专利名称：太阳电池玻璃衬底固定装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于太阳电池技术领域，尤其是一种太阳电池玻璃衬底固定 装置。
背景技术：
在大规模生产非晶硅太阳电池的生产线中，沉积硅基薄膜所需要的等离
子加强化学气相沉积(简称PECVD)是太阳电池生产过程最重要的工序。该 工序包括将带有透明导电膜的玻璃板(即玻璃衬底)插入到装载盒中，要求 必须保持玻璃衬底处于竖直平面，并且玻璃衬底之间相互平行。
为满足上述要求，目前公知的装置是在玻璃衬底的下方采用四氟材料做 的托轮用于支撑和拦挡，玻璃衬底的上方采用四氟材料做的轨道用于导向和 定位，通过伞形的托轮和轨道对玻璃衬底固定，保证了玻璃衬底处于竖直平 面，且多个玻璃衬底之间相互平行。由于这种固定玻璃衬底的结构使玻璃衬 底与辉光放电金属板电极紧密接触(见附图2)，当玻璃衬底沿着轨道送入装 载盒时，玻璃衬底与辉光放电金属板电极可能产生摩擦，从而造成玻璃衬底 被辉光放电金属板电极表面的微小硬颗粒划伤的现象，降低了产品合格率， 加大了太阳电池的制造成本。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种太阳电池玻璃衬 底固定装置，该装置能够有效避免玻璃衬底的划伤，大大提高产品合格率， 降低太阳电池制造成本。
本实用新型解决其技术问题是采取以下技术方案实现的
一种太阳电池玻璃衬底固定装置，包括玻璃衬底、辉光放电金属电极、 托轮以及轨道，辉光放电金属电极两侧均平行对称安装一玻璃衬底，辉光放 电金属电极的上端与两侧的玻璃衬底均嵌装在轨道的凹槽内，辉光放电金属 电极的下端两侧通过一横向的螺栓各对称固定安装一托轮，玻璃衬底的下端 安装在托轮上，其特征在于在轨道上单独制有嵌装辉光放电金属电极的电 极定位凹槽，且在该电极定位凹槽两侧间隔对称制有嵌装玻璃衬底的玻璃衬 底定位凹槽；在对应轨道上嵌装玻璃衬底凹槽的托轮上与辉光放电金属电极 间隔对称均制有一玻璃衬底支撑凹槽。
而且，所述在轨道上所制的玻璃衬底定位凹槽与托轮上所制的玻璃衬底 支撑凹槽宽度相等。而且，所述轨道和托轮均为真空陶瓷材料制作。
而且，所述轨道上玻璃衬底与辉光放电金属电极之间的间隔宽度为
0.5mm-3. Omm，所述托轮上玻璃衬底与辉光放电金属电极的间隔宽度为 0. 5腿一3. 0mm。
本实用新型的优点和积极效果是
1、 本实用新型在轨道上和托轮上均设置了隔离玻璃衬底与辉光放电金属 电极用的凸台，使玻璃衬底与辉光放电金属电极之间由密切安装改为间隙安 装，既不影响辉光放电，又有效防止了玻璃衬底表面的划伤，提高了产品合 格率，降低了太阳电池的制造成本。
2、 本实用新型将四氟材料的轨道和托轮改为真空陶瓷材料，成型后，与 玻璃衬底接触的表面进行抛光，不但解决了装置硬度较小、耐温能力差、支 撑能力差、容易损坏的缺点，还进一步保证了玻璃衬底表面不被划伤。
图1为本实用新型太阳电池玻璃衬底固定装置示意图； 图2为现有技术中太阳电池玻璃衬底固定装置示意图； 图3为图1的轨道放大图； 图4为图1的托轮剖面图； 图5为图3的仰视示意图6为图4的左视示意图。
具体实施方式
以下结合附图并通过具体实施例对本实用新型作进一步详述，以下实施 例只是描述性的，不是限定性的，不能以此限定本实用新型的保护范围。
一种太阳电池玻璃衬底固定装置，由玻璃衬底3、辉光放电金属电极2、 托轮5及轨道1构成，辉光放电金属电极两侧均平行对称安装玻璃衬底，辉 光放电金属电极的上端与两侧的玻璃衬底均嵌装在玻璃衬底支撑凹槽内，辉 光放电金属电极的下端两侧通过一横向的螺栓4各对称固定安装托轮，玻璃
衬底的下端安装在托轮上。本实用新型的创新点是
1、 在轨道上单独制有嵌装辉光放电金属电极的电极定位凹槽7，且在该
电极定位凹槽两侧均间隔对称制有一嵌装玻璃衬底的玻璃衬底定位凹槽6;
2、 对应轨道上嵌装玻璃衬底定位凹槽的托轮上与辉光放电金属电极间隔 对称制有玻璃衬底支撑凹槽8;
3、 在轨道上所制的玻璃衬底定位凹槽与托轮上所制的玻璃衬底支撑凹槽
宽度相等。
下面描述本实用新型轨道及托轮的加工过程
轨道加工见附图3、附图5，根据辉光放电金属电极和玻璃衬底的外形
4尺寸，选用相应尺寸的真空陶瓷，加工轨道的外形；根据辉光放电金属电极
的厚度，在轨道一面的中心线上加工出辉光放电金属电极定位凹槽，辉光放
电金属电极定位凹槽的槽宽与辉光放电金属电极厚度相同；根据玻璃衬底的 厚度，在辉光放电金属电极定位凹槽两边对称加工出两个玻璃衬底定位凹槽， 玻璃衬底定位凹槽的槽宽与玻璃衬底的厚度相同；两个玻璃衬底定位凹槽与 辉光放电金属电极定位凹槽之间为轨道间隙凸台，轨道间隙凸台宽度为 0. 5mm-3. 0mm，用来控制辉光放电金属电极与玻璃衬底之间的间隙；在轨道与 玻璃衬底相接触的部分进行抛光，从而完成轨道的全部加工。
托轮加工见附图4、附图6，根据辉光放电金属电极和玻璃衬底的外形 尺寸，选用相应尺寸的真空陶瓷加工两个尺寸相同的托轮。加工过程为加 工出一头外径大、另一头外径小的伞形轮作为托轮，中间为玻璃衬底支撑凹 槽，玻璃衬底支撑凹槽的槽根部宽度与玻璃衬底的厚度相同，并且同与其配 合使用轨道上的玻璃衬底定位凹槽的槽宽相同；托轮的小轴的轴向端部留有 托轮间隙凸台，托轮间隙凸台宽度为0.5mm-3.0mm，并且同与其配合使用的 轨道间隙凸台宽度相同；托轮的大轴位于玻璃衬底支撑凹槽侧加工有一个倒 角；在伞形轮中心线上钻带有台阶的孔，用于安装真空陶瓷轮螺栓；在托轮 与玻璃衬底接触的部分进行抛光，从而完成托轮的全部加工。
本实用新型的安装过程
见附图l，选用加工好的一个轨道和两个托轮，将辉光放电金属电极插 入轨道的辉光放电金属电极定位凹槽中，凹槽宽度与电极厚度尺寸相等；选 取两块玻璃衬底插入轨道的两个玻璃衬底定位凹槽中，凹槽宽度与玻璃衬底 厚度尺寸相等，使玻璃衬底与辉光放电金属电极之间由密切接触改为用具有 一定间隙，该间隙为0.5mm-3.0mm,既不影响正常的辉光放电，又不至于划 伤玻璃表面；将两个托轮的玻璃衬底支撑凹槽对正轨道中的两块玻璃衬底， 使两块玻璃衬底插入对应的凹槽内。
权利要求1、一种太阳电池玻璃衬底固定装置，包括玻璃衬底、辉光放电金属电极、托轮以及轨道，辉光放电金属电极两侧均平行对称安装一玻璃衬底，辉光放电金属电极的上端与两侧的玻璃衬底均嵌装在轨道的凹槽内，辉光放电金属电极的下端两侧通过一横向的螺栓各对称固定安装一托轮，玻璃衬底的下端安装在托轮上，其特征在于在轨道上单独制有嵌装辉光放电金属电极的电极定位凹槽，且在该电极定位凹槽两侧间隔对称制有嵌装玻璃衬底的玻璃衬底定位凹槽；在对应轨道上嵌装玻璃衬底凹槽的托轮上与辉光放电金属电极间隔对称均制有一玻璃衬底支撑凹槽。
2、 根据权利要求l所述的太阳电池玻璃衬底固定装置，其特征在于所 述在轨道上所制的玻璃衬底定位凹槽与托轮上所制的玻璃衬底支撑凹槽宽度 相等。
3、 根据权利要求1或2所述的太阳电池玻璃衬底固定装置，其特征在于-所述轨道和托轮均为真空陶瓷材料制作。
4、 根据权利要求l所述的太阳电池玻璃衬底固定装置，其特征在于所 述轨道上玻璃衬底与辉光放电金属电极之间的间隔宽度为0. 5mm-3. 0mm，所 述托轮上玻璃衬底与辉光放电金属电极的间隔宽度为0. 5mm-3. Omm。
专利摘要本实用新型涉及一种太阳电池玻璃衬底固定装置，包括玻璃衬底、辉光放电金属电极、托轮以及轨道，在轨道上单独制有嵌装辉光放电金属电极的电极定位凹槽，且在该电极定位凹槽两侧间隔对称制有嵌装玻璃衬底的玻璃衬底定位凹槽；在对应轨道上嵌装玻璃衬底凹槽的托轮上与辉光放电金属电极间隔对称制有玻璃衬底支撑凹槽。本装置使玻璃衬底与辉光放电金属电极之间由密切接触改为保持一定间隙，既不影响辉光放电，又有效防止了玻璃衬底表面的划伤，提高了产品合格率，降低了太阳电池的制造成本；由于采用真空陶瓷材料，且与玻璃衬底接触的表面进行抛光，不但解决了装置硬度较小、耐温能力差、支撑能力差、容易损坏的缺点，还进一步保证了玻璃衬底表面不被划伤。
文档编号H01J37/32GK201430158SQ20092009756
公开日2010年3月24日 申请日期2009年7月1日 优先权日2009年7月1日
发明者王宗畔 申请人:天津市津能电池科技有限公司