技术编号：2809566
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光罩存放装置，以及一种使用该光罩存放装置保持光 罩清洁与千燥的方法。背景技术近代半导体科技发展迅速，其中光刻技术扮演重要的角色，只要是关 于图形定义，皆需依赖光刻技术。光刻技术在半导体的应用上，是将设计 好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩。利用曝光原理，则光源通过 光罩投影至硅晶片可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗 粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形 的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的晶片工...
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