专利名称：Pecvd用硅片载片器的变换装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能光伏产业工艺设备，具体地说是用于平板炉 PECVD(等离子增强化学气相沉积)中的配套装置。
背景技术：
太阳能电池主要有125型(即125x125) 、156型(即156x156)等规格，相应的硅 片载片器也有125型、156型等规格。在进行平板炉PECVD的工艺时，硅片是放在同一规格 的硅片载片器的挂钩上，由于平板炉是连续生产，配置的硅片载片器至少要10只以上。因 其价格很贵，有些厂家只配置了 156规格的硅片载片器，如果要生产125规格的产品就需要 另外配备125型的，从而增加了采购成本。
发明内容本实用新型针对上述问题，提供一种PECVD用硅片载片器的变换装置，该装置安 装于156型硅片载片器上，可将156型变换成125型的硅片载片器，可大幅度降低采购成 本。 按照本实用新型的技术方案一种PECVD用硅片载片器的变换装置，包括板体，其 特征是所述板体的角部以板体的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂，使所述板体 成十字形；板体的一面设置与所述十字形对应的十字槽；所述十字槽的宽度与第一种规格 的硅片载片器的框杆宽度相等，支臂的宽度为第一种规格的硅片载片器的边长与第二种规 格的硅片载片器的边长之差再加上第一种规格的框杆宽度之和。 各个相邻的支臂的交叉处设置有过渡圆弧。所述支臂的两个外侧面上对称地设置 有半腰圆槽，半腰圆槽的对称线垂直于所述支臂的边线，所述支臂上设置有圆孔，圆孔的中 心线在半腰圆槽的对称线上。在处于同一直线上的两个支臂中，一个支臂的外端与所述十 字槽的同侧设置有第一台肩，另一个支臂的外端与所述十字槽的相反侧设置有第二台肩。 本实用新型的技术效果在于本实用新型安装于第一种规格的硅片载片器交叉处， 将第一种规格的硅片载片器转换为第二种规格的硅片载片器，用于生产第二种规格的产品， 可以节省采购成本；拆除本实用新型后，又可以生产第一种规格的产品，转换方便；支臂的交 叉处设置有过渡圆弧，可组装成第二种规格的单晶硅片载片器，可以用来生产单晶硅片。
图1为156型硅片载片器中的一个方框的结构示意图； 图2为本实用新型的结构示意图； 图3为本实用新型安装于156型硅片载片器上的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型是一种PECVD用硅片载片器的变换装置，具体实施例是将156型硅片
3载片器变换为125型硅片载片器。图1为156型硅片载片器中的一个方框1的结构示意图。 如图2所示，本实用新型PECVD用硅片载片器的变换装置2，包括十字形的板体3， 所述板体3的角部以板体3的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂IO，板体3的一侧 表面设置有十字槽4，十字槽4的宽度与第一种规格的C/C框的框杆宽度相等，支臂10的宽 度为第一种规格的硅片载片器的边长与第二种规格的硅片载片器的边长之差再加上第一 种规格的硅片载片器的框杆宽度之和。 各个相邻的支臂10的交叉处设置有过渡圆弧6。所述支臂10的两个外侧上分别 设置有半腰圆槽7，半腰圆槽7的对称线垂直于所述支臂10的边线，所述支臂10内设置有 圆孔9，圆孔9的中心线在半腰圆槽7的对称线上。半腰圆槽7与圆孔9相配合用来安装挂 钩。 处于同一直线上的两个支臂10，一个支臂10的外端与所述十字槽4的同侧设置有 第一台肩8，另一个支臂10的外端与所述十字槽4的相反侧设置有第二台肩5。如图3所 示，四个PECVD用硅片载片器变换装置2安装于156型硅片载片器的方框1的四个交叉处， 十字槽4嵌入方框1的框杆内，第一台肩8与第二台肩5相搭接，将156型硅片载片器转换 为125型的硅片载片器，生产125型多晶产品。支臂10的交叉处设置有过渡圆弧6，可组装 成125型单晶硅片载片器，可以用来生产单晶硅片。使用本实用新型，可节省2/3的硅片载 片器成本。 拆除本实用新型后又可进行156规格产品的生产。本实用新型装卸方便，使用效 果好。
权利要求一种PECVD用硅片载片器的变换装置，包括板体(3)，其特征是所述板体(3)的角部以板体(3)的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂(10)，使所述板体(3)成十字形；板体(3)的一面设置与所述十字形对应的十字槽(4)；所述十字槽(4)的宽度与第一种规格的硅片载片器的框杆宽度相等，支臂(10)的宽度为第一种规格的硅片载片器的边长与第二种规格的硅片载片器的边长之差再加上第一种规格的框杆宽度之和。
2. 按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的变换装置，其特征是各个相邻的支 臂(10)的交叉处设置有过渡圆弧(6)。
3. 按照权利要求2所述的PECVD用硅片载片器的变换装置，其特征是所述支臂(10) 的两个外侧面上对称地设置有半腰圆槽(7)，半腰圆槽(7)的对称线垂直于所述支臂(10) 的边线，所述支臂(10)上设置有圆孔(9)，圆孔(9)的中心线在半腰圆槽(7)的对称线上。
4. 按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的变换装置，其特征是在处于同一直 线上的两个支臂(10)中，一个支臂(10)的外端与所述十字槽(4)的同侧设置有第一台肩 (8)，另一个支臂(10)的外端与所述十字槽(4)的相反侧设置有第二台肩(5)。
专利摘要本实用新型涉及一种PECVD用硅片载片器的变换装置，其包括板体，所述板体的角部以板体的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂，使所述板体成十字形；板体的一面设置与所述十字形对应的十字槽；所述十字槽的宽度与第一种规格的硅片载片器的框杆宽度相等，支臂的宽度为第一种规格的硅片载片器的边长与第二种规格的硅片载片器的边长之差再加上第一种规格的框杆宽度之和。本实用新型安装于第一种规格的硅片载片器的交叉处，将第一种规格的硅片载片器转换为第二种规格的硅片载片器，用于生产第二种规格的产品，可以节省采购成本；拆除本实用新型后，又可以生产第一种规格的产品，转换方便。
文档编号H01J37/02GK201495285SQ200920234829
公开日2010年6月2日 申请日期2009年8月7日 优先权日2009年8月7日
发明者尤耀明 申请人:无锡绿波新能源设备有限公司