技术编号：2811284
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对半导体晶片、光掩模用玻璃基板、液晶显示用玻璃基板、等离子体显示用玻璃基板、光盘用基板的各种基板(以下简称为“基板”)进行各种表面处理(显像处理、蚀刻处理、清洗处理、冲洗处理、干燥处理等)的基板处理装置。在如上所述地构成的基板处理装置中，在盒11内容纳的基板W通过分度器自动机14搬出后，再交付给主运送自动机22。然后，接受未处理的基板W的主运送自动机22移动直到处理单元231～233，241～243之中的任一处理单元之前，把基板搬入该处理单元。对...
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