技术编号：2798654
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。传送方法、传送装置、曝光方法和曝光装置背景技术本发明涉及一种用于传送例如柔性的、伸长膜状构件的传送技术以及使用该传送技术的曝光技术和制造技术。本发明还涉及一种使用此曝光技术和制造技术的器件制造技术。要求享有2009年6月5日提交的美国临时申请第61/213，似4号和2010年4月 29日提交的美国专利申请第12/769，965号的优先权，其全部内容通过引用并入本申请。在用于制造元件(诸如半导体元件或液晶显示器元件)的曝光装置中，典型的曝光对象传统上是具有高...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。