光学多层膜过滤器、光学多层膜过滤器的制造方法和电子机器装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2810439

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本发明涉及光学多层膜过滤器、光学多层膜过滤器的制造方法和组 装有光学多层膜过滤器的电子机器装置。背景技术作为光学多层膜过滤器,已知有半透镜、红外截止滤光片、低通滤 波器等,这些光学多层膜过滤器多用于电子机器装置。该光学多层膜过 滤器由基板和通过蒸镀等而形成在该基板上的无机薄膜构成。无机薄膜具有由二氧化钛(Ti02)等形成的高折射率膜和由二氧化硅 (Si02)等形成的低折射率膜交互层积而得到的多层的膜结构。 一般,在该 无机薄膜的最表层形成有具有保护膜功能的...
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