一种基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针的制作方法技术资料下载

技术编号:28602783

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.本发明属于微波射频技术领域,尤其涉及一种基于多材料增材制造工艺的微同轴射频探针的设计方法。背景技术.近年来毫米波设备广泛用于通信和雷达系统。由于这些设备的小尺寸和高工作频率,由于性能、成本和空间限制,很难在这些设备上放置同轴或波导连接器,因此,片上探针已成为晶圆级测试不可或缺的工具。现阶段常用的探针为商业acp探针,但是商业acp探针有价格昂贵,灵活度低等缺点,为不同频段的片上测试带来了不便。.微同轴是由悬空的中心导体和将其包围的接地外导体组成。微同轴采用微细加工技术,采用增材制造的思路...
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