技术编号：2896918
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种离子源，尤其涉及一种反射电极结构件，该反射电极结构件设置 在离子源的等离子体生成容器内，配置成与放出电子的阴极相对，把电子向阴极一侧反射。背景技术近年来，研究出一种技术，在离子源的等离子体生成容器内，利用阴极使原料气体 成为等离子体，通过利用该等离子体对被溅射材料进行溅射，使在离子束内含有所希望的 离子种类。具体地说，如专利文献1所示，以能够更换的方式保持设置在反射电极前端部的 被溅射材料，以便可以生成稳定的离子种类。其详细的结构包括做成筒形...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。