技术编号：2891495
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种太阳能光伏产业工艺设备，具体地说是用于平板炉 PECVD(等离子增强化学气相沉积)中的配套装置。背景技术太阳能电池主要有125型(即125x125) 、156型(即156x156)等规格，相应的硅 片载片器也有125型、156型等规格。在进行平板炉PECVD的工艺时，硅片是放在同一规格 的硅片载片器的挂钩上，由于平板炉是连续生产，配置的硅片载片器至少要10只以上。因 其价格很贵，有些厂家只配置了 156规格的硅片载片器，如果要生产125规...
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