一种离子注入束线法拉第的制作方法

文档序号:2899823阅读:485来源:国知局
专利名称:一种离子注入束线法拉第的制作方法
技术领域
本发明是一种离子注入束线法拉第,特别涉及半导体制造离子注入工艺中所用的离子注入机,属于半导体器件制造领域。
背景技术
离子注入机是现代半导体集成电路制造中必不可少的工艺设备。现今的半导体集成电路制造工艺对离子注入机的要求越来越高。不仅对整机可靠性、束流纯净度、束流均勻性、注入角度等提出了更高的要求,而且对注入机的离子能量范围、束斑形状、离子束传输效率等也提出了很高的要求,并对其工艺和设备的要求越来越高。特别是对注入机光路系统的要求更加严格。本发明是一种检测束流的装置,杯测束底板可进行90度旋转调节,可根据需求调节旋转使束流通过。杯测束底板4上的燃烧传感器5可检测到束流。

发明内容
本发明专利一种离子注入束线法拉第,是一个束流的检测装置,可检测束流是否到达束线法拉第以及测量出所引出的束流大小。本发明通过以下技术方式实现一种离子注入束线法拉第,主要包括安装法兰(1)、绝缘安装板(2)、燃烧传感器 (3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(S)0所述的旋转轴(7)通过与气缸连接完成旋转动作。所述的拆装导杆孔(5)处在安装法兰1上,主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏。所述的绝缘安装板(2)安装在安装法兰(1)内侧与杯框相连,处于杯框(6)和安装法兰(1)之间,主要起绝缘作用且有一定的密封效果。所述的杯测束底板⑷安装在杯框(6)的左侧。所述的燃烧传感器(3)在杯测束底板中心位置杯框(6)内,主要作用是用于检测杯测束底板(4)束流。本发明具有如下显著优点安装结构稳定,工作可靠,重复性高,检测能力强。


附图1是本发明的一种实施方式的示意图。
具体实施例方式下面结合附图的具体实施例对本发明作进一步介绍,应该理解,这些描述都是说明性的,本发明不限于此。本发明的范围仅由所附权利要求的范围所限定。
参考图1,一种离子注入束线法拉第,包括安装法兰(1)、绝缘安装板O)、燃烧传感器(3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(8)。所述的旋转轴 (7)通过与气缸(8)连接完成旋转动作,拆装导杆孔( 处在安装法兰(1)上;所述的拆装导杆孔(5)主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏,绝缘安装版 ⑵安装在安装法兰⑴内侧与杯框相连;所述绝缘安装板⑵处于杯框(6)和安装法兰 (1)之间,主要起绝缘作用且有一定的密封效果;所述的杯测束底板(4)安装在杯框(6)的左侧,其中心位置杯框(6)内安装燃烧传感器(3);所述的燃烧传感器C3)用于检测杯测束底板⑷束流。束线法拉第设计为旋转90度切换结构,杯体由杯框(6)和杯测束底板(4)组成, 采用高纯石墨,底部设计杯底穿孔检测传感器(3)。旋转轴(7)采用抽真空密封,杯测束底板⑷的旋转动作由气缸⑶驱动,双向设计到位行程开关,测束底板⑷转动,杯框(6) 保持不动。整体与真空腔绝缘,用于束流检测。下部设计用于便于维护拆装的导杆孔(5), 安装滑动滚珠套。测束底板(6)采用水冷,对外水冷接头和压缩空气接头采用自密封快插接头,密封用真空接头采用双卡套。本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言,在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动,都构成对本发明专利的侵犯,将承担相应的法律责任。
权利要求
1.一种离子注入束线法拉第,其特征在于安装法兰(1)、绝缘安装板O)、燃烧传感器 (3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(S)0
2.如权利要求1所述的一种离子注入束线法拉第,其特征在于旋转轴(7)连接杯测束底板G),其旋转动作由气缸(8)带动完成。
3.如权利要求1所述的一种离子注入束线法拉第,其特征在于拆装导杆孔(5)处在安装法兰(1)上,所述的拆装导杆孔(5)主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏。
4.如权利要求1所述的一种离子注入束线法拉第,其特征在于杯测束底板(4)安装中心位置杯框(6)内安装燃烧传感器(3),主要作用是用于检测杯测束底板(4)束流。
全文摘要
本发明公开了一种离子注入束线法拉第,涉及离子注入机,属于半导体制造领域。该结构包括安装法兰(1)、绝缘安装板(2)、燃烧传感器(3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(8)。所述的旋转轴(7)通过与气缸(8)连接完成旋转动作,拆装导杆孔(5)处在安装法兰(1)上;所述的拆装导杆孔(5)主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏,绝缘安装版(2)安装在安装法兰(1)内侧与杯框相连;所述绝缘安装板(2)处于杯框(6)和安装法兰(1)之间,主要起绝缘作用且有一定的密封效果;所述的杯测束底板(4)安装在杯框(6)的左侧,其中心位置杯框(6)内安装燃烧传感器(3);所述的燃烧传感器(3)用于检测杯测束底板(4)束流。
文档编号H01J37/317GK102569117SQ20101062190
公开日2012年7月11日 申请日期2010年12月27日 优先权日2010年12月27日
发明者刘世勇, 唐景庭, 曹远翔, 李慧, 林萍, 胡宝富 申请人:北京中科信电子装备有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1