专利名称：灯丝灯的制作方法
技术领域：
本发明是关于灯丝灯，特别涉及被使用在用来加热被处理体的灯丝灯。
背景技术：
作为被使用在半导体制造工程的例如进行成膜、氧化、不纯物扩散、 氮化、膜稳定化，硅化物化、结晶化、离子注入活性化等的各式各样的程 序的急速热处理(以下，亦称为RTP: Rapid Thermal Processing。)的加热 处理装置，例如广泛地利用着通过来自在由透光材料所构成的发光管的内 部配设灯丝形成的白炽灯等的光源的光照射，可不接触被处理体地对其进 行加热的光照射式的加热处理装置(参照专利文献l、专利文献2)。
本发明人等提案有作为这样的光照射式的加热处理装置的光源而使用 的具有如以下般的构成的灯丝灯(参照专利文献3)。
参照图5说明该灯丝灯，于两端为以端部密封部2a、 2b而密封至气密 的直管状的发光管1内，线圈状的灯丝4、 5、 6以延伸于发光管1的管轴 方向的方式依次排列而配置，各灯丝4、 5、 6的两端分别连结着供电用的 内部导线4a、 4b、 5a、 5b、 6a、 6b。
上述各灯丝的内部导线分别延伸至两端密封部，各自经由金属箔而被 电连接至外部导线。
也就是，各灯丝4、 5、 6的一端侧的内部导线4a、 5a、 6a分别经由一 端侧密封部2a的金属箔7a、 8a、 9a电连接于一端侧的外部导线10a、 lla、 12a。
同样地，另一端侧的内部导线4b、 5b、 6b分别经由另一端侧密封部 2b的金属箔7b、 8b、 9b电连接于另一端侧的外部导线10b、 llb、 12b。
然后，各灯丝4、 5、 6由于是经由这些各外部导线10a、 10b、 lla、 llb、 12a、 12b分别连接于不同的供电装置13、 14、 15，因而能够个别地供电。
另外，16、 17、 18是分别覆嵌各灯丝4、 5、 6的内部导线4b、 5a、 5b、6a的绝缘管，分别被设置在与其他的灯丝4、 5、 6相对置的部位。
另外，19、 20、 21是在发光管1的内壁与绝缘管16、 17、 18之间的 位置，并设在发光管l的管轴方向上的环状的固定器，各灯丝4、 5、 6分 别通过例如2个固定器以不与发光管1接触的方式来支撑。
根据使用了这种结构的灯丝灯的光照射式加热处理装置，因为能够对 多个灯丝个别地供电而能够个别地进行各灯丝的发光等控制，所以例如即 使在被热处理的被处理体上的场所性的温度变化程度的分布相对于被处理 体的形状为不对称的情况下，也能够按照与该被处理体特性对应的所期望 的放射照度分布来进行光照射，结果，能够均匀地加热被处理体，因此， 具有能够在被处理体的整个被照射面实现均匀的温度分布的优点。
专利文献1:日本特开平7-37833号公报
专利文献2:日本特开2002-203804号公报
专利文献3:日本特开2006-279008号公报
在上述现有技术中，为了防止各灯丝4、 5、 6和内部导线4b、 5a、 5b、 6a的放电而覆嵌有绝缘管16、 17、 18，因此，有时来自灯丝的光被该绝缘 管遮住，存在被处理体的被照射面的照度分布不均从而不能够够使其温度 分布均匀的问题。
尤其是，来自位于被处理体中央正上方的中央部灯丝的放射光被遮蔽 的情况，会对被处理体的照度分布的均匀性带来巨大的不良影响。
上述说明了将绝缘管覆嵌内部导线的例子，但即使在没有绝缘管的情 况下，亦会产生内部导线遮挡放射光的同样问题。
发明内容
本发明鉴于上述现有技术的问题点，提供一种灯丝灯，在多个的线圈 状的灯丝被安装于发光管内部的灯丝灯中，能够尽量不遮挡来自在发光管 的管轴方向上位于中央部侧的灯丝的放射光，而有效地加以利用。
本发明是一种灯丝灯，在两端形成有密封部的发光管的内部中，3个 以上的线圈状的灯丝分别在发光管的管轴方向依次排列配设， 一对内部导 线被连结在各灯丝的两端，各内部导线分别相对于埋设在密封部的多个金 属箔电连接，其特征在于，在所述灯丝之中最接近所述各密封部配置的2个灯丝的两端上分别连结的所述一对内部导线，在所述灯丝最接近的同一
密封部方向上延伸，并被该密封部保持，并且，在配置于所述2个灯丝之 间的灯丝的两端上连结的所述一对内部导线，在所述发光管的管轴方向上 向互相不同的方向延伸，并被两端的各封止部保持。
另外，在所述各密封部的附近设有将分别朝向所述各密封部延伸的各 内部导线予以保持的玻璃桥架；最靠近所述各密封部配置的各灯丝具备线 状固定器，该线状固定器的一端侧被该灯丝保持，另一端侧在所述发光管 的管轴方向上延伸而被所述各玻璃桥架保持。
发明效果
在本发明的灯丝灯中，将位于两端密封部的最接近位置的灯丝的内部 导线通过相同的密封部来保持，所以能够减少从位于中央侧的灯丝的附近 延伸的内部导线的数量，能够实现减少由于覆嵌于该内部导线的绝缘管造 成的放射光遮挡的效果。由此，来自位于被处理体的正上方的灯丝的放射 光均匀地照射于被处理体。
图1是表示本发明的灯丝灯的第1实施例的立体图。
图2是图1的俯视图。
图3是图1的部分说明图。
图4是表示本发明的灯丝灯的第2实施例的俯视图。
图5是表示现有技术的图。
附图标记说明
1:发光管
2a、 2b:密封部
24、 25、 26、 40:灯丝
24a、 24b、 25a、 25b、 26a、 26b:内部导线
30a、 30b、 31a、 31b、 32a、 32b:外部导线
27a、 27b、 28a、 28b、 29a、 29b:金属箔
35:玻璃桥架
36、 37:线状固定器具体实施方式
图1是表示本发明的灯丝灯的整体结构立体图，图2为俯视图。以下， 使用图1以及图2说明本发明的灯丝灯的结构。在发光管l内，3个灯丝24、 25、 26排列配置在管轴方向。最接近于 一端部的密封部2a的灯丝24的内部导线24a、 24b，从密封部2a延伸而分 别连接在灯丝24的端部。这些内部导线24a、 24b以与金属箔27a、 27b相 连接的方式一起被保持在同一密封部2a。另一方面，位于中央部的灯丝25的内部导线25a、 25b分别在两端的 密封部2a、 2b方向上延伸，以与金属箔28a、 28b相连接的方式被该密封 部保持。关于最接近另一端侧的密封部2b的灯丝26，也与上述灯丝24相同， 其内部导线26a、 26b以与金属箔29a、 29b相连接的方式保持在另一端部 的密封部2b内。在金属箔27a、 27b、 28a、 28b、 29a、 29b上分别连接有外部导线30a、 30b、 31a、 31b、 32a、 32b。另夕卜，在发光管1的内部的密封部2a、 2b附近设置有玻璃桥架(glass bridge) 35、 35。该玻璃桥架35如图3所示，由一对圆柱状玻璃构件35a 构成，在该玻璃桥架之间挟持所述内部导线24a、 24b、 25a，并且挟持着固 定器36、 37。该固定器36、 37的前端环状部36a、 37a以将灯丝24在长边 方向上大略3等分的方式分别相对于灯丝24安装。另外，38为支撑中央部的灯丝25的环状固定器。另外，在上述结构中示出了内部导线24b、 25a、 25b、 26b上没有覆嵌 绝缘管的结构，但如图5图所示的现有技术一样进行覆嵌的结构也可以。根据如上所述的结构，在中央部的灯丝25的附近没有内部导线延伸， 来自位于被处理体的正上方的灯丝25的照射光是没有被内部导线或覆嵌在 该内部导线上的绝缘管遮蔽，能够实现均匀照射。另外，对于在位于两端密封部的附近的灯丝24、 26的附近延伸的内部 导线的条数，与现有技术数量相同，这些灯丝一般而言与载置被处理体的 载置台的周边的护环(无图示)相对应，受到该内部导线的影响不多。在上述实施例中说明了灯丝数为3条的情况，但不限于此，如图4所 示，也能够适用在4条的情况。省略详细的说明，但与上述实施例相同， 在此情况下也是，将位于两端的密封部附近的灯丝24、 26的内部导线如图 2图的实施例那样，分别在同一密封部2a、 2b方向延伸而在该密封部连接 于金属箔即可。另外的中央侧的灯丝25、 40的两端的内部导线分别在两端 的密封部2a、 2b延伸并被密封。如以上的说明所示，灯丝数更多，例如即使为5条的情况下也一样， 将位于两端的密封部附近的2个灯丝的内部导线设为同样的结构即可。根据如此般地加以构成，与使全部的灯丝的内部导线在相互不同方向 的密封部延伸的现有技术相比，能够将在轴方向上延伸在位于中央侧的灯 丝的附近的内部导线的个数减少2条(相当于两端密封部附近的灯丝数)， 能够减少放射光的遮光。
权利要求
1. 一种灯丝灯，在两端形成有密封部的发光管的内部，3个以上的线圈状的灯丝分别在发光管的管轴方向依次排列配设，一对内部导线被连结在各灯丝的两端，各内部导线分别相对于埋设在密封部的多个金属箔电连接，其特征在于，在所述灯丝之中最接近所述各密封部配置的2个灯丝的两端上分别连结的所述一对内部导线，在所述灯丝最接近的同一密封部方向上延伸，并被该密封部保持，并且，在配置于所述2个灯丝之间的灯丝的两端上连结的所述一对内部导线，在所述发光管的管轴方向上向互相不同的方向延伸，并被两端的各封止部保持。
2. 如权利要求1所述的灯丝灯，其特征在于，在所述各密封部的附近设有将分别朝向所述各密封部延伸的各内部导 线予以保持的玻璃桥架；最靠近所述各密封部配置的各灯丝具备线状固定器，该线状固定器的 一端侧被该灯丝保持，另一端侧在所述发光管的管轴方向上延伸并被所述 各玻璃桥架保持。
全文摘要
本发明提供一种灯丝灯，对于在多个灯丝依次排列配设在发光管的管轴方向上的灯丝灯中的中央部侧灯丝的放射光，不会产生遮挡。使多个灯丝之中最接近两端密封部的2个灯丝的内部导线分别在最接近的密封部方向延伸，并在该同一密封部与金属箔连接而进行密封。
文档编号H01K1/38GK101546692SQ20091012655
公开日2009年9月30日 申请日期2009年3月12日 优先权日2008年3月27日
发明者上岛由纪夫, 谷口真司, 谷野贤二 申请人:优志旺电机株式会社