技术编号：2852167
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供用于制造等离子蚀刻反应室内的机电系统装置的系统、方法及设备。在一方面中，等离子蚀刻系统包含等离子蚀刻反应室；入口，其与所述反应室流体连通；阴极，其定位于所述反应室内；及非中空阳极，其定位于所述入口与所述阴极之间的反应室内。所述入口经配置以将处理气体引入所述反应室中，使得所述处理气体的至少一部分撞击所述阳极的上表面且允许其跨所述上表面且在所述阳极的边缘周围流动。所述阳极可为代替喷洒头的衬层板。专利说明溅射蚀刻工具及衬层[0001]本发明涉及一种用于...
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