技术编号：2793888
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光刻投影中涉及的一种用于光刻投影物镜安装的调平定位直O背景技术投影光刻对大规模集成电路的制造来说至关重要，可以说投影光刻工艺的水平决定了集成电路的制造水平。而投影物镜决定了投影光刻机的图形传递能力，是光刻机的核心。然而投影物镜的安装精度对投影光刻系统的图形传递能力有很大影响，所以对投影物镜的安装、支撑和调平是相当重要。与本发明最为接近的已有技术，是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所在先申请的发明专利，申请号为201110095516. 5，发...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。