专利名称：一种同步数据传输总线系统及方法
技术领域：
本发明涉及光刻机系统应用领域，尤其涉及一种应用于步进扫描投影光刻机工件台和掩模台同步控制的同步数据传输总线系统及方法。
背景技术：
在大规模的半导体集成电路的前端制造设备中，光刻是集成电路加工过程中最为关键的工序，因此光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。图I所示为步进扫描投影光刻机的工件台、掩模台结构示意图。光束8通过由两个刀片I和2组成的狭缝后投影到掩模3上，掩模3以设定的速度匀速通过该光束。同时， 娃片5在透镜7的下方以与掩模3相反的方向运动。这种步进扫描光刻机具有低变形、大像场的特点，同时，承载硅片的工件台6和承载掩模的掩模台4都能够实现高速的运动，使得步进扫描光刻机具有很高的生产效率，能够更好的满足半导体芯片加工的需求。所以，步进扫描投影光刻机的主要技术之一就是要实现工件台和掩模台的高速、高精度的同步运动控制。为了实现上述运动控制,需要实时采集工件台和掩模台各自的x、y、z、Rx、Ry和Rz六个自由度的位置数据，每一个自由度都有对应的位置传感器和运动控制器。而为了实现高精度的运动控制，不同自由度的运动控制器需要其他自由度的位置数据，这样在光刻机工件台掩模台运动控制系统的每一个伺服周期内都会有大量的位置数据采集、传输和处理过程。现有技术中，一种基于同步广播、地址循环队列和计数器反转机制的总线平台，可以在步进扫描光刻机中实现对工件台掩模台位置信息的同步采样及传输，实现对工件台/掩模台运动控制卡的同步控制。然而利用该总线进行数据传输时，同步广播总线地址FIFO中放置的地址是按照固定的周期连续的依次被输出，数据传输完全由总线控制卡控制，运动控制卡无法进行握手响应。也就是说，被寻址的运动控制卡必须在总线控制卡广播地址之前，将需要发送的数据准备好，否则数据无法发送，因此这种传输方式的适应性差。进一步的，现有技术中还提出一种步进扫描投影光刻机同步控制系统的运动数据传输总线协议，实现了光刻机工件台和掩模台运动控制的数据传输需求。然而利用该总线进行数据传输时，数据传输包是按照数据传输源进行区分，属于同一数据传输源的所有数据传输周期被封装成一个数据传输包，也就是说一个数据传输包只能传输相对应的一个数据传输源的数据，这也大大限制了该总线传输方式的灵活性。因此，急需一种用于步进扫描投影光刻机的同步数据传输总线系统及方法，实现高速同步数据传输的同时，提高总线传输方式的灵活性和适应性。
发明内容
本发明所解决的技术问题在于提供一种用于步进扫描投影光刻机的同步数据传输总线系统及方法，实现高速同步数据传输的同时，提高总线传输方式的灵活性和适应性，实现工件台和掩模台的高速、高精度的同步运动控制。为解决上述问题，本发明提供一种同步数据传输总线系统，包括一块原始位置数据接收卡，接收来自测量系统的原始位置数据；若干块运动控制卡，接收并计算处理所述原始位置数据后打包发送给其他运动控制卡;一块同步总线控制卡，存放所述原始位置数据对应的定义好的地址包，并实现对原始位置数据接收卡和运动控制卡的同步控制，所述地址包由一个包头地址，若干个传输地址和一个包尾地址组成；一组同步数据传输总线，连接所述同步总线控制卡、原始位置数据接收卡及运动控制卡，所述同步数据传输总线包含地址线、数据线、地址选通线、数据选通线和握手信号 线，所述的握手信号线由原始位置数据接收卡和运动控制卡通过“线与”方式驱动输出至同步总线控制卡，所述的地址线、地址选通线、数据选通线由同步总线控制卡驱动输出至原始位置数据接收卡和运动控制卡；一块通讯总线控制卡，进行对同步总线控制卡、原始位置数据接收卡及运动控制卡的初始化配置及控制，初始化配置时将所述原始位置数据的存放地址定义成所述地址包；一组通讯总线，实现所述通讯总线控制卡与同步总线控制卡、原始位置数据接收卡及运动控制卡间的通讯。进一步的，所述同步数据传输总线、同步总线控制卡、原始位置数据接收卡、运动控制卡、通讯总线和通讯总线控制卡均集成在一个机箱的同一背板上。进一步的,所述通讯总线采用PCI, VME或Compact PCI总线协议形式。进一步的,所述通讯总线控制卡采用VxWorks、pS0S或RTLinux等实时操作系统。进一步的，所述同步数据传输总线是一组非地址-数据复用的广播总线。进一步的，所述数据线由当前数据传输周期寻址的板卡驱动输出。进一步的，所述同步总线控制卡的核心控制逻辑采用CPLD或FPGA来实现。进一步的，所述同步总线控制卡包含一个先入先出式存储器、一个总线控制模块和一个数据接口模块。进一步的，所述先入先出式存储器中存放了所有所述地址包，并按照事先定义好的顺序依次输出。进一步的，所述的总线控制模块包含了一个时钟计数器，通过计数器的循环计数依次读取所述先入先出式存储器中的地址。进一步的，所述总线控制模块读取到某个包头地址时将重复进行该包头地址传输，直到握手信号得到响应，然后连续输出当前包的传输地址及包尾地址。进一步的，所述数据接口模块根据总线控制模块输出的地址及控制信号，完成地址的锁存及译码及数据的输入输出控制。进一步的，所述原始位置数据接收卡通过光纤接收来自位置测量系统的原始位置数据，并将原始位置数据存储在先入先出式存储器中。进一步的，所述运动控制卡通过所述同步数据传输总线接收来自原始位置数据接收卡的原始位置数据，经过计算处理后将处理后的数据打包发送给其他运动控制卡。
进一步的，所述原始位置数据接收卡和每块运动控制卡内部为每个地址包都配置了一个包握手方式配置寄存器和包数据更新状态寄存器。进一步的，所述包握手方式配置寄存器包含ALWAYS位和SOFT位两个位信息，用来配置该地址包的握手方式，分别表示直接握手和软件握手。进一步的，当所述同步传输数据总线寻址到某个地址包的包头地址时，若该地址包的ALWAYS位设置为1，相应的原始位置数据接收卡和运动控制卡将立即做出握手响应，若该地址包的ALWAYS位设置为0，握手信号的输出由SOFT位定义，通过软件配置SOFT位，实现该地址包的延时发送。进一步的，所述包数据更新状态寄存器包含一个READY位信息，用来指示该地址包对应的数据是否得到更新。进一步的，当所述同步传输数据总线寻址到某个地址包的包头地址时，清零该包 的READY位，表明当前地址包的数据未得到更新。进一步的，当所述同步传输数据总线寻址到某个地址包的包尾地址时，置位该地址包的READY位，表明当前地址包的数据已经更新。根据本发明的另一面，提供一种应用上述同步数据传输总线系统传输数据的方法，包括(a)同步周期开始的第一个总线传输周期为同步状态广播周期，同步总线控制卡完成对原始位置数据接收卡和运动控制卡的同步控制；(b)同步总线控制卡输出第一个地址包的包头地址，原始位置数据接收卡和运动控制卡接收到包头地址后，输出有效握手信号，反馈至同步总线控制卡；(c)同步总线控制卡收到有效握手信号后，依次输出当前地址包的传输地址及当前地址包的包尾地址至原始位置数据接收卡和运动控制卡进行数据传输；(d)同步总线控制卡、原始位置数据接收卡和运动控制卡在包尾地址传输后，判断当前同步周期的所有地址包是否均已完成发送，若否，则重复上述步骤(b)至(d)，若是，结束当前同步周期的数据传输，等待下一同步周期的数据传输，循环步骤(b)至(d)直至所有同步周期结束。进一步的，所述原始位置数据接收卡和运动控制卡接收到包头地址后，清零该地址包对应的包数据更新状态寄存器的READY位，若该地址包对应的握手方式配置寄存器的ALWAYS位为1，则立刻输出握手信号为高；若ALWAYS位为0，则等待软件置位SOFT位后输出握手信号。进一步的，所述原始位置数据接收卡和运动控制卡进行数据传输时，若收到包尾地址，则置位READY位，表明地址包数据已更新。进一步的，同步总线控制卡完成包尾地址传输后，判断是否所有定义的地址包均已发送完毕，若否，则重复上述步骤(b)，输出下一个地址包的包头地址，若已全部完成发送，地址线输出0，结束当前同步周期的数据传输，等待下一同步周期的数据传输；原始位置数据接收卡和运动控制卡在接收到包尾地址后，在下一个同步周期判断地址线是否为0，若是，说明当前同步周期的所有地址包均已完成发送，若地址线为下一个包头地址，则重复上述步骤(b)。与现有技术相比，本发明的同步总线控制卡和运动控制卡之间采用握手通信，将整个同步周期内的所有数据传输分成若干个地址包，其有益效果在于(I)同步数据传输总线增加握手信号，该信号由所有的运动控制卡通过“线与”方式提供给同步总线控制卡，通知同步总线控制卡数据已经准备好。通过采用“握手”通信，提高了总线传输的灵活性；(2)将整个同步周期内所有需要进行的数据传输分成若干个地址包，存放在同步总线控制卡的先入先出式存储器中。每个地址包由三部分地址信息组成一个包头地址、若干个数据传输地址和一个包尾地址，这样可以实现数据的分包发送；(3)每个地址包具备两种握手方式，作为属性参数存放在各运动控制卡的包握手方式配置寄存器中直接握手(ALWAYS)和软件握手(SOFT)。当某个地址包为ALWAYS握手时，所有运动控制卡接收到包头地址后立刻进行握手响应；当某个地址包为SOFT握手时，握手信号由软件通过包握手方式配置寄存器设置，这样实现了包的延时发送。
图I是现有技术下的工件台掩模台结构示意图；图2是本发明同步数据传输总线系统组成示意图；图3是本发明同步数据传输总线时序图；图4是本发明同步总线接口模块功能示意图；图5是本发明同步数据传输总线数据传输流程图。
具体实施例方式以下结合附图和具体实施例对本发明提出的测量装置及方法作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式，仅用于方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。图2为本发明同步数据传输总线系统组成示意图。同步数据传输总线系统包括一组同步数据传输总线15、一块同步总线控制卡20、一块原始位置数据接收卡30、若干块运动控制卡40、41、42、一组通讯总线60和一块通讯总线控制卡50组成,并集成在一个机箱的同一背板上。所述的通讯总线60采用通用标准通讯总线,如PCI, VME, Compact PCI等总线协议形式。所述的通讯总线控制卡50采用VxWorks, pSOS, RTLinux等实时操作系统。所述的通讯总线控制卡50与同步总线控制卡20、原始位置数据接收卡30及运动控制卡40、41、42通过通讯总线60进行通讯；通讯总线控制卡50通过通讯总线60完成对同步总线控制卡20、原始位置数据接收卡30及运动控制卡40、41、42的初始化配置及控制。所述的同步总线控制卡20、原始位置数据接收卡30及运动控制卡40、41、42通过同步数据传输总线连接，以完成实时位置数据的同步传输及处理。所述的同步数据传输总线15包含地址线10、数据线11、地址选通线12、数据选通线13和握手信号线14，它是一组非地址-数据复用的广播总线。所述的地址线10、地址选通线12、数据选通线13由同步总线控制卡20驱动输出。所述的数据线11由当前数据传输周期寻址的板卡驱动输出。所述的握手信号线14由原始位置数据接收卡30和运动控制卡40、41、42通过“线与”方式驱动输出至同步总线控制卡20。作为同步位置数据的传输通道，通过同步总线控制卡20设定的同步数据传输总线15的传输时序如图3所示，同步总线控制卡20通过同步数据传输总线15传输时序进行数据传输，实时向原始位置数据接收卡30及运动控制卡40、41、42发布同步信息，进而实现工件台和掩模台的高速、高精度的同步运动控制。所述的原始位置数据接收卡30通过光纤31接收来自位置测量系统的原始位置数据，并将原始位置数据存储在同步总线控制卡20中。所有原始位置数据的存放地址被由通讯总线控制卡50通过通讯总线60进行初始化配置，并被打包成若干个地址包。每个地址包由三类地址信息组成，一个包头地址，若干个传输地址和一个包尾地址。在同步总线控制卡20的控制下，将原始位置数 据通过同步数据传输总线15输出至运动控制卡40、41、42。所述的运动控制卡40、41、42在同步总线控制卡20的控制下，通过同步数据传输总线15接收来自原始位置数据接收卡30的原始位置数据，经过计算处理后将处理后的数据打包发送给其他运动控制卡。所述的原始位置数据接收卡30和每块运动控制卡40、41、42内部为每个包都配置了一个包握手方式配置寄存器和包数据更新状态寄存器。包握手方式配置寄存器包含两个位信息=ALWAYS位和SOFT位，用来配置该包的握手方式，分别表示直接握手和软件握手。当同步数据总线寻址到某个地址包的包头地址时，若该地址包的ALWAYS位设置为1，相应的原始位置数据接收卡30和运动控制卡将立即做出握手响应，即拉高握手信号线14 ;若该地址包的ALWAYS位设置为0，握手信号的输出由SOFT位定义，而SOFT位由软件控制，这样就实现了地址包的延时发送。包数据更新状态寄存器包含一个READY位信息，用来指示该地址包对应的数据是否得到更新。当同步数据总线寻址到某个地址包的包头地址时，清零该地址包的READY位，表明当前地址包的数据未得到更新；当同步数据总线寻址到某个地址包的包尾地址时，置位该地址包的READY位，表明当前地址包的数据已经更新，光刻机系统的相应软件可以读取该地址包对应的数据，并在数据读取完成后再次清零READY位。所述的同步总线控制卡20的核心控制逻辑采用CPLD或FPGA来实现，包含一个先入先出式存储器21、一个总线控制模块22和一个数据接口模块23。图4为本发明同步总线控制卡20内部同步总线接口模块功能示意图。所述的先入先出式存储器21中存放了所有地址包(由通讯总线控制卡50通过通讯总线60进行初始化配置时打包成的地址包，由一个包头地址，若干个传输地址和一个包尾地址组成)。所述的总线控制模块22在系统时钟的控制下，通过时钟计数器循环计数，依次读取先入先出式存储器21中存储的地址。当读取到某个包头地址时，总线控制模块22将重复进行该包头地址传输，直到握手信号14得到响应(高电平)，说明当前地址包的数据已经准备好了，然后连续输出当前地址包的传输地址及包尾地址，直到下一个包头地址。所述的数据接口模块23根据总线控制模块22输出的地址及控制信号，完成地址的锁存及译码，根据地址及控制信号完成数据的输入输出控制。请参考图5，根据本发明的另一面，提供一种应用上述同步数据传输总线系统传输数据的方法，包括(a)同步周期开始的第一个总线传输周期为同步状态广播周期，同步总线控制卡完成对原始位置数据接收卡和运动控制卡的同步控制。此步骤中，同步周期开始的第一个总线传输周期为同步状态广播周期，同步总线控制卡20广播同步状态，原始位置数据接收卡30和运动控制卡40、41、42接受该同步状态，以完成对原始位置数据接收卡30和运动控制卡40、41、42的同步控制。(b)同步总线控制卡输出第一个地址包的包头地址，原始位置数据接收卡和运动控制卡接收到包头地址后，输出有效握手信号，反馈至同步总线控制卡。此步骤中，同步总线控制卡20输出第一个包的包头地址，通过地址选通线12及地址线10传输至原始位置数据接收卡30和运动控制卡40、41、42 ;原始位置数据接收卡30和运动控制卡40、41、42接收到包头地址后，清零该地址包对应的包数据更新状态寄存器的READY位，若该地址包对应的握手方式配置寄存器的ALWAYS位为1，则立刻输出握手信号为高；若ALWAYS位为0，则等待软件置位SOFT位后输出握手信号；原始位置数据接收卡30和运动控制卡40、41、42经过判断后输出的握手信号，通过握手信号线14反馈至同步总线控制卡20接收，若接收的握手信号无效，则同步总线控制卡20重复输出该包头地址。 (C)同步总线控制卡收到有效握手信号后，依次输出当前地址包的传输地址及当前地址包的包尾地址至原始位置数据接收卡和运动控制卡进行数据传输。本步骤中，同步总线控制卡20收到有效握手信号后，依次输出当前地址包的传输地址及当前地址包的包尾地址；原始位置数据接收卡30和运动控制卡40、41、42根据地址及控制信号进行数据传输，当收到当前包尾地址时，置位READY位，通知光刻机系统的相应软件当前包的数据已更新，数据可以被读取。(d)同步总线控制卡、原始位置数据接收卡和运动控制卡在包尾地址传输后，判断当前同步周期的所有地址包是否均已完成发送，若否，则重复上述步骤(b)至(d)，若是，结束当前同步周期的数据传输，等待下一同步周期的数据传输，循环步骤(b)至(d)直至所有同步周期结束。本步骤中，同步总线控制卡20完成包尾地址传输后，判断是否所有定义的地址包均已发送，若否，则重复上述步骤(b)至(d)，输出下一个地址包的包头地址；若已全部完成发送，地址线输出0，结束当前同步周期的数据传输，等待下一同步周期的数据传输；原始位置数据接收卡30和运动控制卡40、41、42在接收到包尾地址后，在下一个同步周期判断地址线是否为0，若是，说明当前同步周期的所有包均已完成发送；若地址线为下一个包头地址，则重复上述步骤(b)至(d)。综上所述，本发明的同步总线控制卡和运动控制卡之间采用握手通信，提高了总线传输的灵活性；将整个同步周期内的所有数据传输分成若干个地址包，每个地址包由一个包头地址、若干个数据传输地址和一个包尾地址三部分地址信息组成，实现了数据的分包发送；采用直接握手(ALWAYS)和软件握手(SOFT)，实现所有运动控制卡及时握手响应或地址包的延时发送。本发明的同步数据传输总线系统可以实现严格的同步数据传输、处理和控制算法的执行，，同时提高总线传输方式的灵活性和适应性，实现工件台和掩模台的高速、高精度的同步运动控制。显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求
1.一种同步数据传输总线系统，应用于步进扫描投影光刻机工件台和掩模台同步控制，包括 一块原始位置数据接收卡，接收来自测量系统的原始位置数据； 若干块运动控制卡，接收并计算处理所述原始位置数据后打包发送给其他运动控制卡; 一块同步总线控制卡，存放所述原始位置数据对应的定义好的地址包，并实现对原始位置数据接收卡和运动控制卡的同步控制，所述地址包由一个包头地址，若干个传输地址和一个包尾地址组成； 一组同步数据传输总线，连接所述同步总线控制卡、原始位置数据接收卡及运动控制卡，所述同步数据传输总线包含地址线、数据线、地址选通线、数据选通线和握手信号线，所述的握手信号线由原始位置数据接收卡和运动控制卡通过“线与”方式驱动输出至同步总 线控制卡，所述的地址线、地址选通线、数据选通线由同步总线控制卡驱动输出至原始位置数据接收卡和运动控制卡； 一块通讯总线控制卡，进行对同步总线控制卡、原始位置数据接收卡及运动控制卡的初始化配置及控制，初始化配置时将所述原始位置数据的存放地址定义成所述地址包； 一组通讯总线，实现所述通讯总线控制卡与同步总线控制卡、原始位置数据接收卡及运动控制卡间的通讯。
2.如权利要求I所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述同步数据传输总线、同步总线控制卡、原始位置数据接收卡、运动控制卡、通讯总线和通讯总线控制卡均集成在一个机箱的同一背板上。
3.如权利要求I所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述通讯总线采用PCI，VME或Compact PCI总线协议形式。
4.如权利要求I所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述通讯总线控制卡采用VxWorks, pSOS或RTLinux实时操作系统。
5.如权利要求I所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述同步数据传输总线是一组非地址-数据复用的广播总线。
6.如权利要求I所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述数据线由当前数据传输周期寻址的板卡驱动输出。
7.如权利要求I所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述同步总线控制卡的核心控制逻辑采用CPLD或FPGA来实现。
8.如权利要求I所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述同步总线控制卡包含一个先入先出式存储器、一个总线控制模块和一个数据接口模块。
9.如权利要求8所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述先入先出式存储器中存放了所有所述地址包，并按照事先定义好的顺序依次输出。
10.如权利要求8所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述的总线控制模块包含了一个时钟计数器，通过计数器的循环计数依次读取所述先入先出式存储器中的地址。
11.如权利要求10所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述总线控制模块读取到某个包头地址时将重复进行该包头地址传输，直到握手信号得到响应，然后连续输出当前包的传输地址及包尾地址。
12.如权利要求11所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述数据接口模块根据总线控制模块输出的地址及控制信号，完成地址的锁存及译码及数据的输入输出控制。
13.如权利要求8所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述原始位置数据接收卡通过光纤接收来自位置测量系统的原始位置数据，并将原始位置数据存储在先入先出式存储器中。
14.如权利要求I所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述运动控制卡通过所述同步数据传输总线接收来自原始位置数据接收卡的原始位置数据，经过计算处理后将处理后的数据打包发送给其他运动控制卡。
15.如权利要求I或10所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述原始位置数据接收卡和每块运动控制卡内部为每个地址包都配置了一个包握手方式配置寄存器和包数据更新状态寄存器。
16.如权利要求15所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述包握手方式配置 寄存器包含ALWAYS位和SOFT位两个位信息，用来配置该地址包的握手方式，分别表示直接握手和软件握手。
17.如权利要求16所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，当所述同步传输数据总线寻址到某个地址包的包头地址时，若该地址包的ALWAYS位设置为1，相应的原始位置数据接收卡和运动控制卡将立即做出握手响应，若该地址包的ALWAYS位设置为0，握手信号的输出由SOFT位定义，通过软件配置SOFT位，实现该地址包的延时发送。
18.如权利要求15所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，所述包数据更新状态寄存器包含一个READY位信息，用来指示该地址包对应的数据是否得到更新。
19.如权利要求18所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，当所述同步传输数据总线寻址到某个地址包的包头地址时，清零该包的READY位，表明当前地址包的数据未得到更新。
20.如权利要求18所述的同步数据传输总线系统，其特征在于，当所述同步传输数据总线寻址到某个地址包的包尾地址时，置位该地址包的READY位，表明当前地址包的数据已经更新。
21.一种同步数据传输总线系统传输数据的方法,包括 (a)同步周期开始的第一个总线传输周期为同步状态广播周期，同步总线控制卡完成对原始位置数据接收卡和运动控制卡的同步控制； (b)同步总线控制卡输出第一个地址包的包头地址，原始位置数据接收卡和运动控制卡接收到包头地址后，输出有效握手信号，反馈至同步总线控制卡； (c)同步总线控制卡收到有效握手信号后，依次输出当前地址包的传输地址及当前地址包的包尾地址至原始位置数据接收卡和运动控制卡进行数据传输； (d)同步总线控制卡、原始位置数据接收卡和运动控制卡在包尾地址传输后，判断当前同步周期的所有地址包是否均已完成发送，若否，则重复上述步骤(b)至(d)，若是，结束当前同步周期的数据传输，等待下一同步周期的数据传输，循环步骤(b)至(d)直至所有同步周期结束。
22.如权利要求21所述的同步数据传输总线系统传输数据的方法，其特征在于，所述原始位置数据接收卡和运动控制卡接收到包头地址后，清零该地址包对应的包数据更新状态寄存器的READY位，若该地址包对应的握手方式配置寄存器的ALWAYS位为I，则立刻输出握手信号为高；若ALWAYS位为O，则等待软件置位SOFT位后输出握手信号。
23.如权利要求22所述的同步数据传输总线系统传输数据的方法，其特征在于，所述原始位置数据接收卡和运动控制卡进行数据传输时，若收到包尾地址，则置位READY位，表明地址包数据已更新。
24.如权利要求21所述的同步数据传输总线系统传输数据的方法，其特征在于，同步总线控制卡完成包尾地址传输后，判断是否所有定义的地址包均已发送完毕，若否，则重复上述步骤(b)，输出下一个地址包的包头地址，若已全部完成发送，地址线输出0，结束当前同步周期的数据传输，等待下一同步周期的数据传输；原始位置数据接收卡和运动控制卡在接收到包尾地址后，在下一个同步周期判断地址线是否为0，若是，说明当前同步周期的所有地址包均已完成发送，若地址线为下一个包头地址，则重复上述步骤(b)。全文摘要
本发明提供一种同步数据传输总线系统及方法，应用于步进扫描投影光刻机工件台和掩模台同步控制，通过同步总线控制卡和运动控制卡之间采用握手通信，提高了总线传输的灵活性；将整个同步周期内的所有数据传输分成若干个地址包，每个地址包由一个包头地址、若干个数据传输地址和一个包尾地址三部分地址信息组成，实现了数据的分包发送；采用直接握手(ALWAYS)和软件握手(SOFT)，实现所有运动控制卡及时握手响应或地址包的延时发送。本发明的同步数据传输总线系统可以实现严格的同步数据传输、处理和控制算法的执行，同时提高总线传输方式的灵活性和适应性，实现工件台和掩模台的高速、高精度的同步运动控制。
文档编号G03F7/20GK102739486SQ20111008114
公开日2012年10月17日 申请日期2011年3月31日 优先权日2011年3月31日
发明者周金明, 张志钢, 方欣 申请人:上海微电子装备有限公司