专利名称：光罩存放装置以及保持光罩清洁与干燥的方法
技术领域：
本发明涉及一种光罩存放装置，以及一种使用该光罩存放装置保持光 罩清洁与千燥的方法。
背景技术：
近代半导体科技发展迅速，其中光刻技术扮演重要的角色，只要是关 于图形定义，皆需依赖光刻技术。光刻技术在半导体的应用上，是将设计 好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩。利用曝光原理，则光源通过 光罩投影至硅晶片可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗 粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形 的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的晶片工艺中，都提供无尘室的环 境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘的 状态。
因此，现代的半导体工艺皆利用抗污染的存放装置进行光罩的保存与 运输，以使光罩保持洁净。存放装置是在半导体工艺中用于存放光罩，以 利光罩在机台之间的搬运与传送，并隔绝光罩与大气的接触，避免光罩被 杂质污染而产生变化。因此，在先进的半导体厂中，通常会要求该等存放
装置的洁净度要符合机械标准接口 (Standard Mechanical Interface; SMIF)，也就是说保持洁净度在Class 1以下。故，在该等存放装置中充 入气体便是目前解决的手段之一。
为了充填气体进入该等存放装置，通常在存放装置中会设有至少一个入气端口，以与供气装置连接，将气体导入该存放装置。而本发明所 提供的光罩存放装置，以及保持光罩清洁与干燥的方法乃是就光罩存放装 置中入气端口的位置，以及气体进入存放装置后吸湿、保持干燥与夹带废 气离开存放装置的措施与方法。
发明内容
本发明提供一种保持光罩清洁与千燥的方法与一种可充填气体的光 罩存放装置，此存放装置，用以存放至少一光罩，其中该光罩具有一图案 面，该图案面设有一保护件，其中该存放装置包含有 一第一盖体； 一第 二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳该光罩，其中该 第二盖体具有一中央部分；至少一固定件，设于该第二盖体上，用以支持 并定位该光罩；至少一入气端口，设于该第二盖体上且设于该光罩的投射 区域以外；以及至少一出气端口，设于该第二盖体上且以该中央部分为中 心的相对于该入气端口的另一侧。
因此，本发明的主要目的在于提供一种光罩存放装置，当气体经过其 入气端口进入该存放装置后会产生涟漪状扩散。
本发明的再一目的在于提供一种光罩存放装置，当气体经过其入气端 口进入该存放装置后能充分将光罩表面的保护件与光罩之间的湿气带走。
本发明的再一 目的在于提供一种光罩存放装置，可将大量气体经过其 入气端口进入该存放装置后，经过光罩保护件侧置换保护件上的脏气与湿 气。
本发明的再一目的在于提供一种光罩存放装置，当气体经过其入气端 口进入该存放装置后，少量气体至光罩保护件的另外一侧，置换光罩上的 脏气与湿气。
本发明的再一目的在于提供一种光罩存放装置，其具有接合件，当气 体经过其入气端口进入该存放装置后，过多的气体可从出气端口或是该可 泄压接合件之间逸出，但是存放装置中气压未超过一预先设定值时，该接 合件可保持该存放装置的气密性，并达到防尘的功效。
图l，是本发明光罩存放装置外观示意图2，是本发明光罩存放装置的第二盖体的上视图3，是本发明光罩存放装置的第二盖体置放光罩后的侧视图4，是本发明光罩存放装置增设卡持件的示意图5A与图5B，是本发明光罩存放装置增设第一接合件与第二接合件的示意图6，本发明保持光罩清洁与干燥的方法的示意图。
主要组件符号说明
光罩存放装置i,r 第一盖体ii，ir
卡持件iii
第二盖体12, 12' 中央部分121， 121' 固定件122， 122' 光罩投射区域123 缝隙13
入气端口 21，21， 出气端口 22, 22' 光罩3,3' 图案面31，31' 保护件33， 33， 光罩非图案面32, 32' 第一接合件41 第二接合件42 接合部分43 第一板件51 第二板件52 气体9
具体实施例方式
由于本发明是揭露一种光罩存放装置以及其保持光罩清洁与干燥的 方法，其中所利用到的一些关于光罩或存放装置的详细制造或处理过程， 是利用现有技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下文中
7的图式，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本发明 特征有关的示意图。
请参阅图1，此是本发明光罩存放装置外观示意图。该存放装置1具 有第一盖体ll、第二盖体12，两盖体组合后形成内部空间得以置放光罩。
接着请参阅图2，此是本发明光罩存放装置的第二盖体的上视图。在
第二盖体12中，有一中央部分121，位于第二盖体12的中央位置；第二 盖体设有至少一个固定件122，目的在于支持并定位光罩；在第二盖体12 上，光罩投射区域123以外，设有至少一个入气端口 21，供气体进入存放 装置l;再以第二盖体12中央部分121为中心，相对于入气端口21的位 置，设有至少一个出气端口 22，用以使气体排出存放装置l(如图l所示)。 请一并参阅图3，是本发明光罩存放装置的第二盖体置放光罩后的侧视图， 其中光罩3具有一图案面31，图案面31上设有保护件33，用以保护该图 案面31免于被杂质污染产生变化，并使填充的气体通过与保护件31进行 气体的转换后带走其湿气与脏污。
接着请参阅图4，光罩存放装置1可在第一盖体11面对内部空间的内 侧上增设至少一个卡持件111，以支撑光罩3的边缘。此外，此卡持件111 的边缘可延伸至入气端口 21的上方，用以导引气体进入入气端口 21后的 方向，使大量气体往光罩3具有图案面31的保护件33方向行进，携带湿 气与脏气后离开存放装置1，使少部分气体往光罩非图案面32方向行进， 携带湿气与脏气离开存放装置1。
另外，请参考图5A与图5B，光罩存放装置l'可增设具有防尘功能 的接合件41， 42。此种光罩存放装置l'亦包含有第一盖体ll'以及第二 盖体12，，形成一内部空间可容纳该光罩3'，在第二盖体12，上具有至 少一个固定件122'，用以支持并定位该光罩3';其中，重要的是，在 第一盖体ir与第二盖体12'的周边分别固接第一接合件41与第二接合 件42，此等接合件41，42的材质可具有弹性，或者使第二接合件42，与 该第一接合件41接合的部分43保持悬空，如此一来，光罩存放装置l' 本身因接合件41,42的弹性或悬空，可以在光罩存放装置l'内部空间气 体过多造成压力过大时，气体将可从该接合件41，42间泄出，内部空间可 保持适当压力以免避免光罩伤害；当气压未超过预先设定值时，该接合件
841，42为气密接合状态，保持更佳的气密性，达成防止气体泄漏以及防尘
的效果。又第一盖体ir可再设置第一板件5i将该第一接合件4i夹持(请
参见图5A)。或第二盖体12'可再设第二板件52将第二接合件42夹持(请 参见图5A)。甚至可设计第一接合件41与第一盖体IT 一体成型(请参 见图5B)。或使第二接合件42与该第二盖体12' —体成型(请参见图5B)。 端视使用的需要。
请再参阅图6，用以叙述本发明保持光罩清洁与干燥的方法。光罩3 图案面31上设有保护件33用以保护该光罩3不受污染并吸收光罩3产生 的湿气使填充的气体通过与保护件31进行气体的转换后带走光罩3的湿 气与脏污。
本方法首先提供一个光罩存放装置1，此光罩存放装置具有第一盖体 11、第二盖体12、至少一固定件122，设于该第二盖体12上，用以支持 并定位光罩2;以及至少一个入气端口 21与至少一个出气端口 22。第二 盖体有一个中央部分121，位于其中心位置，入气端口 21设于第二盖体 12上且于光罩投射区以外，出气端口 22设于第二盖体上以第二盖体12 的中央部分121为中心相对于入气端口 21的位置。
接着，将光罩3置放在固定件122上，并且将光罩3具有保护件33 的面31面向第二盖体12，后将该第一盖体11与第二盖体12密合，并将 气体9自该入气端口 21充填进入光罩存放装置1中，气体9进入光罩存 放装置1后将呈涟漪式方式扩散，其中大量气体9流经该光罩3具有保护 件33的面31，置换保护件33上的脏气，并充分带走该保护件33上的灰 尘与湿气后，从设于另一侧的出气端口 22排出；或自该光罩存放装置1 的缝隙13中排出；气体9亦会流过光罩3不具有保护件的面32，带走其 上的灰尘与湿气；气体9也会不经过光罩3，直接自光罩存放装置l的缝 隙13中排出。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用以限定本发明的申请 专利权利；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及 实施，因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰， 均应包含在下述的申请专利范围中。
权利要求
1、一种可充填气体的光罩存放装置，用以存放至少一光罩，其中该光罩具有一图案面，该图案面设有一保护件，其特征在于，该存放装置包含有一第一盖体；一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳该光罩，其中该第二盖体具有一中央部分；至少一固定件，设于该第二盖体上，用以支持并定位该光罩；至少一入气端口，设于该第二盖体上且设于该光罩的投射区域以外；以及至少一出气端口，设于该第二盖体上且以该中央部分为中心的相对于该入气端口的另一侧。
2、 一种可充填气体的光罩存放装置，用以存放至少一光罩，其中该 光罩具有一图案面，该图案面设有一保护件，其特征在于，该存放装置包含有一第一盖体；一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳该光罩，其中该第二盖体具有一中央部分；至少一固定件，设于该第二盖体上，用以支持并定位该光罩； 至少一入气端口，设于该第二盖体上且设于该光罩的投射区域以外； 至少一出气端口，设于该第二盖体上且以该中央部分为中心的相对于该入气端口的另一侧；以及至少一卡持件，位于该第一盖体面对该内部空间的内侧，用以支撑该光罩的边缘。
3、 依据权利要求2所述的可充填气体的光罩存放装置，其特征在于，该卡持件的边缘延伸至该入气端口的上方。
4、 一种可充填气体的光罩存放装置，用以存放至少一光罩，其中该 光罩具有一图案面，该图案面设有一保护件，其特征在于该存放装置包含有一第一盖体；一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳该光罩； 至少一固定件，设于该第二盖体上，用以支持并定位该光罩； 一第一接合件，固接于该第一盖体的周边；以及 一第二接合件，固设于该第二盖体，用以与该第一接合件接合，且与 该第一接合件接合的部分为悬空。
5、 依据权利要求4所述的可充填气体的光罩存放装置，其特征在于，该第一盖体具有一第一板件,，该第一板件用以夹持该第一接合件。
6、 依据权利要求4所述的可充填气体的光罩存放装置，其特征在于，该第二盖体具有一第二板件，该第二板件用以夹持该第二接合件。
7、 依据权利要求4所述的可充填气体的光罩存放装置，其特征在于，该第一接合件与该第一盖体一体成型。
8、 依据权利要求4所述的可充填气体的光罩存放装置，其特征在于，该第二接合件与该第二盖体一体成型。
9、 一种保持光罩清洁与干燥的方法，该光罩具有一图案面，该图案 面设有一保护件，该保护件用以保护该光罩不受污染，其特征在于，所述 方法包含有提供一光罩存放装置，该光罩存放装置具有-一第一盖体；一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩，其中该第二盖体具有一中央部分；至少一固定件，设于该第二盖体上，用以支持并定位该光罩； 至少一入气端口，设于该第二盖体上且设于该光罩投射区以外；以及 至少一出气端口，设于该第二盖体上且以该中央部分为中心的相对于该入气端口的另一侧-,将光罩置于该固定件上，并使该光罩具有保护件的那一面朝向该第二将第一盖体与第二盖体密合；以及将气体自该入气端口装置充填进入该光罩存放装置，使得气体可完全 流经该光罩具有保护件的面带走该保护件上的灰尘与湿气后，从设于另一侧的出气端口排出。
全文摘要
本发明一种光罩存放装置以及保持光罩清洁与干燥的方法，该可充填气体的光罩存放装置，用以存放至少一光罩，其中该光罩具有一图案面，该图案面设有一保护件，其中该存放装置包含有一第一盖体；一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳该光罩，其中该第二盖体具有一中央部分；至少一固定件，设于该第二盖体上，用以支持并定位该光罩；至少一入气端口，设于该第二盖体上且设于该光罩的投射区域以外；以及至少一出气端口，设于该第二盖体上且以该中央部分为中心的相对于该入气端口的另一侧。从入气端口进入的气体从光罩上下表面通过，并带走在光罩及吸附在保护件表面上的湿气，达到迅速降低光罩存放装置内的湿度。
文档编号G03F1/66GK101673046SQ200810149138
公开日2010年3月17日 申请日期2008年9月12日 优先权日2008年9月12日
发明者邱铭隆 申请人:家登精密工业股份有限公司