技术编号:28158851
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明有关于一种存储器装置,且特别是有关于一种动态随机存取存储器及其制造方法。背景技术.随着电子产品日渐小型化的趋势,对于存储器装置亦有逐渐小型化的需求。然而,随着存储器装置的小型化,提高存储器装置的良率变得更为困难。.举例而言,在一个具有埋入式字线的动态随机存取存储器(dynamic random access memory,dram)中,通常会在相邻的埋入式字线之间形成与位线电性连接的位线接触结构。在形成位线接触孔的光刻制造工艺中,若位线接触孔的尺寸太小,则可能无法完全曝光。因此,将...
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