专利名称：一种用于离子源的固体物质气化装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于离子源的固体物质气化装置，是一种简单可靠的气化装置。 本发明涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。
背景技术：
随着科技的发展，离子注入技术得到越来越广泛的应用，用于离子注入的材料也是越来越多样化。这就对离子源的结构提出了更高的要求。在离子源的制造和改进中，对于需要注入的材料为固体物质的情况，需要将其气化为气体状态才能进行电离，以得到所需要的离子。本发明提供了一种固体物质气化装置，结构简单可靠，可用于离子源结构。
发明内容
本发明公开了一种用于离子源的固体物质气化装置。本发明通过以下技术方案来实现—种固体物质气化装置，具有和电源连接并固定在支承座上的的加热灯管，用于给装有固体物质的坩埚加热，其中坩埚由石墨坩埚桶(11)和石墨坩埚帽(12)组成，使用和坩埚相连接的热电偶(1)检测坩埚的温度，根据要气化的物质不同，调节不同的温度以达到气化的目的，气化后的气体分子通过送气管(10)送出该气化装置。并安装一个通水座 (4)，用于冷却。本发明具有如下显著优点1.结构稳定，拆装方便，便于维护。2.采用灯丝加热，内置温度传感器监控，有利于监控坩埚内部温度，便于温度调节。
图1是固体物质气化装置的主视图。图2是固体物质气化装置的侧视图。
具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。参考图1，一种用于离子源的固体物质气化的装置，其结构包括热电偶(1)，热电偶支撑架结构(2)，灯管引线座(3)，通水座(4)，安装法兰(5)，灯管座(6)，加热灯管(7)， 支承座(8)，小弹片(9)，送气管(10)，石墨坩埚帽(11)，石墨坩埚桶(12)，绝缘柱(13)、，氮化硼垫片(14)。加热灯管(7)通过灯管座(6)连接在支承座(8)上，其中绝缘柱 (13)、(15)，以及氮化硼垫片(14)安装于灯管座(6)上，以起到绝缘作用。通过固定在安装法兰⑷上的灯管引线座(3)为加热灯管(9)通电，以达到加热的作用。石墨坩埚桶(12)固定在安装法兰(5)上，热电偶1将温度探针伸入石墨坩埚桶 (12)内，用以测试石墨坩埚桶(12)内的温度。当坩埚内的固体物质不同时，控制不同的温度以使固体物质气化。其中热电偶(1)通过热电偶支撑架结构(2)固定在安装法兰(5)上， 其高度可做微调。石墨坩埚桶(12)和石墨坩埚帽(11)连接，并密封，再和将气化后的气体分子送出气化装置的送气管(10)相连。通水座4通入去离子水起到冷却的作用。参考图2，本发明所涉及的实施例，除了通水座(4)和安装法兰( 外，其他部分均为关于支承座(8)对称的相同的两组零件，其中两个加热灯管通过小弹片(9)在支承座 (8)上连接在一起。这样可以同时在两个坩埚桶里加热固体物质，也可以根据具体情况，将该装置的结构稍作修改，使用不同数量的加热灯管和坩埚桶。该装置除上述部分，还可以在整个装置外面安装一个保护罩，起到保护作用。本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求
1.一种用于离子源的固体物质气化装置，其特征在于热电偶(1)、热电偶支撑架结构 (2)、灯管引线座(3)、通水座(4)、安装法兰(5)、灯管座(6)、加热灯管(7)、支承座(8)、小弹片(9)、送气管(10)、石墨坩埚帽(11)、石墨坩埚桶(12)、绝缘柱(13)、(15)和氮化硼垫片(14)。
2.如权利要求1所述的一种用于离子源的固体物质气化装置，其特征在于坩埚由石墨坩埚桶(11)和石墨坩埚帽(12)组成；加热灯管(7)可以给坩埚加热；热电偶⑴处于坩埚内部，可以检测坩埚内部的温度；支承座(8)靠近加热灯管(7)的部分抛光，可以更好的反射热量。
全文摘要
本发明公开了一种用于离子源的固体物质气化装置，其结构包括热电偶(1)，热电偶支撑架结构(2)，灯管引线座(3)，通水座(4)，安装法兰(5)，灯管座(6)，加热灯管(7)，支承座(8)，小弹片(9)，送气管(10)，石墨坩埚帽(11)，石墨坩埚桶(12)，绝缘柱(13)、(15)，氮化硼垫片(14)。该装置用于给装有固体物质的坩埚加热，其中坩埚由石墨坩埚桶(11)和石墨坩埚帽(12)组成，使用和坩埚相连接的热电偶(1)检测坩埚的温度，根据要气化的物质不同，调节不同的温度以达到气化的目的，气化后的气体分子通过送气管(10)送出该气化装置。并安装一个通水座(4)，用于冷却。
文档编号H01J37/317GK102543643SQ201010621918
公开日2012年7月4日 申请日期2010年12月27日 优先权日2010年12月27日
发明者孙勇, 彭立波, 谢均宇, 邓颖辉, 黄永章 申请人:北京中科信电子装备有限公司