技术编号：2866553
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种计算带电粒子束的射束参数的方法，一种测量装置及带电粒子束装置。通过偏转单元(3)将带电粒子束装置(1)的带电粒子束(4)引导至装备在孔隙装置(7)上的具有一个或多个狭缝孔隙(8)的狭缝孔隙机构处。确定穿过狭缝孔隙机构的电子束部分的测量面坐标。根据测量面坐标，孔隙装置自动移动，使得设置在孔隙装置中的测量孔隙(9)移动到预先确定的测量参考点上。射束参数测量需要借助测量孔隙。在适合本方法的测量装置(5)中，狭缝孔隙机构包括至少两个互不平行的狭缝孔隙...
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