技术编号：2896967
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及场发射显示(FED)器件领域，特别是涉及到场发射显示器件中阳极屏的制备。背景技术FED器件的荧光屏(简称阳极)是一种以带有条状的ΙΤ0(氧化铟 锡)导电层的 玻璃为衬底，在带有ITO导电条上涂加荧光粉。由于FED器件工作电压较高，以及器件本身 在工作时各个电极条之间不能有任何串扰，因此对条状ITO电极间的绝缘性要求非常高。 一般的光刻方法不能满足FED器件工艺的要求。因为利用普通的光刻方法，得到的ITO条 电极之间局部区域绝缘性较低，使得FED器...
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