技术编号：28435364
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。混合cmos兼容电光器件技术领域.本发明涉及一种电光器件，特别是但不限于一种混合带状加载电光调制器。背景技术.硅光子学具有使其成为光学调制器的理想选择的显著优势，尤其是用于短距离的那些调制器。这些优势包括成熟的制造工艺、利用cmos处理优势的能力、廉价的低成本大规模制造以及通过载流子注入/耗尽效应实现的电光可调谐性。硅光子波导是亚微米级的，并且具有较高的折射率对比度，这允许尖锐弯曲和具有较小占用空间的紧凑结构。然而，对于调制，硅光子学也具有一些缺点，例如较慢的速度(由于pn结/载流子耗尽的速...
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