技术编号：2802294
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在一个基板上形成有集成电路和液晶显示部分的基板制造用的正型光致抗蚀剂组合物。本申请主张对2004年9月16日申请的日本专利申请第2004-269704号的优先权，并将该内容引用于此。背景技术 以往作为使用了玻璃基板的液晶显示元件制造领域中的抗蚀剂材料，大多使用的是使用酚醛清漆树脂作为碱溶性树脂、使用含有醌二叠氮基的化合物作为感光成分的正型光致抗蚀剂组合物，这是因为它适合ghi线曝光，比较廉价，感光度、分辨力良好，能够形成形状良好的抗蚀图案，而...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。