一种高真空内移动测束法拉第驱动装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明主要涉及到集成电路离子注入技术领域，具体涉及一种高真空内移动测束法拉第驱动装置。
【背景技术】
[0002]在离子束在水平方向扫开成条带状后，在注入晶片前需要用移动法拉第来对束流指标进行测量，移动法拉第在高真空区内左右往复运动实现束流测量。如附图1所示，现有技术中，在高真空腔室内设有以水平悬臂8，将移动法拉第3固定在悬臂8上，在电机驱动下使得悬臂8水平运动以带动移动法拉第3往复运动，来实现水平往复扫描运动接测束流值。
[0003]此方案存在以下技术问题:
(1)结构复杂，需要在电机端为悬臂8预留运动空间;并且由于悬臂8在往复运动中平稳性较差，进而对移动法拉第3的平稳产生影响，最终影响了测量精确性。
[0004](2)此方案运动轴的密封采用抱轴和滑动的双重密封，真空密封性差，需定期更换动密封圈，使用成本高，整套装置寿命较短。
【发明内容】
[0005]本发明所解决的技术问题在于:针对现有技术存在的问题，提供一种结构简单紧凑、移动平稳性好、真空密封性好的高真空内移动测束法拉第驱动装置。
[0006]为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案:
一种高真空内移动测束法拉第驱动装置，包括高真空密封腔室，所述高真空密封腔室外设有驱动装置，所述高真空密封腔室内设有移动法拉第，所述驱动装置驱动移动法拉第于高真空密封腔室内移动以开展检测，所述高真空密封腔室内设有平行布置的丝杆螺母副组件和滑动导轨组件，所述移动法拉第同时与丝杆螺母副组件和滑动导轨组件相连，所述驱动装置驱动丝杆螺母副组件运动以带动移动法拉第沿滑动导轨组件移动。
[0007]作为本发明的进一步改进，所述丝杆螺母副组件包括相配合的丝杆和丝杆螺母，所述丝杆与驱动装置连接，所述滑动导轨组件包括导轨和沿导轨自由滑动的滑块，所述移动法拉第通过连接板同时与丝杆螺母和滑块连接。
[0008]作为本发明的进一步改进，所述滑动导轨组件为两套，所述丝杆螺母副组件平行布置于两套滑动导轨组件之间。
[0009]作为本发明的进一步改进，所述丝杆螺母副组件包括滚珠丝杆螺母副。
[0010]作为本发明的进一步改进，所述高真空密封腔室的腔壁上设有密封连接组件，所述驱动装置通过密封连接组件与丝杆螺母副组件连接，所述密封连接组件包括磁流体密封旋转轴和两个滑块联轴器，所述磁流体密封旋转轴一端通过一个滑块联轴器与驱动装置连接，所述磁流体密封旋转轴的另一端伸入高真空密封腔室内并通过另一个滑块联轴器与丝杆螺母副组件连接。
[0011]作为本发明的进一步改进，所述驱动装置包括电机和电机安装座，所述电机固定于电机安装座的一端上，所述电机安装座的另一端与磁流体密封旋转轴固定连接，所述电机安装座设有空心部，连接电机与磁流体密封旋转轴的滑块联轴器设于空心部内。
[0012]与现有技术相比，本发明的优点在于:
(1)本发明的高真空内移动测束法拉第驱动装置，由于在高真空密封腔室内采用丝杆螺母副组件与滑动导轨组件配合运动的形式带动移动法拉第运动，使得在高真空密封腔室内不用再设置水平悬臂，无需为悬臂预留运动空间，使得本发明结构简单紧凑；同时由于取消了悬臂，使得本发明刚性好，移动法拉第在往复运动中平稳性好，运动精度高，确保了测量的精确度。
[0013](2)本发明的高真空内移动测束法拉第驱动装置，在高真空密封腔室的腔壁上设置磁流体密封旋转轴，能够确保本发明的高真空密封腔室内的真空密封性，满足设备的高真空要求；同时，磁流体密封旋转轴无需定期更换密封圈，提高了本发明的使用寿命，降低了使用成本。
【附图说明】
[0014]图1是现有技术的剖视结构原理示意图。
[0015]图2是本发明的高真空内移动测束法拉第驱动装置的剖视结构原理示意图。
[0016]图3是本发明的高真空内移动测束法拉第驱动装置的局部立体结构原理示意图。
[0017]图例说明:
1、高真空密封腔室;2、驱动装置;21、电机;22、电机安装座;3、移动法拉第;4、丝杆螺母副组件;41、丝杆;42、丝杆螺母;5、滑动导轨组件;51、导轨;52、滑块;6、连接板;7、密封连接组件;71、磁流体密封旋转轴;72、滑块联轴器。
【具体实施方式】
[0018]以下结合具体实施例和附图对本发明作进一步详细说明。
[0019]如图2和图3所示，本发明提供一种高真空内移动测束法拉第驱动装置，包括高真空密封腔室1，高真空密封腔室1外设有驱动装置2，高真空密封腔室1内设有移动法拉第3，驱动装置2驱动移动法拉第3于高真空密封腔室1内移动以开展检测。高真空密封腔室1内设有平行布置的丝杆螺母副组件4和滑动导轨组件5，移动法拉第3同时与丝杆螺母副组件4和滑动导轨组件5相连，驱动装置2驱动丝杆螺母副组件4运动以带动移动法拉第3沿滑动导轨组件5移动。由于在高真空密封腔室1内采用丝杆螺母副组件4与滑动导轨组件5配合运动的形式，使得在高真空密封腔室1内不用再设置水平悬臂，移动法拉第3通过滑动导轨组件5直接挂载于高真空密封腔室1内，并通过运动的丝杆螺母副组件4带动实现在高真空密封腔室1内往复运动以开展检测。使得本发明无需为悬臂预留运动空间，结构简单紧凑；同时由于取消了悬臂，使得本发明刚性好，移动法拉第3在往复运动中平稳性好，运动精度高，确保了测量的精确性。
[0020]进一步，在较佳实施例中，丝杆螺母副组件4包括相配合的丝杆41和丝杆螺母42，丝杆41与驱动装置2连接，滑动导轨组件5包括导轨51和沿导轨51自由滑动的滑块52，移动法拉第3通过连接板6同时与丝杆螺母42和滑块52连接。在本实施例中，滑动导轨组件5的导轨51固定安装在高真空密封腔室1内的腔体上，导轨51和丝杆41相互平行设置，移动法拉第3通过连接板6与滑块52连接，实现挂载于高真空密封腔室1内。当驱动装置2驱动丝杆41旋转运动，势必会导致相配合的丝杆螺母42发生水平位移;进而带动与丝杆螺母42连接的连接板6同步移动，使得固定在连接板6上的移动法拉第3沿着导轨51水平移动。
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