液晶显示装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2808824

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本发明涉及至少对像素部使用薄膜晶体管的液晶显示装置。 背景技术近年来,将形成在具有绝缘表面的衬底上的半导体薄膜(厚度为几十nm至几百nm左右)用于沟道形成区域构成薄膜晶体管的技术引人注目。薄膜晶体管广泛地应用于电子器件如IC及电光装置,尤其是,正在加快开发作为图像显示装置的开关元件的薄膜晶体管。作为图像显示装置的开关元件,采用将非晶半导体膜用于沟道形成区域的薄膜晶体管、或将多晶半导体膜用于沟道形成区域的薄膜晶体管等。作为 多晶半导体膜的形成方法,一般知道由...
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