技术编号:29196399
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于运输设备技术领域,特别是涉及一种用于晶圆搬运的水平关节机器人。背景技术.现有的四轴平面运动机器人由个电机分别驱动,驱动装置布置在关节上,该种布置主式存在转动惯量大、刚性差、响应速度慢等缺点,在操作空间大和大负载的工作环境中,缺点表现更明显,同时,驱动装置布置在关节上,小臂上的零部件较多,占据的空间也比较大,对小臂的防尘罩体积也较大。实用新型内容.本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆搬运的水平关节机器人,解决现有的问题。.为解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实...
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