技术编号：2909075
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种粒子束装置，其具有用于在目标平面上偏转粒子束的第一和第二偏转系统。本发明尤其涉及一种形式为电子显微镜(例如扫描电子显微镜或透射电子显微镜)、离子显微镜、或者电子束或离子束光刻系统的粒子束装置。此外，本发明涉及一种用于使相应粒子束装置运行的方法。背景技术上述类型的粒子束装置通常具有偏转系统，利用其可以在基本上垂直于粒子束传播方向的目标平面(Objektebene)上偏转粒子束。通过根据粒子束的偏转探测粒子束与设置在目标平面上的试样表面的相互作用...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。