专利名称：防护胶膜组件收纳容器的制作方法
技术领域：
本发明关于用以收容.保管.运送在制造半导体装置、印刷电路板、或液晶显示器等时被当做除尘器使用的平版印刷用防护胶膜组件的防护胶膜组件收纳容器。
背景技术：
LSI等半导体装置或液晶显示器等制造时，是利用对半导体晶圆或液晶用玻璃原板照射光来形成图案，然而，此时所使用的光罩或标线片(以下简称为光罩)若附着着灰尘，则该灰尘会阻隔光、或使光转向，而有转印的图案受损的问题。
因此，相关作业通常是在无尘室内进行，然而，仍然难以随时都保持光罩的清净。因此，采用在光罩表面贴附防护胶膜组件当做除尘器使用的方法。
此时，因为异物不会直接附着于光罩的表面而附着于防护胶膜组件，在平版印刷时，只要使焦点对准光罩的图案，则防护胶膜组件上的异物不会影响转印。
然而，防护胶膜组件虽然具有防止异物从贴附于屏蔽时所形成的封闭空间的外部侵入内部的效果，当防护胶膜组件本身附着着异物且该异物位于封闭空间的内部时，则无法防止异物附着于光罩表面。因此，不但要求防护胶膜组件本身必须具有高清净性，对于保管及运送所使用的防护胶膜组件收纳容器亦强烈要求其具有可维持清净性的性能。
如上面所述，强烈要求防护胶膜组件收纳容器应具有在防护胶膜组件的保管及运送时可维持防护胶膜组件的清净性的性能，因此，尽量减少灰尘发生源的要素极为重要。
灰尘发生源的要素包括构成防护胶膜组件收纳容器的构件的材质、电性特性、清净度、构成防护胶膜组件收纳容器的构件间的接触、防护胶膜组件收纳容器及防护胶膜组件的接触、以及外力对防护胶膜组件收纳容器所造成的摩擦等。
因此，构成防护胶膜组件收纳容器的材料的材质、强度、电性特性、及防护胶膜组件的固定方法等各种要素均必须考虑。
一般的半导体用防护胶膜组件收纳容器是由用以载置防护胶膜组件的容器本体、及用以保持防护胶膜组件且边缘部与容器本体互相嵌合固定的盖体所构成，其材质均为树脂，盖体具有透明性。
将防护胶膜组件固定于半导体用防护胶膜组件收纳容器的方法有如下所示的方法。
其一，以盖体内壁压迫防护胶膜框架的上端面的方法(参照专利文献1)。
专利文献1所示的以盖体内壁压迫防护胶膜框架的上端面的方法，具有可以单纯的构件构成确实地保持防护胶膜框架的优点，然而，因为一般的防护胶膜组件收纳容器是由树脂所制成，对于来自容器外部的力的承受能力较弱，当防护胶膜组件收纳容器整体因为外力而发生扭曲时等，强大的力作用于防护胶膜框架，而可能成为灰尘发生的原因或出现变形。
此种现象在1边长度超过400mm的大型液晶用防护胶膜组件时更为明显。
其它方法方面，例如在容器本体增设肋部构造来提高刚性的方法(参照专利文献2)。
专利文献2所示的在容器本体增设肋部构造来提高刚性的方法，具有可减少烈日下的货车运送或空运等运送中的外气温度变化所导致的热变形的优点，然而，使用上，很难将作业者手持容器的单侧边缘时所导致的扭曲抑制于不会影响到防护胶膜组件的程度。
其它固定方法尚有利用推压体固定用以保护涂布于防护胶膜组件的粘着材的保护膜来间接固定防护胶膜框架的方法(参照专利文献3)。
专利文献2所示的利用推压体固定用以保护涂布于防护胶膜组件的粘着材的保护膜来间接固定防护胶膜框架的方法，可以在不接触防护胶膜框架本体的状态下夹钳保护膜，故具有来自防护胶膜组件收纳容器外部的力对防护胶膜框架较没有影响的优点，然而，为了容易从粘着材剥离，保护膜通常会涂布着脱模剂，故运送中的振动可能导致防护胶膜框架脱离保护膜。
为了防止上述情形而使用重剥离类型之物做为保护膜的脱模剂时，从粘着剂剥离保护膜时可能导致粘着剂的变形，在将防护胶膜组件贴附于屏蔽时则可能出现该变形部位无法贴附于屏蔽的情形，而发生出现空气程的问题。
专利文献1日本实公平6-45965号公报专利文献2日本特开2000-173887号公报专利文献3日本特开平11-052553号公报发明内容有鉴于上述问题，本发明的目的在提供保管、运送、操作中可使异物不会附着于收纳的防护胶膜组件且可防止防护胶膜组件的污损并维持质量的照相平版印刷用防护胶膜组件收纳容器。
以解决上述课题为目的的本发明，是由用以载置防护胶膜组件的容器本体、及覆盖防护胶膜组件且边缘部与容器本体互相嵌合固定的盖体所构成的防护胶膜组件收纳容器，其特征为，将框架保持销插入设于防护胶膜框架外侧面的孔来保持防护胶膜组件。前述容器本体为树脂、前述容器本体接合着金属构件、对保持防护胶膜组件的前述框架保持销进行定位的定位构件及组装于容器本体的前述金属构件是以机械方式进行连结、以及保持防护胶膜组件的前述框架保持销与防护胶膜框架的接触部设置着弹性体时为佳，前述容器本体及前述盖体的材质为树脂且具有表面电阻值为1×1012Ω/□以下的防静电性能更佳。
依据本发明，可在极力避免接触到接触部的情形下，确实地握持防护胶膜框架，而降低发生灰尘的可能性，而且，在刚性提高的容器本体设置框架保持销，故具有可降低外力对防护胶膜组件的影响的效果。此外，依据容器本体为树脂且容器本体接合着金属构件的实施形态，可补足具有质轻的优点的树脂的容易变形的缺点，而只要使必要部分具有针对外力的形状保持机能即可。
其次，依据对保持防护胶膜组件的框架保持销进行定位的构件、及组装于容器本体的金属构件以机械方式进行连结的实施形态，保管、运送、操作中亦可使防护胶膜组件的位置保持于一定的位置，故可减少灰尘发生及变形。
此外，依据保持防护胶膜组件的框架保持销与防护胶膜框架的接触部设置着弹性体的实施形态，保管、输送、操作中，可降低振动对防护胶膜组件的影响。
依据容器本体及盖体的材质为树脂且具有表面电阻值为1×1012Ω/□以下的防静电性能的实施形态，具有可防止大型液晶防护胶膜组件收纳容器特别容易发生的包装袋摩擦所导致的静电问题等的异物附着防止效果。
图1是本发明的防护胶膜组件收纳容器的一实施形态的剖面说明图。
图2是本发明的防护胶膜组件收纳容器的一实施形态的框架保持部的部分放大图。
图3是本发明的防护胶膜组件收纳容器的一实施形态的容器本体的表面的说明图，(a)是表面说明图，(b)是容器本体的剖面说明图。
图4是本发明的防护胶膜组件收纳容器的一实施形态的容器本体的背面的说明图，(a)是容器本体的剖面说明图，(b)是背面说明图。
图5是传统的防护胶膜组件收纳容器的说明图。
主要组件符号说明1容器本体2盖体3框架保持销4销固定构件5补强金属构件6防护胶膜框架7防护胶膜膜片8弹性体9连结用螺丝10 框架夹具孔具体实施方式
以下，参照附图针对本发明的实施形态进行说明，然而，本发明并未受限于此。
图1是本发明的防护胶膜组件收纳容器的一实施形态的剖面说明图，图2是其一部分的放大图。
图3是本发明的防护胶膜组件收纳容器的一实施形态的容器本体表面说明图，图4是容器本体背面说明图。
图1中，本发明的防护胶膜组件收纳容器是由容器本体1、盖体2、框架保持销3、销固定构件4、以及补强金属构件5所构成。
与传统的防护胶膜组件收纳容器相同，容器本体1的中央配设着用以载置防护胶膜组件的较高的载置台，覆盖以边缘部与容器本体1互相嵌合固定的盖体2而形成封闭空间。
容器本体及盖体的材质方面，考虑容器整体的轻量化，以树脂为佳，然而，液晶用的大型防护胶膜组件时，尤其是树脂的变形对制品会造成很大影响时，以减少容器本体1的反翘为目的，而在容器本体1的背面接合补强金属构件5。
为了防止防护胶膜组件带电而成为灰尘附着的原因，容器本体1及盖体2所使用的树脂应具有防静电性能。防静电性能以表面电阻值为1×1012Ω/□以下为佳。
树脂的材质方面，并无特别限制，可使用压克力树脂、聚乙烯对苯二甲酸酯树脂、丙烯脂.丁二烯.苯乙烯树脂、聚苯乙烯树脂、聚碳酸酯树脂、氯化乙烯树脂、聚丙烯树脂、聚乙烯树脂、以及丙烯脂.乙烯.苯乙烯等。
防静电的方式只要没有发生灰尘的问题，可以从对基底聚合物调合亲水性聚合物的方式、导电膜的覆盖、以及导电材料的精炼等所选取。
此外，金属材料可以为铝、不锈钢、碳钢、铜、黄铜等，考虑比重及弹性率的话，以铝为佳。
如图2的放大图所示，防护胶膜框架6的固定是将框架保持销3插入设于框架外侧面的夹具孔10来实施。为了更柔和地握持防护胶膜框架，应在框架保持销3的前端设置弹性体8。
销固定构件4是用以实施框架保持销3的定位的构件，然而，因为利用螺丝等与容器本体的背面的补强金属构件5进行机械方式的连结，故即使有来自容器外部的力、或容器本体因为热变形而扭曲时，亦可维持框架保持销的位置精度。
弹性体的材料方面，如腈橡胶、苯乙烯橡胶、硅橡胶、含氟橡胶、氯丁二烯橡胶、聚胺甲酸酯橡胶、4氟化乙烯树脂、聚丙烯橡胶、以及乙烯丙烯橡胶等，以耐久性的观点而言，以硅橡胶及4氟化乙烯橡胶为佳。以静电对策而言，使相关材料具有防静电机能更佳。
利用框架保持销3固定防护胶膜框架6的部位至少需要3处以上，如图3所示，最好为包括防护胶膜框架6的角部附近在内的4处以上。
如图4的容器本体的背面的平面图所示，为了防止容器本体1的变形，在容器本体的背面设置补强金属构件5。补强金属构件5应以机械方式连结于销固定构件4。虽然补强金属构件5的单体亦可获得效果，然而，如图所示，以纵横连结的方式来设置，可以获得更高的效果。
实施例以下，针对本发明的实施例进行说明，然而，本发明并未受限于此。制作图1～图4所示的防护胶膜组件收纳容器。
防护胶膜组件收纳容器的构成上，主要是由利用真空成型法以防静电性ABS树脂((股)TORAY制、商品名称TOYOLACPAREL TP10、表面电阻值5×1011Ω/□)进行成型所得到的容器本体1、及同样利用真空成型法以防静电性ABS树脂((股)TORAY制、商品名称TOYOLACPAREL TP10、表面电阻值5×1011Ω/□)进行成型所得到的容器盖体2所构成。容器本体的背面设置着剖面为40×6mm的铝合金制补强金属构件5，如图4所示，纵横交叉连结着5支补强金属构件5。
此外，设置于容器本体表面的销固定构件4及设置于容器本体背面的补强金属构件5是夹着容器本体以M4的螺丝进行机械方式的连结。此外，销固定构件4及框架保持销3的材质是PPS，如图3所示，防护胶膜框架6的角部附近的4处配设着框架保持销3，该框架保持销3的前端则设置着含氟橡胶制的弹性体8。
在外部尺寸为782×474×6mm的铝合金制防护胶膜框架6的一端面涂布硅粘着剂(信越化学工业(股)制、商品名称KR120)当做防护胶膜膜片粘着剂，而在另一端面涂布硅粘着剂(信越化学工业(股)制、商品名称KR120)当做屏蔽粘着剂，对其加热进行烘焙，再将防护胶膜框架6贴附着利用旋涂法所得到的氟系聚合物(商品名称CYTOP、旭硝子(股)制)的厚度约4μm的防护胶膜膜片7的防护胶膜组件收纳于完成的防护胶膜组件收纳容器，在东京-福冈间进行往返空运，检测运送前后的防护胶膜膜片上的异物增加数。
在等级100的无尘室内从防护胶膜组件收纳容器取出防护胶膜组件，并在暗房内照射40万勒克斯的光，调查防护胶膜膜片7表面的异物增加数，结果，防护胶膜膜片7上的异物并未增加，此外，构成防护胶膜组件的构件亦未观察到变形或受损。此外，利用ION SYSTEM公司(美国加利福尼亚州)制的ION SYSTEM/MODEL775检测到运送后的防护胶膜膜片的带电量为-0.1kV。
比较例制作图5所示的传统公知的以盖体内壁2压迫防护胶膜框架6的上端面的构成的防护胶膜组件收纳容器。容器本体1及盖体2的材质为表面电阻值1018Ω/□以上的压克力性树脂。
在外部尺寸为782×474×6mm的铝合金制防护胶膜框架6的一端面涂布硅粘着剂(信越化学工业(股)制、商品名称KR120)当做防护胶膜膜片粘着剂，而在另一端面涂布硅粘着剂(信越化学工业(股)制、商品名称KR120)当做屏蔽粘着剂，对其加热进行烘焙，再将防护胶膜框架6贴附着利用旋涂法所得到的氟系聚合物(商品名称CYTOP、旭硝子(股)制)的厚度约4μm的防护胶膜膜片7的防护胶膜组件收纳于此防护胶膜组件收纳容器，在东京-福冈间进行往返空运，检测运送前后的防护胶膜膜片上的异物增加数。
在等级100的无尘室内从防护胶膜组件收纳容器取出防护胶膜组件，并在暗房内照射40万勒克斯的光，调查防护胶膜膜片7表面的异物增加数，结果，防护胶膜膜片7上的10μm以上的异物增加了48个，此外，在抵接防护胶膜膜片粘着剂的盖体的部分观察到运送前没有的压痕。此外，利用ION SYSTEM/MODEL775检测到运送后的防护胶膜膜片的带电量为-3.8kV，代表其带电。
如以上所示，依据本发明，收纳的防护胶膜组件在保管、运送、操作中不会附着异物，而且，可防止防护胶膜组件的污损而维持质量。
权利要求
1.一种防护胶膜组件收纳容器，包括容器本体，用以载置防护胶膜组件；及盖体，覆盖防护胶膜组件，且其边缘部与容器本体互相嵌合固定；其特征在于将框架保持销插入设于防护胶膜框架外侧面的孔来保持防护胶膜组件。
2.根据权利要求1所述的防护胶膜组件收纳容器，其特征在于该容器本体是树脂，该容器本体接合着金属构件。
3.根据权利要求1或2所述的防护胶膜组件收纳容器，其特征在于对保持防护胶膜组件的该框架保持销进行定位的定位构件、及组装于容器本体的该金属构件是以机械方式进行连结。
4.根据权利要求1或2所述的防护胶膜组件收纳容器，其特征在于在保持防护胶膜组件的该框架保持销与防护胶膜框架的接触部设置着弹性体。
5.根据权利要求1或2所述的防护胶膜组件收纳容器，其特征在于该容器本体及该盖体的材质为树脂，该容器本体及该盖体具有表面电阻值为1×1012Ω/□以下的防静电性能。
全文摘要
本发明提供收纳防护胶膜组件不会附着异物且可防止防护胶膜组件的污损而维持质量的照相平版印刷用防护胶膜组件收纳容器，其由用以载置防护胶膜组件的容器本体、及覆盖防护胶膜组件且边缘部与容器本体互相嵌合固定的盖体所构成的防护胶膜组件收纳容器，将框架保持销插入设于防护胶膜框架外侧面的孔来保持防护胶膜组件。该容器本体为树脂、该容器本体接合着金属构件、对保持防护胶膜组件的该框架保持销进行定位的定位构件及组装于容器本体的该金属构件是以机械方式进行连结、以及保持防护胶膜组件的该框架保持销与防护胶膜框架的接触部设置着弹性体时为佳，此外，该容器本体及该盖体的材质为树脂且具有表面电阻值为1×10
文档编号G03F1/64GK1836988SQ20061005495
公开日2006年9月27日 申请日期2006年2月27日 优先权日2005年3月22日
发明者野崎聪, 关原一敏 申请人:信越化学工业株式会社