技术编号：2790986
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光刻机系统应用领域，尤其涉及一种应用于步进扫描投影光刻机工件台和掩模台同步控制的同步数据传输总线系统及方法。背景技术在大规模的半导体集成电路的前端制造设备中，光刻是集成电路加工过程中最为关键的工序，因此光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。图I所示为步进扫描投影光刻机的工件台、掩模台结构示意图。光束8通过由两个刀片I和2组成的狭缝后投影到掩模3上，掩模3以设定的速度匀速通过该光束。同时， 娃片5在透镜7的下方以与掩模3相反的方向运动。这种步进扫...
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