专利名称：：重氮萘醌系翻转成像感光组合物的制作方法
技术领域：
：本发明属于印刷制版和电子工业光刻胶用感光、感热功能性高分子材料
技术领域：
。更具体地说，本发明属于传统PS版、热敏CTP版和CTcP版以a大恥溪集成电路、芯片微细加工刻蚀用感皿制备所需的感光或感热成像体系
技术领域：
。
背景技术：
：上世纪70年代，日本富士胶片公司、美国柯达公司和罗门.哈斯公司以及德国的赫斯特公司就重氮萘醌系正性抗蚀剂或阳图PS版感光胶的翻转成像(由正像转化成负像)技术做了大量工作。从1974年到1981年，共连续公开了十多项专利(米泽辉彦著，《PS版概论》，曰本印刷学会出版部，1993，91~93)。之后，柯达公司和罗门'哈斯公司还就翻转成4沐理做了有价值的研究报告。不过70年代到80年代所进行的工作多半是围绕重氮萘醌系正性抗蚀剂或PS版感光组合物在光照下产生咔宾—烯酮—茚酸这一反应机理在三^或季铵碱存在下，烯酮与酚树脂生成酚酯，茚酸进行脱羧导致产物在碱水溶液中几乎不溶而实现翻转成像的。因而，在选择酯化催化剂和脱羧催化剂方面下了很大功夫，提出的专利申请也最多.那时翻转成像技术对使用2，1，4-重氮萘醍磺酸酯并未做特殊的强调，不少情况之下所使用的光活性化合物以2，1，5-重氮萘醌系光活性化合物为主，所以翻转成像的效率很低，画像像质也不是很高，一般为进行图像翻转需在120~130C加热5~10分钟.直到1989年Buhr等人在J.Photopolym.Sci.Technol上发表论文，强调用2，1，4-重氮萘醌磺酸酯进行翻转成像的重要性(GerhardBuhr，HelmutLenz，Siegfriedscheler.J.Photopolym.Sci.Technol.，1989，2(3):417-428)，并明确指出，2，1，4-重氮萘醌磺酸酯在近紫外光照下，磺酸酯结构可以分解产生磺酸，这是当时唯一一种能进行近紫外光解产酸的磺酸酯类光产酸源。所以用这类物质进行翻转成像显著提高了翻转成像的速度。此后利用2，1，4-重氮萘敏磺酸酯类光活性化合物进行翻转成^f象成为主流，但是翻转成<象所需的预热时间仍在2~5分钟之间，还不能说非常理想。所以直到20世纪末期，这一技术在印刷制版和光刻领域推广应用的成效还是不尽人意。
发明内容本发明的技术背景之一是富士胶片公司等公司提出的翻转成像4支术，特別是强调使用2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物的技术。技术背景之二是近期有关无预热阴图热敏CTP版材(北京师范大学；玉林金龙PS版印刷材料有限公司，专利公开号CN1603956)和化学增幅型阴图PS版(北京师范大学；玉林金龙PS版印刷材料有限公司，专利公开号CN1815364)的相关中国专利，其中强调使用多甲氧甲基三聚氰胺作为交联剂。我们将这一技术与前述技术加以巧妙地结合，构成了本发明的技术基础，也是本发明新颖创新之所在.本发明将以往翻转成傳4支术中翻转速度太慢这一产业上十分关注的关键问题做为本发明意欲解决的技术问题。解决问题的途径和手段在于(1)使用在近紫外光照下可以产生磺酸的2，1,4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物.在发挥传统翻转成#中可以发生酯化和脱M应的同时，充当近紫外光产酸源。(2)利用在酸催化下可以与正性感光组合物成膜树脂发生快速交联反应的多甲氧甲基三聚氰胺为交联剂。在(l)中的光活性化合物分解产酸之后，通过短时间预热，迅速实现交联固化。本发明的目的是提供一种新型重氮萘醌系翻转成像感光组合物，其中作为光活性化合物必须使用2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类化合物。因此，本发明提供了一种重氮萘醌系翻转成像感光组合物，包含如下组分a)5~30%的至少包含2，1，4-重氮萘醍磺酸酯类化合物的光活性化合物；b)5~20%的多甲氧甲基三聚氰胺交联剂；c)6085。/。的成膜树脂；d)0.12.07。的着色背景染料；和e)2.0。/。以下的添加剂，所有百分救基于所述感光组合物的总质量且其总和为100%。发明详述本发明所用光活性化合物(PAC)可以是2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物、2，1，5-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物、2，1，6-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物(日本东洋合成的样品)和1，2,4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物(日本东洋合成的样品)的一种或几种，但至少要包括2,1,4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物。如果采用复合光活性化合物，2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物的含量应占光活性化合物总质量的至少50%,这是为了充分利用它分解产生磺酸的特性。用作光活性化合物的2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类化合物所用酯化母体树脂可以选用线型酚树脂中的间甲酚-甲搭树脂、对甲酚-苯酚-甲醛树脂、对甲酚-间曱酚-甲搭树脂、对甲酚-邻甲酚-甲醛树脂、低分子量对甲酚-甲醛树脂、邻甲酚-甲醛树脂、双酚A-甲醛树脂、焦性没食子酸缩丙酮树脂、间^i酚缩丙酮树脂、间苯二酚缩环己酮树脂、焦性没食子酸缩环己酮树脂。也可以选用多酚化合物，例如2，3，4-三羟基二苯甲酮、2，3，4，4'-四羟基二苯甲酮、2，4，2'，4'-四羟基二苯甲酮、2，4，4'-三羟基二苯甲酮、苯偶酰酸缩间苯二酚、苯偶酰酸缩连苯三酴。还可以选用N-鞋基邻苯二甲酰亚胺、N-羟基丁二酰亚胺，N-羟基萘二酰亚胺。2,1，4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物的合成方法可参照2005年3月9日公开的有关2，1，4-重氮萘醌磺酸酯合成的专利申请公开号CN1591184A(申请人:北京师范大学，发明人余尚先等，发明名称"含有2，l，4-重氮萘醌磺酰基的光热电子束产酸源及其制备方法")以及2006年10月8日提交的中国专利申请200610140741.5(申请人山东省威海经济技术开发区天成化工有P艮公司，发明人余尚先等，发明名称"正性胶用光活性化合物及其感光配合物")进行。与2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物复合使用的2，1，5-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物、2,1，6-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物、1，2，4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物，其酯化母体可以选用与2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物相同的酯化母体。也可以选用一般市售光活性化合物与2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物复合使用。重氮萘疏磺酰基的酯化率，即以酚羟基摩尔数计的导入率一般在20~70%之间，酯化母体的分子量较大时，导入率应适当降低一些；分子量较小时，导入率可以提高一些，酯化率太高，溶剂难以选择，而且显影时易于残留底脏；酯化率太低，例如低于20%，阻溶能力太差，作为普通阳图PS版使用时，显影过程中易于减膜失光。光活性化合物总用量占感光组合物总质量的5~30%，优选6~25%,更优选7~20%。本发明的感光组合物使用多曱氧曱基基三聚氰胺作为主交联剂。甲氧曱基化的比率越高越好，最高为六甲氧曱基三聚氰胺，这种产物在常温下为结晶形固体，交联效率高，但考虑到交联剂生产工艺及产品成本等因素，一般选用五曱氧曱基三聚氰胺到六甲氧甲基三聚氰胺之间的产物，可以在市场上购得较为廉价的产品。低于五甲氧甲基化的产品虽然也可以使用，但产物的存放稳、定性差，常温下为粘液，感光组合物涂制出的版材的膜层抗干磨性(耐划伤性)很弱。交联剂在感光组合物中的用量在5~20%之间选择，小于5%时，翻转成像速率明显降低，感光组合物的感度也会不足；高于20%时，不仅显影遭遇困难，易于留底脏，而且膜层的抗划伤性很差.本发明推荐交联剂的使用量在7.5~15%之间，在某些情况下也可以使用助交联剂，如低分子量的羟甲基酚树脂或甲氧甲基化的酚树脂，助交联剂用量一般为感光组合物总质量的10%以下。本发明感光组合物所用成膜树脂可以是含有酚羟基的线型酚树脂，如重均分子量在5000~30000、Mw/Mn在1.1~1.3的聚对羟基苯乙烯(日本曹达公司制造)，重均分子量在4000~20000，优选5000~10000，Mw/Mn在4~10的线型酚醛树脂，例如苯酚-曱醛树脂、间甲酚-甲搭树脂、邻甲酚-甲搭树脂、苯酚-对甲酚-甲醛树脂、间甲酚-对甲酚-甲醛树脂、间甲酚-邻甲酚-甲搭树脂、苯酚-间甲酚-对甲酚-甲搭树脂、苯酚-叔丁基酚-甲搭树脂、苯酚-对甲酚-叔丁基酚-甲搭树脂、双酚A-甲搭树脂、双盼A-苯酚-甲醛树脂、双酚A-间甲酚-甲醛树脂、双酚A-对甲酚-甲醛树脂等。上述线型酚树脂占感光组合物总质量的60~85%，成膜线性型酚树脂的用量超过85%，光活性化合物及多甲氧曱基三聚氰胺必然减少，以致难以实现翻转成像，用量小于60%时，光活性化合物及多甲氧甲基三聚氰胺的比例太大，膜层除了机械强度不足之外，显影过程中易于发生留底残脏现象。本发明的成膜树脂也可以使用既带有羧基又带有羟基的丙烯酸系树脂或醇酸树脂、羧基改性环氧树脂。但考虑到可选用的性能较好的线型酚树脂较多，所以本发明推荐使用线型酚树脂作为成膜树脂。为了改善膜层的抗划伤性和感光组合物的感度，可以加入一些分子量较大的二甲酚改性线型酚搭树脂和碱可溶性聚氨酯树脂或带有酚羟基的丙烯酸共聚物，它们的用量一般不超过主成膜树脂的10%。还要指出，成膜线型酚树脂的分子链中要含有残留反应活性点的苯酚环，以便能和多甲氧甲基三聚氰胺迅i4iC生交联反应，实现翻转成像。本发明感光组合物选用的着色背景染料为维多利亚纯蓝(BOH)、碱性艳蓝(OB)、油溶蓝、结晶紫、甲基紫、孔雀石绿、二甲基黄、甲基橙等中的至少一种。它们的用量占感光组合物总质量的0.2-2.0%,当作为正寸象用途时，推荐使用维多利亚纯蓝和油溶蓝；当以翻转成像最终得到阴像为目的时，推荐使用维多利亚纯蓝和油溶蓝、结晶紫和二甲黄、甲基橙的复合染料体系，以便曝光翻转成像后产生增色现象。本发明在必要时可加入某些添加剂，例如为改善流平性而加入的占感光组合物总质量0.01~1.0%的FC430(3M公司)含氟流平剂；为了4吏阳图图像减色效果明显，往往加入占感光组合物总质量0.1~1.0%的三氯甲基三嗪类产酸源或少量2，1，4-重氮萘醌磺酰氯;为了增加促溶性减少留底残脏现象可加入感光组合物总质量0.5~2.0%的三甲|1^苯甲酸、四氢邻^n甲酸酐、冰片烯二酸酐、双酚A、低分子量的BTB-33树脂(天成化工有限公司生产)等。添加剂不是必要组成成分，多数情况下可以不加.配制感光液的溶剂可以选用丙二醇独甲醚、丙二醇独乙醚、乙二醇独乙醚、环己酮、丁酮、Y-丁内酯、二氧六环、乳酸乙酯、乙二醇独乙醚醋酸酯中的至少一种为溶剂，其用量视所配感光液固含量或粘度要求而定，一般应使本发明感光组合物的固含量为1030%。本发明翻转成像工艺说明本发明感光组合物配制成适当粘度的感光胶液后需经过至少两级过滤(用作印刷版材感光液)。首先用孔径l5Mm的过滤器过滤，然后用孔径为0.5;tm的过滤器进行过滤，当作为超大规模集成电路用光刻胶时在上述过滤的基础上再用孔径为0.05~0.1/*m的过滤器进行超精细过滤。将感光液采用不同涂布方法涂布在PS版M或珪片上，之后在鼓风千燥箱中100'C干燥5分钟。对于PS版而言，涂布量要求在1.82.2g/n^之间，对于光刻胶涂层而言，涂布厚度要求在0.5~1.0/an之间。PS版或硅片置于曝光台上进行掩膜密着真空曝光或投影曝光工序后，置于120130'C的烘箱中烘烤l分钟之后再用近紫外光源，如黑光灯、高压7JC银灯、金属卤化物灯进行无掩膜全面曝光，以320~436nm输出的照度计时曝光量一般在200mJ/cii^左右，然后放置于5%的硅酸钠水溶液中或2.3%的四曱基氢氧化铵水溶液中，常温显影30秒左右，得到相当于阴图PS版或感光胶的图像。由原本可以经过曝光显影形成正像的体系经由预烘和全面曝光处理后使所得图像由正像转为负像。如果膜层需要进一步提高强度和抗划伤性，还可以在图像形成后置于150~170'C烘箱中后烘烤3~5分钟。实施例以下介绍本发明的实施例，它们仅是本发明的部分代表例，并非全部。实施例中所用光活性化合物代号及具体含义如下PAC-XF、PAC-SF、PAC-EF、PAC-NF和PAC-TF为天成化工有限公司生产的2，1，4-重氮萘醌磺酸酯系光活性化合物，其中前4种光活性化合物所用酯化母体为对曱酚含量在66~97%之间的混酚酴醛树脂，最后一种光活性化合物所用酯化母体是低分子量纯对甲纷酚搭树脂，以盼羟基摩尔数计，前4种光活性化合物的酯化率在33~50%之间，后一种的酯化率在60~66%之间，这些酯化物的重均分子量在900~3000之间不等。MC-214、MC-215是间甲酚酴醛树脂分别和2，1，4-重氮萘醌磺酰氯和2，1，5-重氮萘敏磺酰氯酯化得到的光活性化合物，间甲酚数均分子量在800~1000之间，以酚羟基摩尔数计，重氮萘醌磺酰基导入率均在33%左右(天成化工有限公司、本溪瑞事达生产)。THB-214、THB-215为2,3，4-三羟基二苯甲酮分别与2，1,4-重氮萘醌磺酰氯和2，1，5-重氮萘敏磺酰氯所合成的光活性化合物，重氮萘醌磺SSt基导入率在66%左右，即分子中三个酚羟基中的两个被酯化(日本东洋合成工业/〉司生产)。PAC-19为天成化工有限公司生产的以高对甲酚含量的混酚盼醛树脂BTB-19为酯化母体的2，1，5-重氮萘醌磺酸酯光活性化合物，BTB-19树脂的数均分子量为850，以酚羟基摩尔数计，酯化率在33%左右。实施例1BTC-101(天成化工有限公司生产五曱氧甲基三聚氰胺)l.OgPAC-XF1.8gPAC画191.2gBTB-26(天成化工有P艮公司生产线型酚醛树脂)6.0g维多利亚纯蓝(BOH)O.lg二甲基黄0.025g丙二醇独甲醚90.0g将以上各组分加入到装有搅拌器和温度计的三口烧瓶中搅拌溶解，可水浴加热升温至40'C，持续搅拌2小时。然后用5/mi和0.5/tm的过滤器进行两级过滤。用离心涂布法将所得感光液均匀涂布在基材上，通过控制转速使其在通用PS版版基上的涂布量在1.82.0g/i^之间。铝齓基的Ra值在0.5左右，Rz值在3.0左右，氧化层的厚度为2.5g/m2左右，g厚度为0.27mm。涂好之后置于温度为100'C的鼓风千燥烘箱中干燥5分钟，使溶剂的含量小于3%。千燥好的版材放置一昼^进行一般阳图PS版成像表征试验和翻转成像表征试验。曝光机用中国印刷技术研究所制造的1000W真空琳溶灯晒;J^基，所用信号条也为中国印刷技术研究所生产，显影液用富士星光PD-m显影液，显影条件为在显影原液水为1:4的稀释显影液全面曝光100秒，显影后彻底固化的段数(不减膜失光的段数)来表示。分辨线幅及网点再现百分率、过渡段数均是在上述膝光显影条件下的测试结果。所得成像表征结果列于表l。实施例2-5用与实施例1完全相同的配制、过滤、涂版、千燥和成〗象表征方法，只是将实施例1中的PAC-XF分别换成PAC-SF(实施例2)、PAC-EF(实施例3)、PAC-NF(实施例4)、PAC-TF(实施例5)，它们的成《象表征结果列于表l。实施例6BTC-101l.OgMC隱2142.0gBTB國267.0g维多利亚纯蓝(BOH)O.lg二甲基黄0.025g丙二醇独曱醚90.0g用与实施例l相同的配制、过滤、涂版、干燥和成《象表征方法，所得成像表征结果列于表l。实施例7用与实施例6相同的配制、过滤、涂版、干燥和成像表征方法，只是将实施例6中的MC-214换成THB-214，所得成像表征结果列于表1。实施例8用与实施例6相同的配制、过滤、涂版、干燥和成像表征方法，只改用1.0gMC-215和1.0gMC-214，并加入0.1g三嗪B产酸源，所得成41^征结果列于表l。实施例9用与实施例8相同的配制、过滤、涂版、干燥和成像表征方法，只是用l.OgTHB-2"代替实施例8中的MC-215,所得成像表征结果列于表1。实施例10用与实施例8相同的配制、过滤、涂版、千燥和成像表征方法，只是用l.OgPAC-19代替实施例8中的MC-215,所得成像表征结果列于表1。实施例11BTC-100(天成化工有限公司生产六甲氧曱基三聚氰胺)0.75gPAC-EFl.OgBTB-29(天成化工有限公司生产线型酚搭树脂)8.25g碱性艳蓝(BOH)O.lg甲基橙0.025g2，1，4-重氮萘醌磺酰氯0，025g乙二醇独乙醚90.0g用与实施例l相同的配制、过滤、涂版、干燥和成像表征方法，所得成像表征结果列于表l。实施例12-15用与实施例ll相同的配制、过滤、涂版、干燥和成像表征方法，只是将实施例1中的BTB-29成膜树脂分别换成德国白克莱特公司的6564LB(实施例12)、德国白克莱特公司的0744LB(实施例13)、美国十拿公司PD-140(实施例14)、BTB-28a(天成化工有限公司生产)(实施例15)，它们的成像表征结果列于表1。实施例16BTC國IOO1.25gPAC-EF2.0gBTB-296.375g结晶紫O.lg乙二醇独乙醚80.0g二氧六环lO.Og用与实施例l相同的配制、过滤、涂版、干燥和成係4^征方法，所得成像表征结果列于表l。实施例17BTC-101PAC漏EFBTB-29结晶紫二甲基黄乙二醇独乙醚丁酮用与实施例l相同的配制成像表征结果列于表l。实施例18BTC-101l.OgPAC-TFl.OgBTB-298.0g结晶紫O.lg二甲基黄0.025g乙二醇独乙醚80.0gY-丁内酯lO.Og用与实施例l相同的配制、过滤、涂版、干燥和成m^征方法，所得成像表征结果列于表l。0.5g2.0g7.375gO.lg0.025g80.0glO.Og、过滤、涂版、干燥和成《象表征方法，所得实施例19BTC-1011.5g1.5g7.0gO.lgMC-214BTB-29结晶紫二甲基黄乙二醇独乙醚环己酮0.025g80.0glO.Og用与实施例l相同的配制、过滤、涂版、干燥和成像表征方法，所得成像表征结果列于表l。实施例20用与实施例19相同的配制、过滤、涂版、千燥和成像表征方法，只是将实施例19中的MC-214用THB-214代替，所得成像表征结果列于表1。用与实施例l相同的配制、过滤、涂版、干燥和成像表征方法，所得成像表征结果列于表2，对比例1BTB-26二曱基咪唑碱性艳蓝丙二醇独甲醚PAC-EF3.3g6.6gO.lgO.lg90.0g对比例2MC-214BTB-26三乙撑二胺碱性艳蓝3.3g6.6gO.lgO.lg丙二醇独甲醚90.0g用与实施例l相同的配制、过滤、涂版、干燥和成像^^征方法，所得成像表征结果列于表2。对比例3THB-214BTB-26苯并咪唑碱性艳蓝丙二醇独甲醚用与实施例l相同的配制成像表征结果列于表2。对比例4MC-215二甲基咪唑BTB-26碱性艳蓝丙二醇独曱醚用与实施例l相同的配制成像表征结果列于表2。对比例5THB画2153.0g二曱基哌唤0.5g0744LB6.5g碱性艳蓝O.lg丙二醇独甲醚90.0g用与实施例l相同的配制、过滤、涂版、干燥和成像表征方法，所得6.6gO.lgO.lg90.0g、过滤、涂版、千燥和成像表征方法，所得3.0g0.5g6.5gO.lg卯.0g、过滤、涂版、干燥和成像表征方法，所得成像表征结果列于表2。对比例6在对比例5的基础上增加O.lg三溱B，其它配制、过滤、涂版、干燥和成像表征方法与对比例5完全相同，所得成像表征结果列于表2。效果评价从实施例1~实施例20、对比例1~对比例6的配方及表1和表2中相应的成像表征结果，可以清楚地总结出如下结论(1)凡是采用2，l,4-重氮萘醌磺酸酯类化合物作为光活性化合物、5%以上的多甲氧甲基三聚氰胺为交联剂的配方均能获得优良的翻转成像效果。(2)用2，1，5-重氮萘蛾磺酸酯作为光活性化合物与5%以上的多曱氧曱基三聚氰胺相配合，在有0.5%的光产酸源存在时也有优良的翻转成像效果，没有光产酸源体系的翻转成像效果很差。(3)凡不加多甲氧甲基三聚氰胺为交联剂的配方，不论加入光产酸源与否都不能获得良好的翻转成像效果，即4^入翻转成像催化剂，在l分钟以内的预烘烤条件下也难以完成翻转成像过程。(4)光活性化合物的加入总量占感光组合物总质量的15%以上，成正像的效果良好，低于15%时，成正像的效果较差，低于5%根本不能形成清晰的正像。但光活性化合物在10%左右时，仍能翻转获得清晰的负像.综上所述，本发明提供的翻转成像体系优于以往重氮萘醌系加翻转成像催化剂的翻转成像体系.表1实施例1~20成像表征试验的测试结果<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>备注本表中阳图的感度以洗净3段的曝光时间来表示，阴图的感度以信号条曝光100秒，125。C预烘烤l分钟，然后全面曝光100秒，显影后彻底固化的段数(不减膜失光的段数)来表示。②最大稀释比为能显影获得清晰图像的水与显影原液的最大比值。表2对比例1~6成像表征试验的测试结果<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>备注同表l权利要求1.一种重氮萘醌系翻转成像感光组合物，包含如下组分a)5～30％的至少包含2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类化合物的光活性化合物；b)5～20％的多甲氧甲基三聚氰胺交联剂；c)60～85％的成膜树脂；d)0.1～2.0％的着色背景染料；和e)2.0％以下的添加剂，所有百分数基于所述感光组合物的总质量且其总和为100％。2.根据权利要求1或2的重氮萘醌系翻转成像感光组合物，其中光活性化合物选自2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物、2，1，5-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物、2，1，6-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物和1,2，4-重氮萘醌磺酸酯类光活性化合物中的一种或几种。3.根据权利要求1或2的重氮萘醌系翻转成像感光组合物，其中2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类化合物占重氮萘醍系光活性化合物总质量的至少50%。4.根据权利要求1的重氮萘醌系翻转成像感光组合物，其中所述多甲氧曱基三聚氰胺为五曱氧曱基化到六曱氧甲基化的多甲氧甲基三聚氰胺。5.根据权利要求l的重氮萘醌系翻转成像感光组合物，其中所述成膜树脂选自线型酚树脂、分子中既有羧基又有羟基的丙烯酸树脂、醇酸树脂以及改性环氧树脂等，优选重均分子量在4000~20000之间的线型酚树脂，更优选使用重均分子量在5000~10000之间的线型酚树脂，相应的MW/MN在410之间。6.根据权利要求l的重氮萘醌系翻转成像感光组合物，其中所述着色背景染料选自维多利亚纯蓝(BOH)、油溶蓝、碱性艳蓝(OB)、结晶紫、二甲基黄、甲基橙中的至少一种，其用量为0.5~1.5%之间'7.根据权利要求1的重氮萘醌系翻转成像感光组合物，其中所述添加剂是加入量为0.5%左右的产酸源，如三氯曱基三嗪类化合物或2，l，4-重氮萘醌磺酰氯；为了改善流平性加入的0.01~0.5%流平剂，如3M公司的FC430。8.根据权利要求l的重氮萘醌系翻转成像感光组合物，进一步包含为涂制于PS版版基或硅片上形成膜层所需的溶剂，所述溶剂选自丙二醇独曱醚、乙二醇独乙醚、环己酮、丁酮、Y-丁内酯、二氧六环、乳酸乙酯、乙二醇独乙醚醋酸酯中的至少一种，溶剂用量应使所述感光组合物的固含量为1030%。全文摘要本发明涉及一种新型重氮萘醌系正、负像可翻转的感光组合物体系，其组成为a.占感光组合物总质量5～30％的至少包含2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类化合物的光活性化合物；b.占感光组合物总质量5～20％的多甲氧甲基三聚氰胺交联剂；c.占感光组合物总质量60～85％的成膜树脂；d.占感光组合物总质量0.1～2.0％的着色背景染料；e.占感光组合物总质量2.0％以下的添加剂。本发明感光组合物所涂制的膜层用近紫外光源通过掩模密着曝光或步进投影曝光或激光扫描曝光之后，直接置于碱显影液中显影得到正像；曝光后在120～130℃预烘烤1分钟，再进行全面曝光，然后置于碱显影液中显影，得到负像，实现了正、负像的翻转。所形成的负像具有感度高，分辨率高，耐磨性、抗热性及抗蚀性强等一系列优点。文档编号G03F7/004GK101373330SQ20071014658公开日2009年2月25日申请日期2007年8月22日优先权日2007年8月22日发明者丛培军,余尚先,杨金瑞,王大伟,顾江楠申请人:威海经济技术开发区天成化工有限公司