使用喷墨印刷方法制造滤色器衬底的装置和方法技术资料下载

技术编号:2794640

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本发明涉及使用喷墨印刷方法制造滤色器衬底(color filter substrate)的装置和方法。背景技术通常,诸如液晶显示器设备和半导体器件等电子设备是通过在多个层上形成图案来制造的。迄今为止光刻法被广泛用于形成图案。光刻法利用如下原理特定的光致抗蚀剂(photo resist)(在下文中称为 “PR”)在接收到光时起化学反应以转变其合适特性(prosperity)。在用于滤色器的负性 (negative)光致抗蚀剂中,只有未暴露于光的部分才被熔化和...
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