技术编号：2887044
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于太阳电池，尤其是一种太阳电池玻璃衬底固定 装置。背景技术在大规模生产非晶硅太阳电池的生产线中，沉积硅基薄膜所需要的等离子加强化学气相沉积(简称PECVD)是太阳电池生产过程最重要的工序。该 工序包括将带有透明导电膜的玻璃板(即玻璃衬底)插入到装载盒中，要求 必须保持玻璃衬底处于竖直平面，并且玻璃衬底之间相互平行。为满足上述要求，目前公知的装置是在玻璃衬底的下方采用四氟材料做 的托轮用于支撑和拦挡，玻璃衬底的上方采用四氟材料做的轨道用于导向和 ...
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