技术编号：2899826
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于离子源的固体物质气化装置，是一种简单可靠的气化装置。 本发明涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。背景技术随着科技的发展，离子注入技术得到越来越广泛的应用，用于离子注入的材料也是越来越多样化。这就对离子源的结构提出了更高的要求。在离子源的制造和改进中，对于需要注入的材料为固体物质的情况，需要将其气化为气体状态才能进行电离，以得到所需要的离子。本发明提供了一种固体物质气化装置，结构简单可靠，可用于离子源结构。 发明内容本发明公开了一种用于...
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