专利名称：法拉第气缸的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种气缸，特别涉及一种离子注入机用法拉第气缸。
背景技术：
随着半导体集成电路技术的发展，集成度越来越高，电路中单元器件尺寸越来越小，对离子注入机的性能指标要求也越来越高。要达到现代离子注入机高可靠性、高生产效率、宽能量范围注入、以及良好的注片均匀性和重复性等要求，就必须配备高性能的离子源。
在离子源的调试和整机的调试中，法拉第是束流测量最为普遍使用的手段，为了使离子源处在最佳工作状态，根据测量的束流大小，可以调节引出电极的角度和距离以及加/减速电压的大小，使引出离子束流最大。为了达到精确测量的目的，法拉第的设计越来越受到人们关注，传统的法拉第普遍采用金属焊接，外部加水冷套，整个结构较复杂和笨重，并且由于法拉第的工作方式是，在调试时处于束通道，在注入时需离开束通道，因此大都采用手动或气动实现工作位置，而法拉第必须与通道绝缘隔离，法拉第筒悬空在束通道，笨重的结构形式势必也影响着绝缘隔离的安装和工作的可靠性。
发明内容
本实用新型即是针对现有技术中存在的问题而提出的一种结构简单、可靠性高的法拉第汽缸。
本实用新型通过以下技术方案来实现一种法拉第气缸，包括一气缸盖、两支撑环、一缸体、一活塞、一气孔环、一定位环、一冷却水管、一法拉第轴、三个密封圈，气缸盖密封安装于缸体的开口端，法拉第轴沿缸体中心轴向安装，气缸活塞用紧定螺钉固定在法拉第轴上，其中所述的气缸盖中心孔处设置有两个支撑环；所述的缸体上设置有定位环；所述的法拉第轴内部一端沿轴向开有盲孔，所述的冷却水管安装于盲孔内；所述的气孔环设置在活塞端面和缸体底面之间、法拉第轴上；所述的气孔环各端面间密封圈分隔，其圆环直径方向开有通气孔。
本实用新型具有如下显著优点1.改善了法拉第悬空安装方式，增加支撑点，使移动更加可靠；2.采用高分子工程塑料制作绝缘件，不变形，移动光滑、可靠；3.结构简单，安装使用方便、可靠。
图1为本实用新型法拉第气缸的结构图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的介绍，但不作为对本实用新型的限定。
参考图1，一种法拉第气缸主要由一气缸盖1、两个支撑环2、一缸体3、一活塞4、一气孔环5、一定位环6、一冷却水管7、一法拉第轴9、三只密封圈10等组成。
所述的气缸盖1密封安装于缸体3的开口端，其中心孔处设置有两个支撑环2，支撑环2与缸体3相对端的定位环6形成了法拉第轴9在缸体内安装的两个支点，以保证法拉第轴9安装和移动位置不变形，移动更平稳，法拉第轴9沿缸体3中心轴向安装，采用不锈钢材料，内部一端沿轴向开有盲孔91，冷却水管7安装于盲孔91内，冷却水管7的作用是使法拉第轴9在工作时能够得到充分冷却；气缸的活塞4采用高分子工程塑料，用紧定螺钉固定在法拉第轴9上，活塞4可以在缸体3中移动，同时起到固定法拉第轴9的作用，在活塞4端面和缸体3底面之间、法拉第轴9上设置三个气孔环5，气孔环5的各端面间密封圈10分隔，保证法拉第轴9移动时的真空密封性，气孔环5的圆环直径方向开有通气孔，减轻气体阻力，使移动更加平稳。
在应用过程中，法拉第轴9直接和外部法拉第筒8连接，当活塞4在缸体3内移动时，法拉第轴9被带动一起移动，从而带动法拉第筒8的移动，同时因为活塞4是绝缘材料，又可靠地实现了法拉第轴9与缸体3的绝缘，满足了法拉第测束的技术要求。
本实用新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求1.一种法拉第气缸，包括一气缸盖、两支撑环、一缸体、一活塞、一气孔环、一定位环、一冷却水管、一法拉第轴、三密封圈，气缸盖密封安装于缸体的开口端，法拉第轴沿缸体中心轴向安装，气缸活塞用紧定螺钉固定在法拉第轴上，其特征在于所述的气缸盖中心孔处设置有两个支撑环；所述的缸体上设置有定位环；所述的法拉第轴内部一端沿轴向开有盲孔，所述的冷却水管安装于盲孔内；所述的气孔环设置在活塞端面和缸体底面之间、法拉第轴上；所述的气孔环各端面间密封圈分隔，其圆环直径方向开有通气孔。
专利摘要本实用新型公开了一种法拉第气缸，包括一气缸盖、两支撑环、一缸体、一活塞、一气孔环、一定位环、一冷却水管、一法拉第轴、三密封圈，气缸盖密封安装于缸体的开口端，法拉第轴沿缸体中心轴向安装，气缸活塞用紧定螺钉固定在法拉第轴上，其特征在于所述的气缸盖中心孔处设置有两个支撑环；所述的缸体上设置有定位环；所述的法拉第轴内部一端沿轴向开有盲孔，所述的冷却水管安装于盲孔内；所述的气孔环设置在活塞端面和缸体底面之间、法拉第轴上；所述的气孔环各端面间密封圈分隔，其圆环直径方向开有通气孔。本实用新型结构简单，改善了法拉第悬空安装方式，增加了支撑点，使移动更加可靠。
文档编号F15B15/08GK2779133SQ20052001127
公开日2006年5月10日 申请日期2005年3月31日 优先权日2005年3月31日
发明者郭建辉 申请人:北京中科信电子装备有限公司