专利名称：一种检测装置及其工作方法
技术领域：
本发明涉及机械技术领域，尤其涉及一种检测装置及其工作方法。
背景技术：
电子束矩阵检测技术是目前TFT LCD (Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，薄膜场效应晶体管液晶显示器)行业最为常用的检测技术之一，通常在真空环境中，通过设置于测试腔内的探针框架对待测基板上的垫片PAD进行信号导入，再对加入信号的像素进行测试而得到检测结果。由于不同型号的玻璃基板，其形状和PAD的分布都有所不同，因此对不同的产品型号，需要更换其对应的探针框架，才能对待测玻璃基板实施有效的测试。虽然目前业界对产品设计和探针框架结构都做出了许多改进并取得了一定效果，但生产中较为频繁地安装或更换探针框架还是不可避免的。 在实现上述探针框架的安装或更换的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题由于测试腔体积较大，打开测试腔进行安装或更换探针框架后，再恢复测试腔中检测所需的真空环境要经历较长的时间，因此大大降低了检测效率。
发明内容
本发明的实施例提供了一种检测装置及其工作方法，能够有效提高检测效率。为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案一种检测装置，包括测试腔和交换腔，所述测试腔和交换腔之间设置有连通机构，所述连通机构能够使所述测试腔和所述交换腔彼此隔离或连通；所述测试腔内和交换腔内分别设有用于传送探针框架的传动装置，所述传动装置能够将所述探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。一种检测装置的工作方法，包括将所述检测装置的交换腔与所述检测装置的测试腔相隔离；对所述交换腔进行抽真空操作，使所述交换腔的真空度与所述测试腔的真空度相同； 将所述交换腔与所述测试腔相连通；将探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。本发明实施例提供的检测装置及其工作方法，由于检测装置包括测试腔和能够与测试腔连通或隔离的交换腔，因此进行探针框架的更换时，能够以交换腔作为媒介，对与测试腔隔离的交换腔进行抽真空操作，当交换腔的真空度与测试腔相同时，将交换腔与测试腔相连通，将探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。这样，在更换探针框架的过程中，不会破坏测试腔的真空环境，不需要等待测试腔恢复真空环境，因此，减少了更换探针框架所需要的时间，有效提高了检测效率。
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本发明实施例提供的检测装置的一种俯视结构示意图；图2为本发明实施例提供的检测装置交换腔的一种俯视结构示意图；图3为本发明实施例提供的检测装置的一种侧面结构示意图；图4为本发明实施例提供的检测装置的一种卡位装置和锁定装置的接合示意图；
图5为本发明实施例提供的检测装置的一种侧面结构示意图；图6为图5所示的虚线部分的信号线连接部和信号线对接部的连接方式示意图；图7为图6所示的信号线连接部和信号线对接部的具体连接方式示意图；图8为本发明实施例提供的检测装置的工作方法的一种流程图。附图标记I-测试腔，12-信号线连接部，2-交换腔，3-连通机构，41-测试腔内的传动装置，411-测试腔内的传动滚轮，413-传动部，42-交换腔内的传动装置，421-交换腔内的传动滚轮，43-导向轮，5-探针框架，52-信号线对接部，6-支撑框架，7-信号线对接针，8-信号线对接孔，9-金属弹片。
具体实施例方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行详细描述。应当明确，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。如图I所示，本发明实施例提供了一种检测装置，包括测试腔I和交换腔2，测试腔I和交换腔2之间设置有连通机构3，连通机构3能够使测试腔I和交换腔2彼此隔离或连通。测试腔I内设置有传动装置41，交换腔2内设置有传动装置42，传动装置41和传动装置42用于传送探针框架5，能够将探针框架5从测试腔I传送至交换腔2或者从交换腔2传送至测试腔I。本发明实施例提供的检测装置，进行检测工作时，连通机构3处于使测试腔I和交换腔2相隔离的关闭状态，探针框架5设置于测试腔I内，被检测物放置于探针框架5下方，测试腔I抽至检测所需的真空度，在测试腔I的真空环境下，对被检测物进行检测。当需要更换探针框架5时，在保持连通机构3的关闭状态的条件下，即交换腔2和测试腔I隔离时，对交换腔2进行抽真空操作，当交换腔2的真空度与测试腔I的真空度相同时，使连通机构3处于使测试腔I和交换腔2相连通的打开状态，将测试腔I和交换腔2相连通，通过传动装置41和传动装置42将原探针框架5从测试腔I传送至交换腔2或者将更换的探针框架5从交换腔2传送至测试腔1，之后，连通机构3关闭，使测试腔I和交换腔2相隔离。这样，本发明实施例提供的检测装置，在更换探针框架的过程中，能够以交换腔2作为媒介，不会破坏测试腔I的真空环境，不需要等待测试腔恢复真空环境，因此，减少了更换探针框架所需要的时间，有效提高了检测效率。优选的，交换腔2的容积要小于测试腔I的容积，交换腔2的容积只需能够保证探针框架能完全放置其中，并能通过传动装置42进行传送即可，以减少对交换腔2进行抽真空操作而达到与测试腔I相同的真空度的时间，进一步减少更换探针框架所需要的时间，有效提闻检测效率。 具体的，连通机构3可以为阀门，阀门打开时，测试腔I和交换腔2彼此连通，阀门关闭时，测试腔I和交换腔2彼此隔离。优选为密封阀门，以有效保证测试腔I的真空度不受破坏。当然，连通机构3还可以为其他能够使测试腔I和交换腔2彼此连通或隔离的结构，例如挡板，本发明对此不做限定。具体的，传动装置41和传动装置42可以采用多种方式实现，例如可以采用传动滚轮或传送带实现，传动滚轮或传送带对放置其上的探针框架5既有支撑的作用，又起到运输传送的作用，将探针框架5在测试腔I和交换腔2内传送。而且，传动装置41和传动装置42都具有传动轨道，对于用传动滚轮方式实现的传动装置，所有传动滚轮的有序排列组成了其传动轨道，而对于用传送带方式实现的传动装置，传送带的运行轨迹即为其传动轨道。探针框架5沿着传动装置41和传动装置42的传动轨道由交换腔2运送至测试腔1，或由测试腔I运送至交换腔2。需要说明的是，传动装置41的传动轨道的宽度，可以大于、等于或小于传动装置42的传动轨道的宽度，只要能为放置其上的探针框架5传动即可，本发明对此不做限定。虽然由于连通机构3的存在而使传动装置41和传动装置42没有物理上的连接，但当探针框架5沿传动轨道传送时，探针框架5的物理尺寸足以使其在脱离传动装置41或传动装置42中的任一个传动装置之前进入另一个，从而保证了探针框架5在测试腔和交换腔之间的安全传送。进一步的，为了使探针框架5能够在传动轨道上运送而不发生偏离，可选的，可以在传动装置41和传动装置42的传动轨道的一侧或两侧设有导向装置，例如导向轮。导向装置优选设置在传动轨道的两侧，对探针框架5进行导向，有效避免探针框架5在传送过程中的偏移而与其他装置相碰撞而造成损坏。需要说明的是，导向装置不仅可以使探针框架5沿直线前进，也能根据需要使其按照一定的角度转弯，且其安装位置与个数都不限。下面以交换腔2内的传动装置42的一个具体实施例为例，对本发明检测装置所采用的传动装置做详细说明。如图2所示，传动装置42包括两列转动滚轮421，设置于交换腔
2的腔内两侧，传动滚轮421能够顺时针或逆时针滚动，并依靠静摩擦力传动给放置其上的探针框架5，从而使探针框架5在传动轨道上前进或后退。优选的，两列滚轮的距离，略小于探针框架5的宽度，以便对探针框架5支撑和传送。当然，本实施例中，传动滚轮421的排列并不限于两列，任何能将探针框架5传送到测试腔的传动滚轮的布局都在本发明的保护范围之内。为了使探针框架5能够在传动轨道上运送而不发生偏离，在传动轨道的两侧设有导向轮43(导向装置)。其中，导向轮43与探针框架5处于相同的水平位置。当探针框架5的运送方向偏离传动轨道时，探针框架5的一侧会碰触到导向轮43并在导向轮43的作用下重新回到传动轨道上。可选的，本实施例中，两列传动滚轮可设置为可伸缩的固定在交换腔2的内侧壁上的结构，不工作时镶嵌在交换腔2的内侧壁上，工作时可以从内侧壁伸出并停留，这样即方便灵活调节传动轨道的宽度，又不妨碍交换腔2的其他用途。需要注意的是，本发明实施例中，图2所示的传动装置42的结构也同样适用于传动装置41，此处不再赘述。在本发明的一个实施例中，如图3所示，在测试腔I内设有与探针框架5形状相适 应的支撑框架6，当探针框架5被传动装置传送至测试腔I中后，测试腔I内的传动装置41将探针框架5将安放于支撑框架6上。为了能将探针框架5顺利安放至支撑框架6上，本实施例中，传动装置41除包括靠近连通机构3的传动滚轮411以及导向轮43外，还包括能够将探针框架5传送至支撑框架6上的传动部413(图3中虚线框内部分)。具体的,传动部413可为设置于支撑框架6上的传动滚轮。当然，传动部413的具体结构和安装位置不限于此，例如，传动部413还可以为能够将探针框架5安放在支撑框架6上的滑动装置等。总之，传动装置41不仅能够将探针框架5按照预定的方向传送，还能够将探针框架5准确地传送至支撑框架6上，以进行接下来的检测工作。优选的，为了使探针框架5能够与支撑框架6牢固的结合，避免在随后的检测步骤中因探针框架5与支撑框架6之间产生相对滑动而降低检测的精度和可靠性，在本发明的一个实施例中，在支撑框架6上设置有卡位装置，例如夹具等，能够将放置在支撑框架6上的探针框架5固定。或者，在本发明的另一个实施例中，支撑框架6上设有卡位装置，探针框架5上设置有与卡位装置对应的锁定装置；卡位装置和锁定装置能够通过各自的机械结构彼此接合，从而将探针框架5固定在支撑框架6上。具体的，如图4所示，卡位装置包括凸起，锁定装置包括与凸起相适应的凹槽，所述凹槽与所述凸起的对接将探针框架固定在支撑框架上；或者，卡位装置包括凹槽，锁定装置包括与所述凹槽相适应的凸起，所述凹槽与所述凸起的对接将探针框架5固定在支撑框架6上。通常情况下，除了上述凸起和凹槽外，本发明实施例提供的卡位装置和锁定装置还可以是锁定栓、锁定扣等能将探针框架5固定在支撑框架6上的装置，本发明对此不作限定。当探针框架5固定在支撑框架6上后，需要通过探针框架5对探针框架5下方的被检测物进行电信号的输入，以对该被检测物进行检测。具体的，如图5所示，在测试腔I内设置有可移动的信号线连接部12，探针框架5上设有用于与信号线连接部12相连接的信号线对接部52 ;当探针框架5安放在支撑框架6上后，信号线连接部12向探针框架5移动，并与探针框架5上的信号线对接部52相连接，以进行检测。具体的，如图6所示，信号线连接部12包括信号线对接针7，信号线对接部52包括信号线对接孔8，信号线对接针7与信号线对接孔8的接合使信号线连接部12和信号线对接部52相连接；当然，信号线对接针7与信号线对接孔8的位置也可以互换，即信号线连接部12包括信号线对接孔8，而信号线对接部52包括信号线对接针7，通过信号线对接孔8与信号线对接针7的接合使信号线连接部12和信号线对接部52相连接。优选的，如图I所示，为了保证信号线对接孔8与信号线对接针I能够稳定的接合，信号线对接孔8的内壁上还设有金属弹片9，金属弹片9能够在弹力的作用下，与信号线连接部12紧密接合，实现信号线连接部12和信号线对接部52的可靠连接。需要说明的是，虽 然本发明实施例提供的检测设备通常可用于真空环境下的物品检测，但本发明并不限定其具体的使用条件。而且本发明实施例提供的检测装置，其探针框架的传输路径可以是直线也可以是曲线，传输方向即可以是水平方向的也可以与水平方向成一夹角，或竖直方向，本发明对此不作限定。本发明实施例提供的检测装置，由于包括测试腔I和能够与测试腔连通或隔离的交换腔2，因此进行探针框架的更换时，能够以交换腔2作为媒介，对与测试腔隔离的交换腔2进行抽真空操作，当交换腔2的真空度与测试腔I相同时，将交换腔2与测试腔I相连通，将探针框架5从测试腔I传送至交换腔2或者从交换腔2传送至测试腔I。这样，在更换探针框架5的过程中，不会破坏测试腔I的真空环境，不需要等待测试腔恢复真空环境，因此，减少了更换探针框架所需要的时间，有效提高了检测效率。与前述的检测装置实施例相对应，本发明还提供了一种检测装置的工作方法，如图8所示，所述检测装置的工作方法包括S11，将所述检测装置的交换腔与所述检测装置的测试腔相隔离；S12，对所述交换腔进行抽真空操作；本步骤中，对所述交换腔进行抽真空操作的目的是使所述交换腔的真空度与所述测试腔的真空度相同。需要指出的是，由于技术和环境等多方面因素，本实施例中，所述交换腔的真空度与所述测试腔的真空度相同可能不是完全相同，完全相同仅是理想的状态，本发明实施例中，所述交换腔的真空度与所述测试腔的真空度相同也包括大致相同，例如，当两者真空度处于相同的数量级时，即认为两者真空度相同；S13，将所述交换腔与所述测试腔相连通；S14，将探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。本发明实施例提供的工作方法，先对交换腔抽真空，当交换腔的真空度与测试腔接近时，将探针框架从测试腔传送至交换腔或者从交换腔传送至测试腔。这样，在更换探针框架的过程中，不会破坏测试腔的真空环境，不需要等待测试腔恢复真空环境，因此，减少了更换探针框架所需要的时间，有效提高了检测效率。进一步的，在将探针框架从交换腔传送至测试腔后，本发明实施例提供的检测装置的工作方法还包括将探针框架锁定在测试腔内的支撑框架上；在探针框架运送到检测位置后，将探针框架锁定在支撑框架上能够避免探针框架移动在随后的测试中的移动，进一步保证了检测的精度和可靠性；将所述探针框架与信号线相连接，以通过探针框架为被检测物提供检测信号。当需要将探针框架从测试腔传送至交换腔时，如果探针框架锁定在测试腔内的支撑框架上，且和信号线相连接，在将探针框架从测试腔传送至交换腔前，本发明实施例提供的检测装置的工作方法还包括将探针框架与信号线断开连接；解除所述探针框架与测试腔内的支撑框架的锁定。从而，避免在将探针框架从测试腔传送至交换腔时，对信号线和支撑框架的损坏。在将探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔后，需要将测试腔与交换腔再次隔离，打开交换腔取出探针框架即可。以上所述，仅为本发明的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何 熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。
权利要求
1.一种检测装置，其特征在于， 包括测试腔和交换腔，所述测试腔和交换腔之间设置有连通机构，所述连通机构能够使所述测试腔和所述交换腔彼此隔离或连通； 所述测试腔内和交换腔内分别设有用于传送探针框架的传动装置，所述传动装置能够将所述探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。
2.根据权利要求I所述的检测装置，其特征在于，所述交换腔的容积小于所述测试腔的容积。
3.根据权利要求I所述的检测装置，其特征在于，所述传动装置包括传动滚轮或传送带。
4.根据权利要求I或3所述的检测装置，其特征在于，所述传动装置包括传动轨道，所述传动轨道的至少一侧设置有导向装置。
5.根据权利要求I所述的检测装置，其特征在于， 所述测试腔内设有与所述探针框架形状相适应的支撑框架； 所述测试腔内的传动装置包括将所述探针框架传送至所述支撑框架上的传动部。
6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述支撑框架设有卡位装置，以将所述探针框架固定在所述支撑框架上。
7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于， 所述探针框架上设置有与所述卡位装置对应的锁定装置； 所述卡位装置和所述锁定装置的接合将所述探针框架固定在所述支撑框架上。
8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于， 所述卡位装置包括凸起，所述锁定装置包括与所述凸起相适应的凹槽，所述凹槽与所述凸起的对接将所述探针框架固定在所述支撑框架上；或者， 所述卡位装置包括凹槽，所述锁定装置包括与所述凹槽相适应的凸起，所述凹槽与所述凸起的对接将所述探针框架固定在所述支撑框架上。
9.根据权利要求I所述的检测装置，其特征在于， 所述测试腔内设置有可移动的信号线连接部； 所述探针框架上设有用于与所述信号线连接部相连接的信号线对接部； 所述探针框架通过所述信号线连接部和所述信号线对接部的连接与信号线相连接。
10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于， 所述信号线连接部包括信号线对接针，所述信号线对接部包括信号线对接孔，所述信号线对接针与所述信号线对接孔的接合使所述信号线连接部和所述信号线对接部相连接； 或者 所述信号线连接部包括信号线对接孔，所述信号线对接部包括信号线对接针，所述信号线对接孔与所述信号线对接针的接合使所述信号线连接部和所述信号线对接部相连接。
11.根据权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述信号线对接孔内壁上设有金属弹片，用于与所述信号线对接针紧密接合。
12.—种检测装置的工作方法，其特征在于，包括 将所述检测装置的交换腔与所述检测装置的测试腔相隔离；对所述交换腔进行抽真空操作，使所述交换腔的真空度与所述测试腔的真空度相同； 将所述交换腔与所述测试腔相连通； 将探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。
13.根据权利要求12所述的工作方法，其特征在于，在将所述探针框架从所述交换腔传送至所述测试腔后，所述工作方法还包括 将所述探针框架锁定在所述测试腔内的支撑框架上； 将所述探针框架与信号线相连接。
14.根据权利要求12所述的工作方法，其特征在于，在将探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔前，所述工作方法还包括 将所述探针框架与信号线断开连接； 解除所述探针框架与所述测试腔内的支撑框架的锁定。
全文摘要
本发明提供了一种检测装置及其工作方法，涉及机械技术领域，为提高检测效率而发明。本发明提供的检测装置，包括测试腔和交换腔，所述测试腔和交换腔之间设置有连通机构，所述连通机构能够使所述测试腔和所述交换腔彼此隔离或连通；所述测试腔内和交换腔内分别设有用于传送探针框架的传动装置，所述传动装置能够将所述探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。本发明适用于电子束矩阵检测等检测设备中。
文档编号G02F1/13GK102654656SQ20111010116
公开日2012年9月5日 申请日期2011年4月21日 优先权日2011年4月21日
发明者朱承达, 权基瑛, 魏振 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 合肥京东方光电科技有限公司