一种检测装置及其工作方法技术资料下载

技术编号:2791523

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本发明涉及机械,尤其涉及。背景技术电子束矩阵检测技术是目前TFT LCD (Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay,薄膜场效应晶体管液晶显示器)行业最为常用的检测技术之一,通常在真空环境中,通过设置于测试腔内的探针框架对待测基板上的垫片PAD进行信号导入,再对加入信号的像素进行测试而得到检测结果。由于不同型号的玻璃基板,其形状和PAD的分布都有所不同,因此对不同的产品型号,需要更换其对应的探针框架,才能对待测玻...
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