重氮萘醌系翻转成像感光组合物的制作方法技术资料下载

技术编号:2800087

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本发明属于印刷制版和电子工业光刻胶用感光、感热功能性高分子材料。更具体地说,本发明属于传统PS版、热敏CTP版和CTcP 版以a大恥溪集成电路、芯片微细加工刻蚀用感皿制备所需的感光或 感热成像体系。背景技术上世纪70年代,日本富士胶片公司、美国柯达公司和罗门.哈斯公司 以及德国的赫斯特公司就重氮萘醌系正性抗蚀剂或阳图PS版感光胶的翻 转成像(由正像转化成负像)技术做了大量工作。从1974年到1981年,共 连续公开了十多项专利(米泽辉彦著,《PS版概论》,...
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