所做的成本。以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术 人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润 饰也视为本实用新型的保护范围。
权利要求一种防静电光罩，包括覆盖有金属铬层的苏打玻璃，所述金属铬层蚀刻有光罩图形，其特征在于绕该光罩边缘的金属铬层表面设置有一放电环，该放电环通过设置在所述金属铬层的静电导引线连接到光罩图形，而该放电环的首尾通过两组相对设置的放电端子对接，每组放电端子由若干以预设的间隔并排设置的放电端子构成。
2.如权利要求1所述的防静电光罩，其特征在于同一组放电端子中每个放电端子间 的间隔及单个放电端子的宽度均小于所述光罩图形的最小线宽。
3.如权利要求2所述的防静电光罩，其特征在于所述两组放电端子间的相对距离不 超过每个放电端子宽度的二分之一。
4.如权利要求3所述的防静电光罩，其特征在于所述静电导引线的宽度小于制造所 述光罩图形所采用的微影蚀刻工艺的最小精度。
5.如权利要求1-4中任一项所述的防静电光罩，其特征在于所述放电环为黑色的矩 形环，其环边宽为8-10厘米。
6.如权利要求1所述的防静电光罩，其特征在于在光罩图形之间的空白区域还设置 有放电组，所述放电组包括有四个排列成矩阵状的环矩形放电体，每个放电体上设置有两 个相互垂直的放电尖角，所述放电尖角分别从所述放电体相邻的两边朝外延伸，且每个放 电尖角与其相邻放电体的一个放电尖角相对设置。
7.如权利要求6所述的防静电光罩，其特征在于所述环矩形的外环宽度小于制造所 述光罩图形所采用的微影蚀刻工艺的最小精度。
专利摘要本实用新型公开一种防静电光罩，包括覆盖有金属铬层的苏打玻璃，所述金属铬层蚀刻有光罩图形，绕该光罩边缘的金属铬层表面设置有一放电环，该放电环通过设置在所述金属铬层的静电导引线连接到光罩图形，而该放电环的首尾通过两组相对设置的放电端子对接，每组放电端子由若干以预设的间隔并排设置的放电端子构成。本实用新型可大大节省放静电光罩的防静电设备和成本。
文档编号G03F1/08GK201607608SQ20102030109
公开日2010年10月13日 申请日期2010年1月20日 优先权日2010年1月20日
发明者杜武兵 申请人:深圳市路维电子有限公司