技术编号：2849251
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于灯丝灯，特别涉及被使用在用来加热被处理体的灯丝灯。 背景技术作为被使用在半导体制造工程的例如进行成膜、氧化、不纯物扩散、 氮化、膜稳定化，硅化物化、结晶化、离子注入活性化等的各式各样的程 序的急速热处理(以下，亦称为RTP Rapid Thermal Processing。)的加热 处理装置，例如广泛地利用着通过来自在由透光材料所构成的发光管的内 部配设灯丝形成的白炽灯等的光源的光照射，可不接触被处理体地对其进 行加热的光照射式的加热处理装置(...
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