技术编号：2813596
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及TFT液晶显示装置的制造工艺，特别涉及一种用于吸附 玻璃基板的静电吸附台。背景4支术在TFT液晶显示装置的制造工艺中，真空定位装置(vacu咖aligner)是用于在真空状态下实现液晶显示装置对盒的设备。但是液晶显示装置的吸 附对盒不能采用传统的真空吸附来完成，而是使用库仑力将液晶显示装置的 上、下两个玻璃基板在真空环境下进行吸附，所以在真空定位装置上设有产 生静电作用的静电吸附台(Electro-staticChucking stage,以...
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